一,、從根源保障物件成品的準確性：

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，**終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二、提高效率：

智能化檢測,，全自動測量,，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點，**提高加工效率,。 包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度、面粗糙度等二維,、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標準。山東輪廓儀應用

輪廓儀的**團隊

夏勇博士,，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE,，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,，太陽能在線檢測設備

唐壽鴻博士,，國家千人****

25年 ADE，KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經(jīng)驗

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),，***圖像處理,、算法**

許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical

Instrument）

光學測量,、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,，為您排憂解難。 上海輪廓儀供應商每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。

輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎上,，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓,、臺階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加

工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

想要了解更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器,。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？

答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展）,，Z向測量范圍比較大可達10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量,，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù),；

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸？

如果需要了解更多,，請訪問官網(wǎng),。 擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，**提高加工效率,。

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。 儀器運用高性能內(nèi)部抗震設計,，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。中科院輪廓儀特點

一般三坐標精度都在2-3um左右,。山東輪廓儀應用

輪廓儀,、粗糙度儀,、三坐標的區(qū)別：

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸,、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù),?？傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

  但是，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實挺密切,，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機,，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊，這樣既可以測量輪廓尺寸,，又可以測量粗糙度,，市場上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。

  在結(jié)構(gòu)上,，輪廓儀基本上都是臺式的,，而粗糙度儀以手持式的居多，當然也有臺式的,。 山東輪廓儀應用

岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型公司。公司自成立以來,，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個細節(jié),，公司旗下磁記錄,，半導體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛,。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計,、強大的技術(shù),，還有一批**的專業(yè)化的隊伍,，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務。岱美儀器技術(shù)服務立足于全國市場,，依托強大的研發(fā)實力,，融合前沿的技術(shù)理念，飛快響應客戶的變化需求,。