輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配：1280×960

視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）,。ADE輪廓儀推薦型號

我們應該如何正確使用輪廓儀,？

一,、準備工作

1.測量前準備,。

2.開啟電腦,、打開機器電源開關,、檢查機器啟動是否正常,。

3.擦凈工件被測表面,。

二、測量

1.將測針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設置所需的測量條件,。

4.開始測量,。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結果進行分析,，標出結果,，并保存,、打印,。

VSI輪廓儀美元價在結構上,，輪廓儀基本上都是臺式的,，而粗糙度儀以手持式的居多,，當然也有臺式的,。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上,，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度,、表面輪廓,、臺階高度,、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加

工,、表面工程技術,、材料、太陽能電池技術等領域,。

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單,，更方便  

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進封裝和材料：華天科技，通富微電子,，江蘇納佩斯

半導體,，華潤安盛等

? MEMS相關產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所，中科電子46所,，華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電,，中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子,、FPD,、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機、京東方,、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運動速度 **快

如果有什么問題,，請聯(lián)系我們。

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？

答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍比較大可達10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時,，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù),；

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸？

如果需要了解更多,，請訪問官網(wǎng),。 傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié).上海輪廓儀試用

輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。ADE輪廓儀推薦型號

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導軌為直線基準,。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***,。（來自網(wǎng)絡）

先進的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗 

所有的關鍵硬件采用美國,、德國、日本等 

PI ，納米移動平臺及控制

Nikon,，干涉物鏡

NI,，信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺

VS2012/64位，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機

ADE輪廓儀推薦型號

岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型公司,。公司業(yè)務分為磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等,，目前不斷進行創(chuàng)新和服務改進,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,，努力學習行業(yè)知識,，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術服務秉承“客戶為尊,、服務為榮、創(chuàng)意為先、技術為實”的經(jīng)營理念,，全力打造公司的重點競爭力。