FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng)
FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號(hào)360
FSM拉曼的應(yīng)用
l 局部應(yīng)力,;
l 局部化學(xué)成分
l 局部損傷
紫外光可測(cè)試的深度
***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應(yīng)力
可見光可測(cè)試的深度
良好的厚樣以及多層樣品的局部應(yīng)力
系統(tǒng)測(cè)試應(yīng)力的精度小于15mpa (0.03cm-1)
全自動(dòng)的200mm和300mm硅片檢查
自動(dòng)檢驗(yàn)和聚焦的能力,。
以上的信息比較有限,如果您有更加詳細(xì)的技術(shù)問題,,請(qǐng)聯(lián)系我們的技術(shù)人員為您解答,?;蛘咴L問我們的官網(wǎng)了解更多信息。 F3-sX 系列測(cè)厚范圍:10μm - 3mm,;波長(zhǎng):960-1580nm,。反射率膜厚儀實(shí)際價(jià)格
厚度測(cè)量產(chǎn)品:我們的膜厚測(cè)量產(chǎn)品可適用于各種應(yīng)用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫(kù)存以便快速交貨,。請(qǐng)瀏覽本公司網(wǎng)頁(yè)產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師針對(duì)您的厚度測(cè)量需求提供立即協(xié)助,。
單點(diǎn)厚度測(cè)量:
一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺(tái)式測(cè)量系統(tǒng)。 測(cè)量 1nm 到 13mm 的單層薄膜或多層薄膜堆,。
大多數(shù)產(chǎn)品都有庫(kù)存而且可立即出貨,。
F20全世界銷量**hao的薄膜測(cè)量系統(tǒng)。有各種不同附件和波長(zhǎng)覆蓋范圍,。
微米(顯微)級(jí)別光斑尺寸厚度測(cè)量當(dāng)測(cè)量斑點(diǎn)只有1微米(μm)時(shí),,需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個(gè)系統(tǒng),。 Filmetrics F30膜厚儀保修期多久可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)。
Total Thickness Variation (TTV) 應(yīng)用
規(guī)格:
測(cè)量方式:
紅外干涉(非接觸式)
樣本尺寸:
50,、75,、100、200,、300 mm,, 也可以訂做客戶需要的產(chǎn)品尺寸
測(cè)量厚度:
15 — 780 μm (單探頭)
3 mm (雙探頭總厚度測(cè)量)
掃瞄方式:
半自動(dòng)及全自動(dòng)型號(hào),
另2D/3D掃瞄(Mapping)可選
襯底厚度測(cè)量: TTV、平均值,、*小值,、*大值、公差...
可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)
重復(fù)性:
0.1 μm (1 sigma)單探頭*
0.8 μm
(1 sigma)雙探頭*
分辨率:
10 nm
請(qǐng)?jiān)L問我們的中文官網(wǎng)了解更多關(guān)于本產(chǎn)品的信息,。
Filmetrics 的技術(shù)Filmetrics 提供了范圍***的測(cè)量生物醫(yī)療涂層的方案:支架: 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器,。 我們的 F40 在幾十個(gè)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)得到使用,測(cè)量鈍化和/或藥 物輸送涂層,。我們有獨(dú)特的測(cè)量系統(tǒng)對(duì)整個(gè)支架表面的自動(dòng)厚度測(cè)繪,,只需在測(cè)量時(shí)旋轉(zhuǎn)支架。植入件: 在測(cè)量植入器件的涂層時(shí),,不規(guī)則的表面形狀通常是***挑戰(zhàn),。 Filmetrics 提供這一用途的全系列探頭。導(dǎo)絲和導(dǎo)引針: 和支架一樣,,這些器械常??梢杂孟?F40 這樣的顯微鏡儀器。導(dǎo)液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可見光譜不透明性決定了 F20-NIR 是這一用途方面全世界眾多實(shí)驗(yàn)室內(nèi)很受歡迎的儀器,。F30-UV測(cè)厚范圍:3nm-40μm,;波長(zhǎng):190-1100nm。
更可加裝至三個(gè)探頭,,同時(shí)測(cè)量三個(gè)樣品,,具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)可供選擇。F40:這型號(hào)安裝在任何顯微鏡外,,可提供*小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來(lái)測(cè)量微小樣品,。F50:這型號(hào)配備全自動(dòng)XY工作臺(tái),由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可,。通過(guò)快速掃瞄功能,,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。F70:*通過(guò)在F20基本平臺(tái)上增加鏡頭,,使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測(cè)量法(CTM),,把設(shè)備的測(cè)量范圍極大的拓展至。F10-RT:在F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時(shí)測(cè)量,特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測(cè)量,。PARTS:在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,,特別適用于超薄膜層厚度和n、k值測(cè)量,。**膜厚測(cè)量?jī)x系統(tǒng)F20使用F20**分光計(jì)系統(tǒng)可以簡(jiǎn)便快速的測(cè)量厚度和光學(xué)參數(shù)(n和k),。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過(guò)薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度、折射率和消光系數(shù),。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個(gè)桌面系統(tǒng)組裝起來(lái),。F20包括所有測(cè)量需要的部件:分光計(jì)、光源,、光纖導(dǎo)線,、鏡頭**和Windows下運(yùn)行的軟件。您需要的只是接上您的電腦,。膜層實(shí)例幾乎任何光滑,、半透明,、低吸收的膜都能測(cè),。包括:sio2(二氧化硅)sinx(氮化硅)dlc(類金剛石碳)photoresist。厚度范圍: 測(cè)量從 1nm 到 13mm 的厚度,。 測(cè)量 70nm 到 10um 薄膜的折射率,。膜厚儀膜厚儀有誰(shuí)在用
厚度變化 (TTV) ;溝槽深度,;過(guò)孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度,。反射率膜厚儀實(shí)際價(jià)格
F50 和 F60 的晶圓平臺(tái)提供不同尺寸晶圓平臺(tái),。
F50晶圓平臺(tái)- 100mm用于 2"、3" 和 4" 晶圓的 F50 平臺(tái)組件,。
F50晶圓平臺(tái)- 200mm用于 4",、5"、 6" 和 200mm 晶圓的 F50 平臺(tái)組件,。
F50晶圓平臺(tái)- 300mm用于 4",、5"、6",、200mm 和 300mm 晶圓的 F50 平臺(tái)組件,。
F50晶圓平臺(tái)- 450mmF50 夾盤組件實(shí)用于 4", 5", 6", 200mm, 300mm, 以及450mm毫米晶片。
F50晶圓平臺(tái)- 訂制預(yù)訂 F50 的晶圓平臺(tái),,通常在四星期內(nèi)交貨,。
F60晶圓平臺(tái)- 200mm用于 4"、5"、6" 和 200mm 晶圓的 F60 平臺(tái)組件,。
F60晶圓平臺(tái)- 300mm用于 4",、5"、6",、200mm 和 300mm 晶圓的 F60 平臺(tái)組件,。 反射率膜厚儀實(shí)際價(jià)格
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型的公司,。公司自成立以來(lái),,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),,公司旗下磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測(cè)試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛,。公司從事儀器儀表多年,有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì),、強(qiáng)大的技術(shù),,還有一批**的專業(yè)化的隊(duì)伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先,、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念,,全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力。