白光干涉輪廓儀對(duì)比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像,，

多層垂直掃描

比較好高度測(cè)量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價(jià)比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點(diǎn)掃描合成面成像,，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測(cè)量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對(duì)樣品表面進(jìn)行快速,、重復(fù)性高,、高 分辨率的三維測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,，臺(tái)階高度,，給MEMS、半導(dǎo)體材料,、太陽能電池,、醫(yī)療工程、制藥,、生物材料，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的,、價(jià)格合理的計(jì)量方案。（來自網(wǎng)絡(luò)） 反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。二維輪廓儀供應(yīng)商

    比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質(zhì),，半導(dǎo)體，和金屬薄膜的厚度和折射率,。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測(cè)量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測(cè)量從薄膜垂直反射的光,。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術(shù)在成本，復(fù)雜度,，和測(cè)量能力上的不同,。由于橢偏儀的光從一個(gè)角度入射，所以一定要分析反射光的偏振和強(qiáng)度,，使得橢偏儀對(duì)超薄和復(fù)雜的薄膜堆有較強(qiáng)的測(cè)量能力,。然而，偏振分析意味著需要昂貴的精密移動(dòng)光學(xué)儀器,。光譜反射儀測(cè)量的是垂直光,，它忽略偏振效應(yīng)（絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱）。因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備,，光譜反射儀成為簡(jiǎn)單低成本的儀器,。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的優(yōu)先,，而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚,。在10nm到10um厚度之間，兩種技術(shù)都可用。而且具有快速,，簡(jiǎn)便,，成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測(cè)量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測(cè)量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>,。ADE輪廓儀試用由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

先進(jìn)的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn) 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó),、日本等 

PI ,，納米移動(dòng)平臺(tái)及控制

Nikon，干涉物鏡

NI,，信號(hào)控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺(tái)

世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)

VS2012/64位,，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計(jì)算機(jī)

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：

邁爾爾遜

1852-1931

美國(guó)物理學(xué)家

曾從事光速的精密測(cè)量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)。

1881年,，他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長(zhǎng)度,，折射率和光波波長(zhǎng)的干涉儀，邁克爾遜干涉儀,。

他和美國(guó)物理學(xué)家莫雷合作,，進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn)，否定了以太de 存在,，為愛因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ),。

由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng),。 儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。

輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用

藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）

高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測(cè)

Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,，表面粗糙度  

外延片表面缺 陷檢測(cè)

硅片外延表面缺 陷檢測(cè)

散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）

生物、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件

微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,，表面粗糙度

移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法,，保證了亞納米量級(jí)的測(cè)量精度；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),，使每次檢測(cè)時(shí)間壓縮到10秒鐘以內(nèi),，同時(shí)完善的數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)系統(tǒng)為用戶評(píng)價(jià)產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm,。Nano X輪廓儀用途

晶圓的IC制造過程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,。二維輪廓儀供應(yīng)商

隨著現(xiàn)在科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，儀器儀表行業(yè)發(fā)生了突飛猛進(jìn)的發(fā)展,，再加上當(dāng)前計(jì)算機(jī)技術(shù),、網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的進(jìn)步和發(fā)展，組建網(wǎng)絡(luò)而構(gòu)成實(shí)用的監(jiān)控系統(tǒng),，可以提高生產(chǎn)效率和共享信息資源方向發(fā)展,。當(dāng)前儀器儀表行業(yè)產(chǎn)品發(fā)展呈現(xiàn)微型化、多功能化,、智能化,、網(wǎng)絡(luò)化四大發(fā)展趨勢(shì)。進(jìn)一步提升我國(guó)儀器儀表技術(shù)和水平,，有限責(zé)任公司企業(yè)要順應(yīng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展潮流,，在穩(wěn)固常規(guī)品種的同時(shí)，進(jìn)一步發(fā)展智能儀器儀表,，提升產(chǎn)業(yè)數(shù)字化、智能化,、集成化水平,。伴隨移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)的爆發(fā)式增長(zhǎng)，如今,，它已經(jīng)漸漸取代電子商務(wù)成為了整個(gè)互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)增速**快的領(lǐng)域,，而移動(dòng)終端的入口也隨即成為了傳統(tǒng)行業(yè)的必爭(zhēng)之地。磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)行業(yè)進(jìn)軍移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)實(shí)現(xiàn)線上發(fā)展勢(shì)在必行,。隨著中國(guó)的不斷進(jìn)步,，世界上只有一個(gè)救世主——市場(chǎng)，能救企業(yè)的只有你自己——自強(qiáng),，提高其他型重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力才是中國(guó)制造業(yè)的獨(dú)一出路,。以顯微科學(xué)儀器行業(yè)的發(fā)展與變化為例，以親身的實(shí)踐為例,，毛磊認(rèn)為,，隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展,，我國(guó)的環(huán)境和實(shí)力都發(fā)生了巨大變化，有了完全不同的基礎(chǔ),，這為國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器走向**增強(qiáng)了信心,。二維輪廓儀供應(yīng)商

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位，交通便利,，環(huán)境優(yōu)美,，是一家其他型企業(yè)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)是一家有限責(zé)任公司企業(yè),，一直“以人為本,，服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠(chéng)守信譽(yù)，持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針,。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā),，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證,，深受廣大客戶的歡迎,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念，打造高指標(biāo)的服務(wù),，引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展,。