輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離、交點到交點距離,、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對數(shù)曲線 ,。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

輪廓儀可用于：微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷，表面粗糙度,。實驗室輪廓儀摩擦學應用

輪廓儀的自動拼接功能：

條件： 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,，使用自動圖片拼接,。  

需要點擊自動拼接,， 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。

軟件會自適應計算路徑上移動的偏差,，自動消除移動中偏差,，減小誤差。

但是誤差是一定存在的,。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

臺積電輪廓儀免稅價格視場范圍：560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 ,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,，檢測相應的輪廓尺寸。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡,，例如標配的10×,， 還有2.5×，5×,，20×,，50×，100×,，可選,。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。 擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點,，**提高加工效率。

輪廓儀的技術(shù)原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術(shù)：快速靈活,、超納米精度,、測量精度不受物鏡倍率影響

以下來自網(wǎng)絡：

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***,。

在結(jié)構(gòu)上,，輪廓儀基本上都是臺式的，而粗糙度儀以手持式的居多,，當然也有臺式的,。氮化鎵輪廓儀推薦產(chǎn)品

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光,。實驗室輪廓儀摩擦學應用

輪廓儀產(chǎn)品應用

藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）

高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測

Oled 特征結(jié)構(gòu)測量，表面粗糙度  

外延片表面缺 陷檢測

硅片外延表面缺 陷檢測

散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）

生物,、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件

微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,，表面粗糙度

移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法,，保證了亞納米量級的測量精度；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),，使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi),，同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。 實驗室輪廓儀摩擦學應用

岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,。一批專業(yè)的技術(shù)團隊，是實現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標的基礎,，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力,。公司以誠信為本，業(yè)務領域涵蓋磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，我們本著對客戶負責,，對員工負責,，更是對公司發(fā)展負責的態(tài)度，爭取做到讓每位客戶滿意,。公司深耕磁記錄,，半導體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),，正積蓄著更大的能量，向更廣闊的空間,、更寬泛的領域拓展,。