**的衍射波導(dǎo)設(shè)計(jì)商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group（EVG）進(jìn)行合作，EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設(shè)備的**供應(yīng)商,，以帶來(lái)高性能增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（ AR）波導(dǎo)以當(dāng)今業(yè)界*低的成本進(jìn)入大眾市場(chǎng),。波導(dǎo)是可穿戴AR的關(guān)鍵光學(xué)組件,。
WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評(píng)論：“這一合作伙伴關(guān)系標(biāo)志著增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)行業(yè)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)，是大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)解決方案的關(guān)鍵步驟,，這是迄今為止尚無(wú)法實(shí)現(xiàn)的能力。” EVG的專業(yè)知識(shí)與我們可擴(kuò)展的通用技術(shù)的結(jié)合將使到明年年底,，AR終端用戶產(chǎn)品的市場(chǎng)價(jià)格將低于600美元?！斑@項(xiàng)合作是釋放AR可穿戴設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵,；我們共同處于有利位置，可以在AR中引入大眾市場(chǎng)創(chuàng)新,，以比以往更低的成本開(kāi)辟了可擴(kuò)展性的新途徑,。” HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng),。EVG720納米壓印推薦產(chǎn)品
EVG ® 6200 NT特征：
頂部和底部對(duì)準(zhǔn)能力
高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)
自動(dòng)楔形補(bǔ)償序列
電動(dòng)和程序控制的曝光間隙
支持***的UV-LED技術(shù)
**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求
分步流程指導(dǎo)
遠(yuǎn)程技術(shù)支持
多用戶概念（無(wú)限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問(wèn)權(quán)限,，不同的用戶界面語(yǔ)言）
敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具
臺(tái)式或帶防震花崗巖臺(tái)的單機(jī)版
EVG ® 6200 NT附加功能：
鍵對(duì)準(zhǔn)
紅外對(duì)準(zhǔn)
智能NIL ®
μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)
晶圓直徑（基板尺寸）
標(biāo)準(zhǔn)光刻：75至200 mm
柔軟的UV-NIL：75至200毫米
SmartNIL ®：**多至150mm
解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL
®
曝光源：汞光源或紫外線LED光源
對(duì)準(zhǔn)：軟NIL：≤±0.5 μm；SmartNIL ®：≤±3微米
自動(dòng)分離：柔紫外線NIL：不支持,；SmartNIL
®：支持
工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部,；SmartNIL ®：支持
熱壓印納米壓印保修期多久EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)還有：EVG?7200LA，HERCULES?NIL,，EVG?770,，IQAligner?等。
SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù),，可對(duì)小于40 nm *的極小特征進(jìn)行圖案化,，并可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,，可實(shí)現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢(shì)，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長(zhǎng)期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級(jí)和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術(shù),。
*分辨率取決于過(guò)程和模板
如果需要詳細(xì)的信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。
納米壓印應(yīng)用一：鏡片成型
晶圓級(jí)光學(xué)（WLO）的制造得到EVG高達(dá)300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備的支持,。使用從晶片尺寸的主印模復(fù)制來(lái)的工作印模,，通過(guò)軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉(zhuǎn)移到光學(xué)聚合物材料中。EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,，可以輕松地適應(yīng)各種材料組合,，以用于工作印模和微透鏡材料。EVG系統(tǒng)是客戶進(jìn)行大批量晶圓級(jí)鏡頭復(fù)制的優(yōu)先,。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí),。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步,。
EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。
納米壓印光刻設(shè)備-處理結(jié)果：
新應(yīng)用程序的開(kāi)發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān),。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,，并在顯示器，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新,。HRI SmartNIL®壓印上的單個(gè)像素的1.AFM圖像壓印全息結(jié)構(gòu)的AFM圖像
資料來(lái)源：EVG與SwissLitho
AG合作（歐盟項(xiàng)目SNM）
2.通過(guò)熱壓花在PMMA中復(fù)制微流控芯片
資料來(lái)源：EVG
3.高縱橫比（7：1）的10 μm柱陣列
由加拿大國(guó)家研究委 員會(huì)提供
4.L / S光柵具有優(yōu)化的殘留層,，厚度約為10 nm
資料來(lái)源：EVG
5.紫外線成型鏡片300 μm
資料來(lái)源：EVG
6.光子晶體用于LED的光提取
多晶硅的蜂窩織構(gòu)化（mc-Si）
由Fraunhofer ISE提供
7.金字塔形結(jié)構(gòu)50 μm
資料來(lái)源：EVG
8.**小尺寸的光模塊晶圓級(jí)封裝
資料來(lái)源：EVG
9.光子帶隙傳感器光柵
資料來(lái)源：EVG（歐盟Saphely項(xiàng)目）
10.在強(qiáng)光照射下對(duì)HRISmartNIL®烙印進(jìn)行完整的晶圓照相
資料來(lái)源：EVG EVG770是用于步進(jìn)重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺(tái)，可用于進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化,。EVG610納米壓印高性價(jià)比選擇
SmartNIL技術(shù)可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無(wú)限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。EVG720納米壓印推薦產(chǎn)品
對(duì)于壓印工藝，EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm,。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外,，還可以包括用于印章的釋放機(jī)構(gòu)。EV Group專有的卡盤(pán)設(shè)計(jì)可提供均勻的接觸力,，以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,，該卡盤(pán)支持軟性和硬性印模。
EVG610特征：
頂部和底部對(duì)準(zhǔn)能力
高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)
自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制
電動(dòng)和程序控制的曝光間隙
支持***的UV-LED技術(shù)
**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求
分步流程指導(dǎo)
遠(yuǎn)程技術(shù)支持
多用戶概念（無(wú)限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問(wèn)權(quán)限,，不同的用戶界面語(yǔ)言）
敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換
臺(tái)式或帶防震花崗巖臺(tái)的單機(jī)版
附加功能：
鍵對(duì)準(zhǔn)
紅外對(duì)準(zhǔn)
納米壓印光刻
μ接觸印刷
EVG720納米壓印推薦產(chǎn)品
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位，交通便利,，環(huán)境優(yōu)美,，是一家其他型企業(yè)。是一家有限責(zé)任公司企業(yè),，隨著市場(chǎng)的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,，與多家企業(yè)合作研究，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過(guò)不斷改進(jìn),，追求新型,，在強(qiáng)化內(nèi)部管理，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時(shí),，良好的質(zhì)量,、合理的價(jià)格、完善的服務(wù),，在業(yè)界受到寬泛好評(píng),。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)，價(jià)格合理,，品質(zhì)有保證，深受廣大客戶的歡迎,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)自成立以來(lái),，一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持,。