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EVG610納米壓印價格怎么樣

來源: 發(fā)布時間:2020-03-29

EVG ® 7200 LA特征:

專有SmartNIL ®技術(shù),,提供了****的印跡形大面積

經(jīng)過驗證的技術(shù),,具有出色的復(fù)制保真度和均勻性

多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本

強大且精確可控的處理

與所有市售的壓印材料兼容


EVG ® 7200 LA技術(shù)數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)

解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL ®

曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)

對準(zhǔn):可選的光學(xué)對準(zhǔn):≤±15 μm

自動分離:支持的

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的


工作印章制作:支持的


EVG?770可用于連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù),可進(jìn)行有效的母版制作。EVG610納米壓印價格怎么樣

EVG ® 520 HE特征:

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準(zhǔn)工藝,,用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印

氣動壓花選項

軟件控制的流程執(zhí)行


EVG ® 520 HE技術(shù)數(shù)據(jù)

加熱器尺寸:150毫米,200毫米

比較大基板尺寸:150毫米,,200毫米

**小基板尺寸:單芯片,,100毫米

比較大接觸力:10、20,、60,、100 kN

比較高溫度:標(biāo)準(zhǔn):350°C;可選:550°C

粘合卡盤系統(tǒng)/對準(zhǔn)系統(tǒng)

150毫米加熱器:EVG ® 610,,EVG ® 620,,EVG ® 6200

200毫米加熱器:EVG ® 6200,MBA300,,的Smart View ® NT

真空:

標(biāo)準(zhǔn):0.1毫巴

可選:0.00001 mbar 奧地利納米壓印有哪些品牌EVG是納米壓印光刻(NIL)的市場**設(shè)備供應(yīng)商,。

    NIL300mmEV集團(tuán)企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,,從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時間,。我們很高興與肖特公司合作,證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價值,,不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),,還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,,彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,,為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ)?!盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是**AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,,已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達(dá),,支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,,視野更廣,高達(dá)65度,。在與增強現(xiàn)實硬件制造商進(jìn)行多年研發(fā)之后,,肖特在2018年推出了***代SCHOTTRealView?。這款**產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業(yè)獎(SIDDisplayIndustryAward2019),。關(guān)于肖特肖特是特種玻璃,、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的**國際技術(shù)集團(tuán)。公司積累了超過130年的經(jīng)驗,,是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,。

    ”EV集團(tuán)的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,“通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作,,例如DELO,,我們能夠進(jìn)一步提高效率,,作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?!薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學(xué)儀器與NIL設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場**企業(yè),。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道?!巴ㄟ^合作,,我們將提供自己獨特的技術(shù),將晶圓級工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中,,EVG也成為我們***產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴,。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù)。"晶圓級光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級光學(xué)器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備,。主要的例子是:3D感應(yīng),,飛行時間,結(jié)構(gòu)光,,生物特征身份認(rèn)證,,面部識別,虹膜掃描,光學(xué)指紋,,頻譜檢測,,環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,,光地毯,,平視顯示器,車內(nèi)感應(yīng),,激光雷達(dá),,內(nèi)窺鏡照相機醫(yī)學(xué)成像,眼科設(shè)備與手術(shù)機器人,。EVG的晶圓級光學(xué)儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持,。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到。EVG的納米壓印光刻(NIL) - SmartNIL ? 是用于大批量生產(chǎn)的大面積軟UV納米壓印光刻工藝,。

納米壓印應(yīng)用二:面板尺寸的大面積納米壓印

EVG專有的且經(jīng)過大量證明的SmartNIL技術(shù)的***進(jìn)展,,已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3(550 mm x 650 mm)的基板上實現(xiàn)。對于不能減小尺寸的顯示器,,線柵偏振器,,生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率,。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟(jì),、高 效的方法,因為它不受光學(xué)系統(tǒng)的限制,并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。


EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有: EVG?610,,EVG?620NT,EVG?6200NT,,EVG?720,EVG?7200等,。河北納米壓印三維芯片應(yīng)用

IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。EVG610納米壓印價格怎么樣

EVG ® 510 HE是EVG500系列的熱壓印系統(tǒng)


EV Group的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印,。熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高

效且靈活的制造技術(shù),,對于尺寸低至50 nm的特征,其復(fù)制精度非常高,。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中,。壓模與基板對準(zhǔn)的組合可將熱壓紋與預(yù)處理的基板結(jié)構(gòu)對準(zhǔn)。這個系列包含的型號有:EVG®510HE,,EVG®520HE,。 EVG610納米壓印價格怎么樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊,。在岱美儀器技術(shù)服務(wù)近多年發(fā)展歷史,,公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術(shù)服務(wù)等。公司堅持以客戶為中心,、磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】市場為導(dǎo)向,,重信譽,,保質(zhì)量,想客戶之所想,,急用戶之所急,,全力以赴滿足客戶的一切需要。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的磁記錄,,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),。