EVG ® 620 NT特征：

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形補償序列

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

EVG ® 620 NT附加功能：

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

SmartNIL

μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑（基板尺寸）

標(biāo)準(zhǔn)光刻：比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片

SmartNIL ®：在100毫米范圍

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL

®

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

對準(zhǔn)：

軟NIL：≤±0.5 μm

SmartNIL ®：≤±3微米

自動分離：柔紫外線NIL：不支持；SmartNIL

®：支持

工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部：SmartNIL ®：支持

EVG的納米壓印設(shè)備已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為第三代（550 mm x 650 mm）的基板上實現(xiàn),。**納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

    它為晶圓級光學(xué)元件開發(fā),、原型設(shè)計和制造提供了一種獨特的方法,，可以方便地接觸***研發(fā)技術(shù)與材料。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應(yīng)的應(yīng)用中使用小尺寸的高 分辨率光學(xué)傳感器供應(yīng)鏈合作推動晶圓級光學(xué)元件應(yīng)用要在下一代光學(xué)傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產(chǎn),，先進的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用,。開發(fā)先進的光學(xué)材料，需要充分地研究化學(xué),、機械與光學(xué)特性,，以及已被證實的大規(guī)模生產(chǎn)（HVM）的可擴展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性,，以及自動化模制和脫模的專業(yè)知識,，才能在已驗證的大規(guī)模生產(chǎn)中，以**小的形狀因子達到晶圓級光學(xué)元件的比較好性能,。材料供應(yīng)商與加工設(shè)備制造商之間的密切合作,，促成了工藝流程的研發(fā)與改善，確保晶圓級光學(xué)元件的高質(zhì)量和制造的可靠性,。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品,，并增強雙方的專業(yè)技能,，從而適應(yīng)當(dāng)前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術(shù),，并將加快新產(chǎn)品設(shè)計與原型制造的速度,，為雙方的客戶保駕護航?！癗ILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是：它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時間研發(fā)產(chǎn)品的需求,，同時保障比較高的保密性。官方納米壓印當(dāng)?shù)貎r格 EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,，因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準(zhǔn)技術(shù),。

客戶示范

■工藝開發(fā)

■材料測試

■與合作伙伴共同研發(fā)

■資助項目

■小批量試生產(chǎn)

■IP管理

■過程技術(shù)許可證

■流程培訓(xùn)

→世界前列的潔凈室基礎(chǔ)設(shè)施

→**的設(shè)備

→技術(shù)**

→**計量

→工藝知識

→應(yīng)用知識

→與NIL的工作印模材料和表面化學(xué)有關(guān)的化學(xué)專業(yè)知識

新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān)。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,，并在顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中實現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新。

岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進步,。

關(guān)于WaveOptics       

      WaveOptics是衍射波導(dǎo)的全球**設(shè)計商和制造商,，衍射波導(dǎo)是可穿戴AR設(shè)備中的關(guān)鍵光學(xué)組件。

      諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設(shè)備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實世界之上的數(shù)字圖像,。有兩個關(guān)鍵元素可讓您看到這些圖像-微型投影儀之類的光源,，以及將圖像從投影儀傳遞到用戶眼睛中的一種方式。

WaveOptics的波導(dǎo)技術(shù)可傳輸來自光源的光波并將其投射到用戶的眼睛中,。該技術(shù)可產(chǎn)生大的眼框,，雙目觀察和高視野。眼圖框（查看窗口）是從中可以看到完整圖像的AR顯示器的尺寸-請參見下圖,。WaveOptics的波導(dǎo)提供清晰,，無失真的文本以及穩(wěn)定的圖像。

      WaveOptics技術(shù)旨在用于工業(yè),，企業(yè)和消費者市場的沉浸式AR體驗,。該公司的目標(biāo)是，憑借其獨特的技術(shù)和專業(yè)知識,，其波導(dǎo)將成為所有AR可穿戴設(shè)備中使用的he心光學(xué)組件,，以實現(xiàn)****的制造可擴展性和視覺性能，并為眾多應(yīng)用提供多功能性,。 分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版,。

    ”EV集團的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說，“通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作,，例如DELO,，我們能夠進一步提高效率,，作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?！薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學(xué)儀器與NIL設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場**企業(yè),。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道?！巴ㄟ^合作,，我們將提供自己獨特的技術(shù)，將晶圓級工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中,，EVG也成為我們***產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴,。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù)。"晶圓級光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級光學(xué)器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備,。主要的例子是：3D感應(yīng),，飛行時間，結(jié)構(gòu)光,，生物特征身份認(rèn)證,，面部識別,虹膜掃描，光學(xué)指紋,，頻譜檢測,，環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,，光地毯,，平視顯示器,，車內(nèi)感應(yīng),，激光雷達，內(nèi)窺鏡照相機醫(yī)學(xué)成像,，眼科設(shè)備與手術(shù)機器人,。EVG的晶圓級光學(xué)儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到,。EVG先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到**級別的所有需求,，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。湖南納米壓印應(yīng)用

EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸。**納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

隨著現(xiàn)在科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,，儀器儀表行業(yè)發(fā)生了突飛猛進的發(fā)展,，再加上當(dāng)前計算機技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的進步和發(fā)展,，組建網(wǎng)絡(luò)而構(gòu)成實用的監(jiān)控系統(tǒng),，可以提高生產(chǎn)效率和共享信息資源方向發(fā)展,。當(dāng)前儀器儀表行業(yè)產(chǎn)品發(fā)展呈現(xiàn)微型化、多功能化,、智能化,、網(wǎng)絡(luò)化四大發(fā)展趨勢。隨著網(wǎng)絡(luò)消費的不斷遞增,，而互聯(lián)網(wǎng)的的商業(yè)價值不斷被挖掘出來,，呈爆發(fā)式增長，傳統(tǒng)的營銷模式將逐步被取代,。有限責(zé)任公司企業(yè)要抓住機遇,，融入到互聯(lián)網(wǎng)發(fā)展的行業(yè)中，為行業(yè)的發(fā)展提高競爭力,。隨著手機移動網(wǎng)絡(luò)的消費潛力不斷隱現(xiàn),，消費者利用手機消費的頻率和份額逐年遞增。移動互聯(lián)網(wǎng)所隱藏的商業(yè)價值被更多地挖掘出來之后,，各種傳統(tǒng)行業(yè)（包括磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)行業(yè)）的移動網(wǎng)上平臺相繼誕生,。隨著中國的不斷進步，世界上只有一個救世主——市場,，能救企業(yè)的只有你自己——自強,，提高其他型重點競爭力才是中國制造業(yè)的獨一出路。以顯微科學(xué)儀器行業(yè)的發(fā)展與變化為例,，以親身的實踐為例,，毛磊認(rèn)為，隨著經(jīng)濟的不斷發(fā)展,，我國的環(huán)境和實力都發(fā)生了巨大變化,，有了完全不同的基礎(chǔ)，這為國產(chǎn)科學(xué)儀器走向**增強了信心,。**納米壓印圖像傳感器應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大。一批專業(yè)的技術(shù)團隊,，是實現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力。公司以誠信為本,，業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),，我們本著對客戶負(fù)責(zé),，對員工負(fù)責(zé)，更是對公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度,，爭取做到讓每位客戶滿意,。公司深耕磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，正積蓄著更大的能量,，向更廣闊的空間,、更寬泛的領(lǐng)域拓展。