EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案
納米壓印光刻的介紹:
EV Group是納米壓印光刻(NIL)的市場**設(shè)備供應(yīng)商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)多年,,掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。EVG的專有SmartNIL技術(shù)通過多年的研究,,開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化,以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求,。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結(jié)果,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進步。
EVG先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學者到**級別的所有需求,,因此使其成為大學和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇,。圖像傳感器納米壓印出廠價
納米壓印光刻設(shè)備-處理結(jié)果:
新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān)。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,,并在顯示器,,生物技術(shù)和光子應(yīng)用中實現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新。HRI SmartNIL®壓印上的單個像素的1.AFM圖像壓印全息結(jié)構(gòu)的AFM圖像
資料來源:EVG與SwissLitho
AG合作(歐盟項目SNM)
2.通過熱壓花在PMMA中復制微流控芯片
資料來源:EVG
3.高縱橫比(7:1)的10 μm柱陣列
由加拿大國家研究委 員會提供
4.L / S光柵具有優(yōu)化的殘留層,,厚度約為10 nm
資料來源:EVG
5.紫外線成型鏡片300 μm
資料來源:EVG
6.光子晶體用于LED的光提取
多晶硅的蜂窩織構(gòu)化(mc-Si)
由Fraunhofer ISE提供
7.金字塔形結(jié)構(gòu)50 μm
資料來源:EVG
8.**小尺寸的光模塊晶圓級封裝
資料來源:EVG
9.光子帶隙傳感器光柵
資料來源:EVG(歐盟Saphely項目)
10.在強光照射下對HRISmartNIL®烙印進行完整的晶圓照相
資料來源:EVG 大面積納米壓印推薦廠家IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。
EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)
具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),從碎片到比較大150毫米,。
該工具支持多種標準光刻工藝,,例如真空,軟,,硬和接近曝光模式,,并且可以選擇背面對準。此外,,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間*為幾分鐘,。其先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學者到**級別的所有需求,,因此使其成為大學和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。
HERCULES ® NIL完全模塊化和集成SmartNIL ® UV-NIL系統(tǒng)達300毫米
結(jié)合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺®技術(shù)支持AR / VR,,3D傳感器,,光子和生物技術(shù)生產(chǎn)應(yīng)用
EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個完全集成的跟 蹤系統(tǒng),將清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻(NIL)工藝結(jié)合在一個平臺上,,用于直徑比較大為300 mm的晶圓,。它是***個基于EVG的全模塊化設(shè)備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng),可為客戶提供比較大的自由度來配置他們的系統(tǒng),,以比較好地滿足其生產(chǎn)需求,,包括200 mm和300 mm晶圓的橋接功能。
SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,,因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,。
UV-NIL / SmartNIL 納米壓印系統(tǒng)
EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻(UV-NIL)提供完整的產(chǎn)品線,包括不同的單步壓印系統(tǒng),,大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL,EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù),。高 效,,強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,高度均勻的圖案層和**少的殘留層,,并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾,即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能,,低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù),。
這個系列的型號包括:EVG®610;EVG®620NT,;EVG®6200NT,;EVG®720;EVG®7200,;EVG®7200LA,;HERCULES®NIL;EVG®770,;IQAligner®,。 NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當有成本效益的方法。研究所納米壓印國內(nèi)代理
HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng),。圖像傳感器納米壓印出廠價
儀器儀表是用以檢出,、測量、觀察,、計算各種物理量,、物質(zhì)成分、物性參數(shù)等的器具或設(shè)備,。真空檢漏儀,、壓力表,、測長儀、顯微鏡,、乘法器等均屬于儀器儀表,。近年來,得益于機械,、冶金,、石化行業(yè)等儀器儀表服務(wù)領(lǐng)域經(jīng)營狀況的好轉(zhuǎn),我國儀器儀表制造業(yè)發(fā)展一路向好,。目前,,磁記錄,半導體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列,實驗分析儀器等中產(chǎn)品的市場占比不斷上升,,行業(yè)技術(shù)上總體已達到的中等國際水平,,少數(shù)產(chǎn)品接近或達到當前較高國際水平。目前我國磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】產(chǎn)品,,主要集中在中低檔市場,,而市場則主要被國外品牌所占據(jù)。在某些領(lǐng)域,,國產(chǎn)產(chǎn)品甚至是空白,,這就需要未來我國儀器儀表向市場進軍,擴大產(chǎn)品占比,?!盎ヂ?lián)網(wǎng)+”、大數(shù)據(jù),、020,、萬物互聯(lián)網(wǎng)、P2P,、分享經(jīng)濟等熱門詞匯的出現(xiàn),,各個行業(yè)制定相應(yīng)的措施來順應(yīng)時代的經(jīng)濟發(fā)展,以爭取更大的發(fā)展市場,。而互聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn)也為儀器儀表行業(yè)參與國際競爭提供了機會,,有利于銷售企業(yè)實現(xiàn)技術(shù)創(chuàng)新升級。圖像傳感器納米壓印出廠價
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司一直專注于磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】,,是一家儀器儀表的企業(yè),,擁有自己**的技術(shù)體系。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),深受員工與客戶好評,。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的磁記錄,,半導體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),。一直以來公司堅持以客戶為中心,、磁記錄,半導體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)市場為導向,重信譽,,保質(zhì)量,,想客戶之所想,急用戶之所急,,全力以赴滿足客戶的一切需要,。