EVG ® 7200 LA特征:
專有SmartNIL ®技術(shù),,提供了****的印跡形大面積
經(jīng)過驗證的技術(shù),,具有出色的復(fù)制保真度和均勻性
多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本
強大且精確可控的處理
與所有市售的壓印材料兼容
EVG ® 7200 LA技術(shù)數(shù)據(jù):
晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)
解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:SmartNIL ®
曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)
對準(zhǔn):可選的光學(xué)對準(zhǔn):≤±15 μm
自動分離:支持的
迷你環(huán)境和氣候控制:可選的
工作印章制作:支持的
EVG提供不同的***積壓印系統(tǒng),,大面積壓印機,,微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。紫外光納米壓印有哪些品牌
該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世,。根據(jù)客戶的專門需求,,公司對這些聚合物作出調(diào)整,使其具備其它特征,。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,,在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件。此外,,DELO紫外線LED固化設(shè)備與點膠閥的可靠度十分杰出。關(guān)于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,,總部位于德國慕尼黑附近的Windach,。在美國,、中國、新加坡及日本均設(shè)有子公司,。2019財政年,,公司的780名員工創(chuàng)造了。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用于汽車,、消費類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品,。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO的客戶包括博世,、戴姆勒,、華為、歐司朗,、西門子以及索尼等,。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產(chǎn)半導(dǎo)體、微機電系統(tǒng)(MEMS),、化合物半導(dǎo)體,、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,、薄晶圓處理,、光刻/納米壓印光刻技術(shù)(NIL)與計量設(shè)備,,,以及涂膠機,、清洗機與檢測系統(tǒng)。EV集團創(chuàng)辦于1980年,,可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務(wù)與支持,。UV納米壓印芯片堆疊應(yīng)用 EVG?770可用于連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù),可進行有效的母版制作,。
納米壓印應(yīng)用三:連續(xù)性UV納米壓印
EVG770是用于步進重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺,,可用于有效地進行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進行直接圖案化。這種方法允許從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,,分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,,歡迎各位聯(lián)系我們,,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進步,。
NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當(dāng)有成本效益的方法,,因為它不受光學(xué)光刻所需的復(fù)雜光學(xué)器件的限制,并且它可以為極小尺寸(小于100分)提供比較好圖案保真度nm)結(jié)構(gòu),。
EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),,可提供功能強大的下一代光刻技術(shù),,幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,,因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。另外,,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間。
新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān),。 EVG的SmartNIL技術(shù)是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),,可提供功能強大的下一代光刻技術(shù)。
對于壓印工藝,,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm,。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括用于印章的釋放機構(gòu),。EV Group專有的卡盤設(shè)計可提供均勻的接觸力,,以實現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,該卡盤支持軟性和硬性印模,。
EVG610特征:
頂部和底部對準(zhǔn)能力
高精度對準(zhǔn)臺
自動楔形誤差補償機制
電動和程序控制的曝光間隙
支持***的UV-LED技術(shù)
**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求
分步流程指導(dǎo)
遠程技術(shù)支持
多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)
敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
附加功能:
鍵對準(zhǔn)
紅外對準(zhǔn)
納米壓印光刻
μ接觸印刷
EVG ? 770是分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng),,使用分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù),,可進行有效的母版制作。海南納米壓印圖像傳感器應(yīng)用
NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當(dāng)有成本效益的方法,。紫外光納米壓印有哪些品牌
據(jù)外媒報道,,美國威斯康星大學(xué)麥迪遜分校(UWMadison)的研究人員們,已經(jīng)同合作伙伴聯(lián)手實現(xiàn)了一種突破性的方法,。不僅**簡化了低成本高性能,、無線靈活的金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)的制造工藝,還克服了許多使用標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)制造設(shè)備時所遇到的操作上的問題,。該技術(shù)可用于制造大卷的柔性塑料印刷線路板,,并在可穿戴電子設(shè)備和彎曲傳感器等領(lǐng)域派上大用場。研究人員稱,,這項突破性的納米壓印平板印刷制造工藝,,可以在普通的塑料片上打造出整卷非常高性能的晶體管。由于出色的低電流需求和更好的高頻性能,,MOSFET已經(jīng)迅速取代了電子電路中常見的雙極晶體管,。為了滿足不斷縮小的集成電路需求,MOSFET尺寸也在不斷變小,然而這也引發(fā)了一些問題,。紫外光納米壓印有哪些品牌
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,,交通便利,,環(huán)境優(yōu)美,,是一家其他型企業(yè)。是一家有限責(zé)任公司企業(yè),,隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進,,追求新型,,在強化內(nèi)部管理,完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時,,良好的質(zhì)量,、合理的價格、完善的服務(wù),,在業(yè)界受到寬泛好評,。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠滿意為標(biāo)準(zhǔn),;以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo),,提供***的磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)順應(yīng)時代發(fā)展和市場需求,,通過**技術(shù),,力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)。