F50 系列
包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置光纖電纜4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)BK7 參考材料整平濾波器 (用于高反射基板)真空泵備用燈
型號 厚度范圍*波長范圍
F50:20nm-70μm 380-1050nm
F50-UV:5nm-40μm 190-1100nm
F50-NIR:100nm-250μm 950-1700nm
F50-EXR:20nm-250μm 380-1700nm
F50-UVX:5nm-250μm 190-1700nm
F50-XT:0.2μm-450μm 1440-1690nm
F50-s980:4μm-1mm 960-1000nm
F50-s1310:7μm-2mm 1280-1340nm
F50-s1550:10μm-3mm 1520-1580nm
額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 F30 系列是監(jiān)控薄膜沉積,,**強(qiáng)有力的工具,。折射率膜厚儀**
軟件升級提供專門用途的軟件。UPG-RT-to-Thickness升級的厚度求解軟件,,需要UPG-Spec-to-RT,。UPG-Thickness-to-n&k升級的折射率求解軟件,需要UPG-RT-to-Thickness,。UPG-F10-AR-HC為F10-AR升級的FFT硬涂層厚度測量軟件,。包括TS-Hardcoat-4um厚度標(biāo)準(zhǔn)。厚度測量范圍,。UPG-RT-to-Color&Regions升級的色彩與光譜區(qū)域分析軟件,,需要UPG-Spec-to-RT。
其他:手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件,、XP和Microsoft辦公軟件,。電腦提箱用于攜帶F10、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱,。ConflatFeedthrough真空穿通,,"conflat、雙出入孔SMA,,并通過泄漏測試,。LensPaper-CenterHole**開孔鏡頭紙,用于保護(hù)面朝下的樣品,,5本各100張,。 安徽晶圓片膜厚儀重復(fù)性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭* ;0.8 μm (1 sigma)雙探頭*,。
F60 系列
包含的內(nèi)容:集成平臺/光譜儀/光源裝置(不含平臺)4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)真空泵備用燈
型號厚度范圍*波長范圍
F60-t:20nm-70μm 380-1050nm
F60-t-UV:5nm-40μm 190-1100nm
F60-t-NIR:100nm-250μm 950-1700nm
F60-t-EXR:20nm-250μm 380-1700nm
F60-t-UVX:5nm-250μm 190-1700nm
F60-t-XT0:2μm-450μm 1440-1690nm
F60-t-s980:4μm-1mm 960-1000nm
F60-t-s1310:7μm-2mm 1280-1340nm
F60-t-s1550:10μm-3mm 1520-1580nm
額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃
非晶態(tài)多晶硅硅元素以非晶和晶體兩種形式存在, 在兩級之間是部分結(jié)晶硅,。部分結(jié)晶硅又被叫做多晶硅。
非晶硅和多晶硅的光學(xué)常數(shù)(n和k)對不同沉積條件是獨特的,,必須有精確的厚度測量,。 測量厚度時還必須考慮粗糙度和硅薄膜結(jié)晶可能的風(fēng)化。
Filmetrics 設(shè)備提供的復(fù)雜的測量程序同時測量和輸出每個要求的硅薄膜參數(shù),, 并且“一鍵”出結(jié)果,。
測量范例多晶硅被***用于以硅為基礎(chǔ)的電子設(shè)備中。這些設(shè)備的效率取決于薄膜的光學(xué)和結(jié)構(gòu)特性,。隨著沉積和退火條件的改變,,這些特性隨之改變,所以準(zhǔn)確地測量這些參數(shù)非常重要,。監(jiān)控晶圓硅基底和多晶硅之間,,加入二氧化硅層,以增加光學(xué)對比,,其薄膜厚度和光學(xué)特性均可測得,。F20可以很容易地測量多晶硅薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),以及二氧化硅夾層厚度,。Bruggeman光學(xué)模型被用來測量多晶硅薄膜光學(xué)特性,。
F30樣品層:分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積: 可以測量平滑和半透明的,或輕度吸收的薄膜,。
1,、激光測厚儀是利用激光的反射原理,根據(jù)光切法測量和觀察機(jī)械制造中零件加工表面的微觀幾何形狀來測量產(chǎn)品的厚度,,是一種非接觸式的動態(tài)測量儀器,。它可直接輸出數(shù)字信號與工業(yè)計算機(jī)相連接,并迅速處理數(shù)據(jù)并輸出偏差值到各種工業(yè)設(shè)備,。2,、X射線測厚儀利用X射線穿透被測材料時,,X射線的強(qiáng)度的變化與材料的厚度相關(guān)的特性,,滄州歐譜從而測定材料的厚度,,是一種非接觸式的動態(tài)計量儀器。它以PLC和工業(yè)計算機(jī)為**,,采集計算數(shù)據(jù)并輸出目標(biāo)偏差值給軋機(jī)厚度控制系統(tǒng),,達(dá)到要求的軋制厚度。主要應(yīng)用行業(yè):有色金屬的板帶箔加工,、冶金行業(yè)的板帶加工,。3、紙張測厚儀:適用于4mm以下的各種薄膜,、紙張,、紙板以及其他片狀材料厚度的測量。4,、薄膜測厚儀:用于測定薄膜,、薄片等材料的厚度,測量范圍寬,、測量精度高,,具有數(shù)據(jù)輸出、任意位置置零,、公英制轉(zhuǎn)換,、自動斷電等特點。5,、涂層測厚儀:用于測量鐵及非鐵金屬基體上涂層的厚度.6,、超聲波測厚儀:超聲波測厚儀是根據(jù)超聲波脈沖反射原理來進(jìn)行厚度測量的,當(dāng)探頭發(fā)射的超聲波脈沖通過被測物體到達(dá)材料分界面時,,脈沖被反射回探頭,,通過精確測量超聲波在材料中傳播的時間來確定被測材料的厚度。F40-UV范圍:4nm-40μm,,波長:190-1100nm,。授權(quán)膜厚儀免稅價格
Filmetrics 提供一系列的和測繪系統(tǒng)來測量 3nm 到 1mm 的單層、 多層,、 以及單獨的光刻膠薄膜,。折射率膜厚儀**
厚度測量產(chǎn)品:我們的膜厚測量產(chǎn)品可適用于各種應(yīng)用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨,。請瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師針對您的厚度測量需求提供立即協(xié)助,。
單點厚度測量:
一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺式測量系統(tǒng)。 測量 1nm 到 13mm 的單層薄膜或多層薄膜堆,。
大多數(shù)產(chǎn)品都有庫存而且可立即出貨,。
F20全世界銷量**hao的薄膜測量系統(tǒng)。有各種不同附件和波長覆蓋范圍。
微米(顯微)級別光斑尺寸厚度測量當(dāng)測量斑點只有1微米(μm)時,,需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng),。 折射率膜厚儀**
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),,一切以用戶需求為中心,深受廣大客戶的歡迎,。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,,在儀器儀表深耕多年,以技術(shù)為先導(dǎo),,以自主產(chǎn)品為重點,,發(fā)揮人才優(yōu)勢,打造儀器儀表良好品牌,。在社會各界的鼎力支持下,,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造***服務(wù)體驗,,為客戶成功提供堅實有力的支持,。