SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術,，可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化，并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化,。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合，可實現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本，大批量替代光刻技術,。
*分辨率取決于過程和模板
如果需要詳細的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術,，擁有多年技術,，掌握了NIL，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產,。浙江三星納米壓印
EVG ® 620 NT特征：
頂部和底部對準能力
高精度對準臺
自動楔形補償序列
電動和程序控制的曝光間隙
支持***的UV-LED技術
**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求
分步流程指導
遠程技術支持
多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）
敏捷處理和轉換工具
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
EVG ® 620 NT附加功能：
鍵對準
紅外對準
SmartNIL
μ接觸印刷技術數(shù)據
晶圓直徑（基板尺寸）
標準光刻：比較大150毫米的碎片
柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片
SmartNIL ®：在100毫米范圍
解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL
®
曝光源：汞光源或紫外線LED光源
對準：
軟NIL：≤±0.5 μm
SmartNIL ®：≤±3微米
自動分離：柔紫外線NIL：不支持,；SmartNIL
®：支持
工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部：SmartNIL ®：支持
天津納米壓印代理價格EVG ? 7200是自動SmartNIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng),。
IQ Aligner UV-NIL特征：
用于光學元件的微成型應用
用于全場納米壓印應用
三個**控制的Z軸,，可在印模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償
三個**控制的Z軸,，用于壓印抗蝕劑的總厚度變化（TTV）控制
利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝
EVG專有的全自動浮雕功能
抵抗分配站集成
粘合對準和紫外線粘合功能
IQ Aligner UV-NIL技術數(shù)據：
晶圓直徑（基板尺寸）：150至300毫米
解析度：≤50 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：柔軟的UV-NIL，鏡片成型
曝光源：汞光源
對準：≤±0.5微米
自動分離：支持的
前處理：涂層：水坑點膠（可選）
迷你環(huán)境和氣候控制：可選的
工作印章制作：支持的
為了優(yōu)化工藝鏈,，HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,，這是大批量生產的基石，不需要額外的壓印印章制造設備,。作為一項特殊功能,，該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環(huán)境，以確保比較低的缺 陷率和比較高質量的原版復制,。
通過為大批量生產提供完整的NIL解決方案,，HERCULES NIL增強了EVG在***積NIL設備解決方案中的領導地位。
*根據ISO 14644
HERCULES ® NIL特征：
批量生產**小40 nm *或更小的結構
聯(lián)合預處理（清潔/涂層/烘烤/寒意）和SmartNIL ®
體積驗證的壓印技術,，具有出色的復制保真度
全自動壓印和受控的低力分離,，可很大程度地重復使用工作印章
包括工作印章制造能力
高功率光源，固化時間**快
優(yōu)化的模塊化平臺可實現(xiàn)高吞吐量
*分辨率取決于過程和模板 EVG的熱壓印是一種經濟高 效且靈活的制造技術,，具有非常高的復制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸。
納米壓印應用三：連續(xù)性UV納米壓印
EVG770是用于步進重復納米壓印光刻的通用平臺,，可用于有效地進行母版制作或對基板上的復雜結構進行直接圖案化,。這種方法允許從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復制模板。與鉆石車削或直接寫入方法相結合，分步重復刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關知識,。我們愿意與您共同進步,。
EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有： EVG?610，EVG?620NT,，EVG?6200NT,，EVG?720，EVG?7200等,。全域納米壓印保修期多久
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儀器儀表是用以檢出、測量,、觀察,、計算各種物理量、物質成分,、物性參數(shù)等的器具或設備,。真空檢漏儀、壓力表,、測長儀,、顯微鏡、乘法器等均屬于儀器儀表,。近年來,，得益于機械、冶金,、石化行業(yè)等儀器儀表服務領域經營狀況的好轉,，我國儀器儀表制造業(yè)發(fā)展一路向好。目前,，磁記錄,，半導體，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)等產品的產量居世界前列,，實驗分析儀器等中產品的市場占比不斷上升，行業(yè)技術上總體已達到的中等國際水平,，少數(shù)產品接近或達到當前較高國際水平,。在國民經濟運行中，磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易,、轉口貿易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目,，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易,、轉口貿易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目,，經相關部門批準后方可開展經營活動】等設備是提高勞動生產率的倍增器，對國民經濟有著巨大的作用和影響力,。美國商業(yè)部地區(qū)技術和標準研究院（NIST）提出的報告稱：美國90年代儀器儀表工業(yè)產值只占工業(yè)總產值的4%,，但它對國民經濟（GNP）的影響面卻達到66%。從銷售廣義角度來說,，儀器儀表也可具有自動操控,、報警、信號傳遞和數(shù)據處理等功能,，例如用于工業(yè)生產過程自動操控中的氣動調節(jié)儀表,，和電動調節(jié)儀表,，以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表,。浙江三星納米壓印
岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司,。公司自成立以來,，以質量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個細節(jié),，公司旗下磁記錄,，半導體，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛,。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計,、強大的技術,，還有一批**的專業(yè)化的隊伍,，確保為客戶提供良好的產品及服務。岱美儀器技術服務立足于全國市場,，依托強大的研發(fā)實力,，融合前沿的技術理念，飛快響應客戶的變化需求,。