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NanoX-8000輪廓儀質(zhì)量怎么樣

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-03-21

    新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后,,表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI),。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,,表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件,。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,,也包括軟件功能用于形貌分析,,如形狀去除和波長過濾,,都包含在基film3D軟件。對(duì)于更進(jìn)階的功能,,F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù),,這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,?每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,可達(dá)%準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm,,2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,。更進(jìn)一步減少總體成本,。配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息,。NanoX-8000輪廓儀質(zhì)量怎么樣

輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用

藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)

高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,,核探測(cè)


Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,表面粗糙度  

外延片表面缺 陷檢測(cè)

硅片外延表面缺 陷檢測(cè)

散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)


生物,、醫(yī)藥新技術(shù),,微流控器件

微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度


移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法,,保證了亞納米量級(jí)的測(cè)量精度,;優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),使每次檢測(cè)時(shí)間壓縮到10秒鐘以內(nèi),,同時(shí)完善的數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)系統(tǒng)為用戶評(píng)價(jià)產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便,。 太陽能電池輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)但是在共焦圖像中,通過多***盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),,只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量儀器,,儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,,在X和Z方向分別采樣,,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,,計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),,或放大的實(shí)際輪廓曲線,測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出,,也可由打印機(jī)輸出,。(來自網(wǎng)絡(luò))



輪廓儀在集成電路的應(yīng)用:

封**ump測(cè)量  

視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測(cè)位置:樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,,Rz,,…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,,**地縮

短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間,避免人工操作帶來的一致性,,可靠性問題


輪廓儀的培訓(xùn)

一,、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢,;培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司,,亦或在工程現(xiàn)場;

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,,由業(yè)主指定,,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng);


1.1. 培訓(xùn)對(duì)象

    系統(tǒng)操作及管理人員(培訓(xùn)對(duì)象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員),;

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員,。


1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說明書。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級(jí)等,,具體內(nèi)容如下:

    * 系統(tǒng)文檔解讀;

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn),、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式,;

    * 系統(tǒng)一般故障排除。





共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:

邁爾爾遜

1852-1931

美國物理學(xué)家

曾從事光速的精密測(cè)量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn),。

1881年,,他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,,邁克爾遜干涉儀,。

他和美國物理學(xué)家莫雷合作,進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),,否定了以太de 存在,,為愛因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ)。

由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng),。 一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右。輪廓測(cè)量儀輪廓儀技術(shù)原理

表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***,,更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征。NanoX-8000輪廓儀質(zhì)量怎么樣

NanoX-8000輪廓儀的自動(dòng)化系統(tǒng)主要配置 :

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um,,定位精度 5um,,重復(fù)精度

1um

? XY 平臺(tái)比較大移動(dòng)速度:200mm/s

? Z 軸聚焦:100mm行程自動(dòng)聚焦,0.1um移動(dòng)步進(jìn)

? 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺(tái)面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,,可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息

? 主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm


如果想要了解更加詳細(xì)的產(chǎn)品信息,,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 NanoX-8000輪廓儀質(zhì)量怎么樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司一直專注于磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】,是一家儀器儀表的企業(yè),,擁有自己**的技術(shù)體系,。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺(tái)與成長空間,,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),,深受員工與客戶好評(píng)。誠實(shí),、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營要求,,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的磁記錄,,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā),。一直以來公司堅(jiān)持以客戶為中心,、磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測(cè)試儀器的批發(fā)市場為導(dǎo)向,重信譽(yù),,保質(zhì)量,,想客戶之所想,急用戶之所急,,全力以赴滿足客戶的一切需要,。