Total Thickness Variation (TTV) 應(yīng)用

規(guī)格:

測量方式:

紅外干涉(非接觸式)

樣本尺寸:

50、75,、100,、200,、300 mm， 也可以訂做客戶需要的產(chǎn)品尺寸

測量厚度:

15 — 780 μm (單探頭)

     3 mm (雙探頭總厚度測量)

掃瞄方式:

半自動及全自動型號,

 另2D/3D掃瞄(Mapping)可選

襯底厚度測量: TTV、平均值、*小值、*大值,、公差...

可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)

重復(fù)性:

0.1 μm (1 sigma)單探頭*

  0.8 μm

(1 sigma)雙探頭*

分辨率:

 10 nm

請訪問我們的中文官網(wǎng)了解更多關(guān)于本產(chǎn)品的信息,。

F3-sX 系列：

F3-sX 系列能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳

波長選配F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度,，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體),。 F3-s980 是波長為980奈米的版本，是為了針對成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計,F3-s1310是針對重?fù)诫s硅片的**jia化設(shè)計,F3-s1550則是為了**厚的薄膜設(shè)計,。附件附件包含自動化測繪平臺,，一個影像鏡頭可看到量測點的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力**薄至15奈米,。 盒厚測量膜厚儀高性價比選擇可見光可測試的深度，良好的厚樣以及多層樣品的局部應(yīng)力,。

F50 和 F60 的晶圓平臺提供不同尺寸晶圓平臺,。

F50晶圓平臺- 100mm用于 2"、3" 和 4" 晶圓的 F50 平臺組件,。

F50晶圓平臺- 200mm用于 4"、5",、 6" 和 200mm 晶圓的 F50 平臺組件,。

F50晶圓平臺- 300mm用于 4",、5",、6"、200mm 和 300mm 晶圓的 F50 平臺組件,。

F50晶圓平臺- 450mmF50 夾盤組件實用于 4", 5", 6", 200mm, 300mm, 以及450mm毫米晶片,。

F50晶圓平臺- 訂制預(yù)訂 F50 的晶圓平臺，通常在四星期內(nèi)交貨,。

F60晶圓平臺- 200mm用于 4",、5",、6" 和 200mm 晶圓的 F60 平臺組件。

F60晶圓平臺- 300mm用于 4",、5",、6"、200mm 和 300mm 晶圓的 F60 平臺組件。

銦錫氧化物與透明導(dǎo)電氧化物液晶顯示器，有機發(fā)光二極管變異體,，以及絕大多數(shù)平面顯示器技術(shù)都依靠透明導(dǎo)電氧化物 (TCO) 來傳輸電流,，并作每個發(fā)光元素的陽極,。 和任何薄膜工藝一樣,，了解組成顯示器各層物質(zhì)的厚度至關(guān)重要,。 對于液晶顯示器而言,，就需要有測量聚酰亞胺和液晶層厚度的方法，對有機發(fā)光二極管而言,，則需要測量發(fā)光、電注入和封裝層的厚度,。

在測量任何多個層次的時候,，諸如光譜反射率和橢偏儀之類的光學(xué)技術(shù)需要測量或建模估算每一個層次的厚度和光學(xué)常數(shù) (反射率和 k 值),。

不幸的是,，使得氧化銦錫和其他透明導(dǎo)電氧化物在顯示器有用的特性,，同樣使這些薄膜層難以測量和建模,，從而使測量在它們之上的任何物質(zhì)變得困難,。Filmetrics 的氧化銦錫解決方案Filmetrics 已經(jīng)開發(fā)出簡便易行而經(jīng)濟有效的方法，利用光譜反射率精確測量氧化銦錫,。 將新型的氧化銦錫模式和 F20-EXR, 很寬的 400-1700nm 波長相結(jié)合,，從而實現(xiàn)氧化銦錫可靠的“一鍵”分析,。 氧化銦錫層的特性一旦得到確定，剩余顯示層分析的關(guān)鍵就解決了,。

FSM 413MOT 紅外干涉測量設(shè)備：

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍(lán)寶石,、砷化鎵、磷化銦,、碳化硅,、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

如果您想了解更多關(guān)于FSM膜厚儀的技術(shù)問題，請聯(lián)系我們岱美儀器,。 可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS),。Filmetrics F30膜厚儀原理

適用于所有可讓紅外線通過的材料 硅,、藍(lán)寶石,、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅、玻璃,、石 英,、聚合物等,。晶圓膜厚儀參數(shù)

Filmetrics 的技術(shù)Filmetrics 提供了范圍***的測量生物醫(yī)療涂層的方案：支架： 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器。 我們的 F40 在幾十個實驗室內(nèi)得到使用,，測量鈍化和/或藥 物輸送涂層,。我們有獨特的測量系統(tǒng)對整個支架表面的自動厚度測繪,，只需在測量時旋轉(zhuǎn)支架。植入件： 在測量植入器件的涂層時,，不規(guī)則的表面形狀通常是***挑戰(zhàn)。 Filmetrics 提供這一用途的全系列探頭,。導(dǎo)絲和導(dǎo)引針： 和支架一樣，這些器械常?？梢杂孟?F40 這樣的顯微鏡儀器。導(dǎo)液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可見光譜不透明性決定了 F20-NIR 是這一用途方面全世界眾多實驗室內(nèi)很受歡迎的儀器,。晶圓膜厚儀參數(shù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,，現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團隊,，各種專業(yè)設(shè)備齊全,。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌,。公司以用心服務(wù)為重點價值,，希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力，將磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務(wù)進行到底。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,，也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),。