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IQAligner納米壓印技術(shù)服務

來源: 發(fā)布時間:2020-01-24

IQ Aligner®:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

■用于光學元件的微成型應用

■用于全場納米壓印應用

■三個**控制的Z軸,,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),,并在壓模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償

■粘合對準和紫外線粘合功能


紫外線壓印_紫外線固化


印章

防紫外線基材

附加印記壓印納米結(jié)構(gòu)分離印記

用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián),。

μ-接觸印刷

軟印章

基板上的材料

領(lǐng)取物料,物料轉(zhuǎn)移,,刪除印章


EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng),。IQAligner納米壓印技術(shù)服務

    NIL300mmEV集團企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術(shù)供應鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,,從而縮短創(chuàng)新光子器件和應用的開發(fā)周期和上市時間。我們很高興與肖特公司合作,,證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價值,,不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),,還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,,彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,,為各種令人興奮的基于光子學的新產(chǎn)品和新應用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ),。”SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是**AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,,已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。產(chǎn)品組合提供了高達,,支持深度沉浸的AR/MR應用,,視野更廣,高達65度,。在與增強現(xiàn)實硬件制造商進行多年研發(fā)之后,,肖特在2018年推出了***代SCHOTTRealView?。這款**產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業(yè)獎(SIDDisplayIndustryAward2019),。關(guān)于肖特肖特是特種玻璃,、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的**國際技術(shù)集團。公司積累了超過130年的經(jīng)驗,,是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,。廣東納米壓印測樣 EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,,因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術(shù),。

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng),。


EVG的HERCULES ® NIL產(chǎn)品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統(tǒng)達200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術(shù)


HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案,,適用于比較大200 mm的晶圓,,是EVG的NIL產(chǎn)品組合的***成員。HERCULES

NIL基于模塊化平臺,,將EVG專有的SmartNIL壓印技術(shù)與清潔,,抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟相結(jié)合,。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務”,,將裸露的晶圓裝載到工具中,然后將經(jīng)過完全處理的納米結(jié)構(gòu)晶圓退回。

EVG ® 7200 LA特征:

專有SmartNIL ®技術(shù),,提供了****的印跡形大面積

經(jīng)過驗證的技術(shù),,具有出色的復制保真度和均勻性

多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本

強大且精確可控的處理

與所有市售的壓印材料兼容


EVG ® 7200 LA技術(shù)數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)

解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL ®

曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)

對準:可選的光學對準:≤±15 μm

自動分離:支持的

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的


工作印章制作:支持的


EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統(tǒng),,使用分步重復納米壓印光刻技術(shù),,可進行有效的母版制作。

對于壓印工藝,,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm,。納米技術(shù)應用的配置除了可編程的高和低接觸力外,,還可以包括用于印章的釋放機構(gòu),。EV Group專有的卡盤設(shè)計可提供均勻的接觸力,,以實現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,,該卡盤支持軟性和硬性印模,。


EVG610特征:

頂部和底部對準能力

高精度對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導

遠程技術(shù)支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版


附加功能:

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻 

μ接觸印刷


HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。內(nèi)蒙古納米壓印優(yōu)惠價格

EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),,擁有多年技術(shù),,掌握了NIL,并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。IQAligner納米壓印技術(shù)服務

儀器儀表行業(yè)飛速發(fā)展一是因為我國的經(jīng)濟高速穩(wěn)定發(fā)展的運行;按照過去的經(jīng)驗,,如果GDP的增長在10%以上時,儀表行業(yè)的增長率則在26%~30%之間,。二是因為我國宏觀調(diào)控對儀表行業(yè)的影響有一個滯后期,,儀表往往在工程的后期才交付使用,因此,,因宏觀調(diào)控政策而減少的收入對儀表行業(yè)的影響不會太大,。我國現(xiàn)有有限責任公司企業(yè)數(shù)千多家,已經(jīng)形成門類品種比較齊全,,具有一定技術(shù)基礎(chǔ)和生產(chǎn)規(guī)模的產(chǎn)業(yè)體系,。但同時業(yè)內(nèi)行家也指出,雖然我國測試儀器產(chǎn)業(yè)有了一定的發(fā)展,,但遠遠不能滿足國民經(jīng)濟各行各業(yè)日益增長的迫切需求,。伴隨移動互聯(lián)網(wǎng)的爆發(fā)式增長,如今,,它已經(jīng)漸漸取代電子商務成為了整個互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)增速**快的領(lǐng)域,,而移動終端的入口也隨即成為了傳統(tǒng)行業(yè)的必爭之地。磁記錄,,半導體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)行業(yè)進軍移動互聯(lián)網(wǎng)實現(xiàn)線上發(fā)展勢在必行,。隨著中國的不斷進步,,世界上只有一個救世主——市場,能救企業(yè)的只有你自己——自強,,提高其他型重點競爭力才是中國制造業(yè)的獨一出路,。以顯微科學儀器行業(yè)的發(fā)展與變化為例,以親身的實踐為例,,毛磊認為,,隨著經(jīng)濟的不斷發(fā)展,我國的環(huán)境和實力都發(fā)生了巨大變化,,有了完全不同的基礎(chǔ),,這為國產(chǎn)科學儀器走向**增強了信心。IQAligner納米壓印技術(shù)服務

岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務作為磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一,為客戶提供良好的磁記錄,半導體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務繼續(xù)堅定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,,既要實現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長,,又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域,實現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破,。岱美儀器技術(shù)服務創(chuàng)始人陳玲玲,,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,,竭誠為客戶提供良好的服務,。