隨著時代的發(fā)展,，輪廓儀也越來重要了,，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測,，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧,。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測量儀器,。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動,。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,，并分別在X和Z方向上對其進(jìn)行采樣，并將其轉(zhuǎn)換為電信號,。電信號被放大和處理,，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中。計算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,，分離表面并計算粗糙度分量,，測量結(jié)果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標(biāo),，或放大的實際輪廓曲線,。測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工,、汽車,、摩托車、精密五金,、精密工具,、刀 具、模具,、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu),、大學(xué)、計量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計量室,。在汽車,，摩托車和制冷行業(yè)，它可以測量活塞,，活塞銷,，齒輪的總線參數(shù)和汽車，摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞,，可以測量各種傾斜部件的參數(shù),。在軸承工業(yè)中，內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀（角度,，倒角R,，槽深，槽寬等）,；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,，角度和對數(shù)曲線；電機(jī)軸,，圓柱銷,，活塞銷，滾針軸承,，圓柱滾子軸承,。光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)。研究所輪廓儀測樣

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標(biāo)配/500um選配）

10mm 精密電機(jī)拓展掃描

CCD相機(jī)： 1920x1200 高速相機(jī)（標(biāo)配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標(biāo)配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍(lán)色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s,，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ,，10um臺階高) Nano X輪廓儀值得買測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）,。

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢

世界先進(jìn)水平的產(chǎn)品技術(shù)

合理的產(chǎn)品價格

24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)

無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持

個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持

合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)

更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案

非接觸式輪廓儀（光學(xué)輪廓儀）是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器，可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。（本段來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×,， 還有2.5×，5×,，20×,，50×，100×,，可選,。  

不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。 表面三維評定參數(shù)由于能更***,，更真實的反應(yīng)零件表面的特征。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s ,。原裝進(jìn)口輪廓儀

擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，**提高加工效率,。研究所輪廓儀測樣

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二,、提高效率：

智能化檢測,，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點,，**提高加工效率。 研究所輪廓儀測樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司辦公設(shè)施齊全,，辦公環(huán)境優(yōu)越,，為員工打造良好的辦公環(huán)境。專業(yè)的團(tuán)隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司以用心服務(wù)為重點價值,，希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,，將磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，堅持“質(zhì)量保證,、良好服務(wù),、顧客滿意”的質(zhì)量方針,，贏得廣大客戶的支持和信賴,。