如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。

2.開(kāi)啟電腦、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān),、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。

3.擦凈工件被測(cè)表面,。

測(cè)量

1.將測(cè)針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上,。

2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件,。

4.開(kāi)始測(cè)量,。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。

5.測(cè)量完畢,，根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,，標(biāo)出結(jié)果，并保存,、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離,、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離,、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對(duì)數(shù)曲線

產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）,。山東輪廓儀代理價(jià)格

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺(tái)階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×,， 還有2.5×,，5×，20×,，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸,。 輪廓儀輪廓儀出廠價(jià)輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,。

輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用

藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）

高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探測(cè)

Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,，表面粗糙度  

外延片表面缺 陷檢測(cè)

硅片外延表面缺 陷檢測(cè)

散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）

生物,、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件

微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷，表面粗糙度

移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開(kāi)發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法，保證了亞納米量級(jí)的測(cè)量精度,；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),，使每次檢測(cè)時(shí)間壓縮到10秒鐘以內(nèi)，同時(shí)完善的數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)系統(tǒng)為用戶評(píng)價(jià)產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便,。

輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求？

答：輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm,，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右）,，因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí),，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量，檢測(cè)效率會(huì)比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè)，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù),；

4.測(cè)量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,，或者能夠測(cè)到更小的尺寸？

如果需要了解更多，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官網(wǎng),。 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用

封**ump測(cè)量  

視場(chǎng)：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測(cè)位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間，避免人工操作帶來(lái)的一致性,，可靠性問(wèn)題

歡迎咨詢,。 輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm。高精密儀器輪廓儀售后服務(wù)

LED光源通過(guò)多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光,。山東輪廓儀代理價(jià)格

NanoX-8000輪廓儀的自動(dòng)化系統(tǒng)主要配置 ：

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um，重復(fù)精度

1um

? XY 平臺(tái)比較大移動(dòng)速度：200mm/s

? Z 軸聚焦：100mm行程自動(dòng)聚焦,，0.1um移動(dòng)步進(jìn)

? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺(tái)面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息

? 主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加詳細(xì)的產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 山東輪廓儀代理價(jià)格

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)等,，目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn),，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí),，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念,，全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,。