IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

應用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

IQ Aligner UV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝,，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡,。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始,，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應,。此外，EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,，包括所有相關的材料專業(yè)知識,。EV Group專有的卡盤設計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力,。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制,。

EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)。江蘇納米壓印供應商家

HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印,，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離,。該系統(tǒng)支持各種設備和應用程序的生產(chǎn),，包括用于增強/虛擬現(xiàn)實（AR / VR）頭戴式耳機的光學設備,，3D傳感器,，生物醫(yī)學設備,，納米光子學和等離激元學,。

HERCULES ® NIL特征：

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結構

支持各種結構尺寸和形狀,，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

河南納米壓印保修期多久岱美儀器代理的SmartNIL是一項關鍵的啟用技術,，可用于顯示器,，生物技術和光子應用中的許多新創(chuàng)新。

    具體說來就是，MOSFET能夠有效地產(chǎn)生電流流動,，因為標準的半導體制造技術旺旺不能精確控制住摻雜的水平（硅中摻雜以帶來或正或負的電荷）,，以確保跨各組件的通道性能的一致性,。通常MOSFET是在一層二氧化硅（SiO2）襯底上,，然后沉積一層金屬或多晶硅制成的,。然而這種方法可以不精確且難以完全掌控，摻雜有時會泄到別的不需要的地方,，那樣就創(chuàng)造出了所謂的“短溝道效應”區(qū)域,，并導致性能下降。一個典型MOSFET不同層級的剖面圖,。不過威斯康星大學麥迪遜分校已經(jīng)同全美多個合作伙伴攜手（包括密歇根大學,、德克薩斯大學、以及加州大學伯克利分校等）,，開發(fā)出了能夠降低摻雜劑泄露以提升半導體品質(zhì)的新技術,。研究人員通過電子束光刻工藝在表面上形成定制形狀和塑形，從而帶來更加“物理可控”的生產(chǎn)過程,。（來自網(wǎng)絡,。

    該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據(jù)客戶的專門需求,，公司對這些聚合物作出調(diào)整,，使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,，在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件,。此外，DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出,。關于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,，總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國,、中國,、新加坡及日本均設有子公司,。2019財政年，公司的780名員工創(chuàng)造了,。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應用于汽車、消費類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品,。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO的客戶包括博世,、戴姆勒,、華為,、歐司朗,、西門子以及索尼等,。關于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產(chǎn)半導體,、微機電系統(tǒng)(MEMS),、化合物半導體、功率器件以及納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的**供應商,。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓處理,、光刻/納米壓印光刻技術（NIL）與計量設備,，,，以及涂膠機,、清洗機與檢測系統(tǒng),。EV集團創(chuàng)辦于1980年,，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務與支持,。納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本的技術,，大批量替代光刻技術,。

    面板廠為補償較低的開口率，多運用在背光模塊搭載較多LED的技術,，但此作法的缺點是用電量較高,。若運用NIL制程，可確保適當?shù)拈_口率,，降低用電量,。利用一般曝光設備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設備一次可形成的圖樣面積較小,。若要制造55吋面板,，需要經(jīng)過數(shù)十次的曝光制程。不僅制程時間長,，經(jīng)過多次曝光后,，在圖樣間會形成細微的縫隙，無法完整顯示影像,。若將NIL技術應用在5代設備,，可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜圖樣,。在8代基板可制造6片55吋面板,，6次的壓印接觸可處理完1片8代基板。南韓業(yè)者表示，在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程,，是LCD領域中***一個創(chuàng)新任務,。若加速NIL制程導入LCD生產(chǎn)的時程，偏光膜企業(yè)的營收可能減少,。（來自網(wǎng)絡,。SmartNIL 非常適合對具有復雜納米結構微流控芯片進行高精度圖案化，用在下一代藥 物研究和醫(yī)學診斷設備生產(chǎn),。3D IC納米壓印技術支持

EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有： EVG?610,，EVG?620NT，EVG?6200NT,，EVG?720,，EVG?7200等。江蘇納米壓印供應商家

EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案

納米壓印光刻的介紹：

EV Group是納米壓印光刻（NIL）的市場**設備供應商,。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年,，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化,，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結果,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關知識,。我們愿意與您共同進步。

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岱美儀器技術服務（上海）有限公司主營品牌有岱美儀器技術服務,，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,，該公司其他型的公司。是一家有限責任公司企業(yè),，隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,，與多家企業(yè)合作研究，在原有產(chǎn)品的基礎上經(jīng)過不斷改進,，追求新型,，在強化內(nèi)部管理，完善結構調(diào)整的同時,，良好的質(zhì)量,、合理的價格、完善的服務,，在業(yè)界受到寬泛好評,。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠滿意為標準；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標,，提供***的磁記錄,，半導體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務的理念，打造高指標的服務,，引導行業(yè)的發(fā)展,。