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TS-300/LP隔振臺大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2021-10-22

TS-150支撐面測試:

盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運(yùn)行,,但采用軟支撐結(jié)構(gòu)共振放大某些建筑物的振動頻率,,因此這些振動頻率會降低隔離的。

您可以通過觀察診斷信號來了解支持結(jié)構(gòu)的適用性同時推動支持,。 此測試應(yīng)禁用隔離,。 如果支撐是剛性的信號幾乎不應(yīng)響應(yīng)任何方向?qū)χ蔚耐苿印?現(xiàn)在嘗試點(diǎn)擊支持激發(fā)其內(nèi)部共鳴。 通常,,支架會對水平**產(chǎn)生更強(qiáng)烈的反應(yīng)而不是垂直的,。 一個非常共振的支撐將顯示長壽命的共振,并且隔離將

在這些頻率上受到嚴(yán)重影響,。 更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振,。


AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。TS-300/LP隔振臺大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺應(yīng)用

主動式隔震臺工作機(jī)理

主動防振臺通過電氣控制,,向傳入振動瞬間施加反方向的力,,從而消除振動,。測振傳感器不斷監(jiān)測振動,制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力,,以保持比較好的隔振狀態(tài),。主動式防震臺專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。

(1)實(shí)際測量的振動結(jié)果:AVI 主動隔振頻率范圍在 1.0Hz

到 200Hz之間,。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率,。

(2)不同負(fù)載下的振動傳遞率:

AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。高頻率范圍內(nèi),,隨著隔振負(fù)載增加,,隔震效果稍有提升。 隔震器隔振臺應(yīng)用LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,,頻率約為0.2Hz,。

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體**相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動、噪聲,、電磁領(lǐng)域,、熱、濕度,、干擾等是測量環(huán)境的抑 制因素,。

在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結(jié)果,,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,,此時需要主動隔離。先進(jìn)的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ),。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量,、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。

裝載設(shè)備:

掃描電子顯微鏡,,如 AFM3D表面分析儀,,激光顯微鏡,激光干涉儀,,液體表面張力測量系統(tǒng),,顯微硬度測量儀,

醫(yī)療檢測設(shè)備等

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,,頻率約為0.2Hz,。該傳感器直接放置在地板上,與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中,,以提高極低頻時的隔振性能,。LFS-3可以被復(fù)裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS,。用AVI-200 S/LP進(jìn)行測量,,增益設(shè)置為128(V)和150(H)。


輸入電壓:115/230V

AC,,50-60Hz        功耗:比較大20瓦

頻率范圍:0.2-20Hz       尺寸傳感器:255x245x107mm(長x寬x高)

電源尺寸:265x155x73mm(長x寬x高) 重量傳感器:5.9kg

供電重量:1.6kg                        應(yīng)用:室內(nèi)

防護(hù)等級:IP 20                        溫度范圍 :5°C-40°C

相對濕度:10–90%(5–30°C)


該表在支持靈敏實(shí)驗(例如膜片鉗,,顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,,比較大負(fù)載為800公斤,。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對更高負(fù)載的支持,。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 600-M的隔離始于1,2 Hz,,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式


AVI 600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具,。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時進(jìn)行任何復(fù)雜的操作,。


技術(shù)指標(biāo):

頻率:  1.2-200 Hz

負(fù)載范圍:  0-1200公斤

(單件):  600公斤 Table Stable Ltd:主動隔振以及高 分辨率,,高對比度光譜學(xué)的全球***。隔震器隔振臺應(yīng)用

簡單,,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進(jìn)行復(fù)雜的過程,。TS-300/LP隔振臺大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺應(yīng)用

AVI-400系列(負(fù)載:**多800kg)

型號:AVI-400SLP,AVI-400MLP,,AVI-400XLP

系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型

主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上

確認(rèn)防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,,外部連接,前面的8個LED指示防振狀態(tài)

尺寸:190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重*800kg

單位重量:約13kg,;約19公斤,,聯(lián)絡(luò)我們

電源電壓:95-240VAC,,50-60赫茲

耗電量:通常為18W

工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢,。 TS-300/LP隔振臺大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,,是一家其他型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)等,,價格合理,,品質(zhì)有保證。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競爭力,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識,,遵守行業(yè)規(guī)范,,植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。在社會各界的鼎力支持下,,持續(xù)創(chuàng)新,,不斷鑄造***服務(wù)體驗,為客戶成功提供堅實(shí)有力的支持,。