SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù),，可對(duì)小于40 nm *的極小特征進(jìn)行圖案化,，并可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,，可實(shí)現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級(jí)和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術(shù),。

*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細(xì)的信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 EVG提供不同的***積壓印系統(tǒng),，大面積壓印機(jī),，微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。3D IC納米壓印國內(nèi)代理

    面板廠為補(bǔ)償較低的開口率,，多運(yùn)用在背光模塊搭載較多LED的技術(shù),，但此作法的缺點(diǎn)是用電量較高。若運(yùn)用NIL制程,，可確保適當(dāng)?shù)拈_口率,，降低用電量,。利用一般曝光設(shè)備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設(shè)備一次可形成的圖樣面積較小,。若要制造55吋面板,，需要經(jīng)過數(shù)十次的曝光制程。不僅制程時(shí)間長,，經(jīng)過多次曝光后,，在圖樣間會(huì)形成細(xì)微的縫隙，無法完整顯示影像,。若將NIL技術(shù)應(yīng)用在5代設(shè)備,，可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜圖樣,。在8代基板可制造6片55吋面板,，6次的壓印接觸可處理完1片8代基板。南韓業(yè)者表示,，在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程,，是LCD領(lǐng)域中***一個(gè)創(chuàng)新任務(wù)。若加速NIL制程導(dǎo)入LCD生產(chǎn)的時(shí)程,，偏光膜企業(yè)的營收可能減少,。（來自網(wǎng)絡(luò)。重慶臺(tái)積電納米壓印SmartNIL的主要技術(shù)是可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結(jié)果,。

EVG ® 7200 LA特征：

專有SmartNIL ®技術(shù),，提供了****的印跡形大面積

經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度和均勻性

多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本

強(qiáng)大且精確可控的處理

與所有市售的壓印材料兼容

EVG ® 7200 LA技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：直徑200毫米（比較大Gen3）（550 x 650毫米）

解析度：40 nm-10 μm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：SmartNIL ®

曝光源：大功率窄帶（> 400 mW /cm2）

對(duì)準(zhǔn)：可選的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)：≤±15 μm

自動(dòng)分離：支持的

迷你環(huán)境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的

UV納米壓印光刻系統(tǒng)

EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

■高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)

■自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

■電動(dòng)和程序控制的曝光間隙

■支持***的UV-LED技術(shù)

■**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動(dòng)化的全場納米壓印解決方案,，適用于第3代基材

■體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

■專有的SmartNIL®技術(shù)和多用途聚合物印章技術(shù)

■集成式壓印，UV固化,，脫模和工作印模制作

■盒帶間自動(dòng)處理以及半自動(dòng)研發(fā)模式

■適用于所有市售壓印材料的開放平臺(tái)

EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有： EVG?610,，EVG?620NT,，EVG?6200NT,，EVG?720，EVG?7200等,。

UV納米壓印光刻

EV Group提供完整的UV納米壓印光刻（UV-NIL）產(chǎn)品線,，包括不同的***積壓印系統(tǒng)，大面積壓印機(jī),，微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL，EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù),。高 效,，強(qiáng)大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,，高度均勻的圖案層和**少的殘留層，并具有易于擴(kuò)展的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNI技術(shù)達(dá)到了納米壓印的長期預(yù)期,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的高性能，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù),。

IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級(jí)透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。晶圓納米壓印出廠價(jià)

EVG高達(dá)300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備支持晶圓級(jí)光學(xué)（WLO）的制造。3D IC納米壓印國內(nèi)代理

    NIL系統(tǒng)肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)負(fù)責(zé)人RuedigerSprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴(kuò)展到300-mm,，對(duì)于實(shí)現(xiàn)我們客戶滿足當(dāng)今和未來**AR/MR設(shè)備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟(jì)產(chǎn)量來說至關(guān)重要,。通過攜手合作，EVG和肖特彰顯了當(dāng)今300-mm高折射率玻璃制造的設(shè)備和供應(yīng)鏈的就緒性,?！痹诖酥埃褂霉饪?納米壓印技術(shù)對(duì)具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進(jìn)行圖案成形***于200-mm基板,。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設(shè)備推向大眾消費(fèi)和工業(yè)市場邁出的重要一步,。不過，在這些較大的基板上保持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的,，需要先進(jìn)的自動(dòng)化和工藝控制能力,。EVG的SmartNIL技術(shù)得益于多年的研究、開發(fā)和實(shí)驗(yàn),，旨在滿足納米圖案成形的需求,，經(jīng)過了現(xiàn)場驗(yàn)證，能夠輕松從晶圓級(jí)樣品尺寸擴(kuò)展到大面積基板,。去年六月,，EVG推出了HERCULES?NIL300mm，將SmartNIL引入300-mm制造,，滿足各種設(shè)備和應(yīng)用的生產(chǎn)需求,，其中包括AR、MR和虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）頭戴顯示設(shè)備的光學(xué)器件以及3D傳感器,、生物醫(yī)療設(shè)備,、納米光子學(xué)和等離子電子學(xué)。集成到SmartNIL?UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG?HERCULES?,。3D IC納米壓印國內(nèi)代理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司辦公設(shè)施齊全,，辦公環(huán)境優(yōu)越，為員工打造良好的辦公環(huán)境,。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn),，熟悉行業(yè)專業(yè)知識(shí)技能，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】,，同時(shí)還建立了完善的售后服務(wù)體系,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。自公司成立以來,，一直秉承“以質(zhì)量求生存,，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),，為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),，從而使公司不斷發(fā)展壯大。