光刻機軟件支持

基于Windows的圖形用戶界面的設計,，注重用戶友好性,，并可輕松引導操作員完成每個流程步驟。多語言支持,，單個用戶帳戶設置和集成錯誤記錄/報告和恢復,，可以簡化用戶的日常操作。所有EVG系統(tǒng)都可以遠程通信,。因此,，我們的服務包括通過安全連接，電話或電子郵件,，對包括經(jīng)過現(xiàn)場驗證的,，實時遠程診斷和排除故障。EVG經(jīng)驗豐富的工藝工程師隨時準備為您提供支持,，這得益于我們分散的全球支持機構(gòu),，包括三大洲的潔凈室空間：歐洲 (HQ), 亞洲 (日本) 和

北美 (美國). 只有以客戶的需求為導向，研發(fā)才具有價值,，也是我們不斷前進的動力,。MEMS光刻機

這使得可以在工業(yè)水平上開發(fā)新的設備或工藝，這不僅需要高度的靈活性,，而且需要可控和可重復的處理,。EVG在要求苛刻的應用中積累了多年的旋涂和噴涂經(jīng)驗，并將這些知識技能整合到EVG100系列中,，可以利用我們的工藝知識為客戶提供支持,。

光刻膠處理設備有：EVG101光刻膠處理，EVG105光刻膠烘焙機,，EVG120光刻膠處理自動化系統(tǒng),；EVG150 光刻膠處理自動化系統(tǒng)。如果您需要了解每個型號的特點和參數(shù),，請聯(lián)系我們,，我們會給您提供**/新的資料?；蛘咴L問我們的官網(wǎng)獲取相關(guān)信息,。

功率器件光刻機有哪些應用EVG610 掩模對準系統(tǒng)，支持的晶圓尺寸：100 mm / 150 mm / 200 mm,。

EVG的掩模對準系統(tǒng)含有：EVG610,；EVG620 NT半自動/全自動掩模對準系統(tǒng)；EVG6200 NT半自動/全自動掩模對準系統(tǒng),；IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng),；IQ Aligner NT自動掩模對準系統(tǒng)；

【EVG ® 610掩模對準系統(tǒng)】EVG

® 610是一個緊湊的和多用途R＆d系統(tǒng),，可以處理小基板片和高達200毫米的晶片,。

EVG ® 610技術(shù)數(shù)據(jù)：EVG610支持多種標準光刻工藝，例如真空,，硬,，軟和接近曝光模式，并可選擇背面對準功能,。此外,，該系統(tǒng)還提供其他功能，包括鍵合對準和納米壓印光刻（NIL）,。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,，可滿足用戶需求的變化，轉(zhuǎn)換時間不到幾分鐘,。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,，因此使其非常適合大學和研發(fā)應用。

EVG ® 610特征：

晶圓/基板尺寸從小到200 mm /8''

頂側(cè)和底側(cè)對準能力

高精度對準臺

自動楔形補償序列

電動和程序控制的曝光間隙

支持**/新的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）

便捷處理和轉(zhuǎn)換重組

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

EVG ® 610附加功能：

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻（NIL）

EVG ® 610技術(shù)數(shù)據(jù)：

對準方式

上側(cè)對準：≤±0.5 μm

底面要求：≤±2,0 μm

紅外校準：≤±2,0 μm /具體取決于基板材料

鍵對準：≤±2,0 μm

NIL對準：≤±2,0 μm HERCULES光刻機系統(tǒng)：全自動光刻跟/蹤系統(tǒng),，模塊化設計，用于掩模和曝光,，集成了預處理和后處理能力,。

EVG鍵合機掩模對準系列產(chǎn)品，使用**/先進的工程技術(shù),。

用戶對接近式對準器的主要需求由幾個關(guān)鍵參數(shù)決定,。亞微米對準精度，掩模和晶片之間受控的均勻接近間隙,，以及對應于抗蝕劑靈敏度的已經(jīng)明確定義且易于控制的曝光光譜是**重要的標準,。此外，整個晶圓表面的高光強度和均勻性是設計和不斷增強EVG掩模對準器產(chǎn)品組合時需要考慮的其他關(guān)鍵參數(shù),。創(chuàng)新推動了我們的日常業(yè)務的發(fā)展和提升我們的理念,，使我們能夠跳出思維框架，創(chuàng)造更先進的系統(tǒng),。 可以使用用于壓印光刻的工具,，例如紫外光納米壓印光刻，熱壓印或微接觸印刷,。寧夏光刻機

EVG100光刻膠處理系統(tǒng)可以處理多種尺寸的基板,，直徑從2寸到300 mm。MEMS光刻機

國統(tǒng)局數(shù)據(jù)顯示,，2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個,，營收規(guī)模4002億元，營收同比增長7.57%,；收入總額為361億元,，同比增長2.87%，比主營收入低4.70個百分點,；隨著互聯(lián)網(wǎng)的逐步發(fā)展,，為磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的傳播提供了一個飛速的平臺。讓儀器儀表行業(yè)從傳統(tǒng)的銷售模式到以互聯(lián)網(wǎng)電子商務為主的營銷方式的轉(zhuǎn)變,，促進了儀器儀表行業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合,，推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。在國民經(jīng)濟運行中,，磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務,，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等設備是提高勞動生產(chǎn)率的倍增器,，對國民經(jīng)濟有著巨大的作用和影響力。美國商業(yè)部地區(qū)技術(shù)和標準研究院（NIST）提出的報告稱：美國90年代儀器儀表工業(yè)產(chǎn)值只占工業(yè)總產(chǎn)值的4%,，但它對國民經(jīng)濟（GNP）的影響面卻達到66%,。盡管在我國相關(guān)政策的引導和支持下，我國儀器儀表行業(yè)得到了飛速發(fā)展,。但是從銷售整體上看,，我國的儀器儀表行業(yè)還是落后于國際水平的。重點技術(shù)缺乏,、高精尖產(chǎn)品嚴重依賴進口,、儀器儀表產(chǎn)品同質(zhì)化嚴重、生產(chǎn)工藝落后,、研發(fā)能力弱,、精度不高等問題的凸顯，為儀器儀表行業(yè)的發(fā)展帶來了嚴峻的挑戰(zhàn),。MEMS光刻機

岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，交通便利，環(huán)境優(yōu)美,，是一家其他型企業(yè),。岱美儀器技術(shù)服務是一家有限責任公司企業(yè)，一直“以人為本,，服務于社會”的經(jīng)營理念;“誠守信譽,，持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠滿意為標準,；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標,，提供***的磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務的理念,，打造高指標的服務,，引導行業(yè)的發(fā)展。