LFS
LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,,直到頻率約為0.2Hz,。該傳感器直接放置在地板上,并與標(biāo)準(zhǔn)AVI / LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中,,以提高非常低頻率的振動隔離,。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng),。
LFS-3的設(shè)計、制造和測試均符合測量和控制設(shè)備的安全規(guī)定,,并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求,。系統(tǒng)符合EEC指令89/336(電磁兼容性)
每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,,但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上,。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器。 測振傳感器不斷監(jiān)測振動,制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力,,以保持比較好的隔振狀態(tài),。掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺服務(wù)為先
地板上沒有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù),。(圖中橫坐標(biāo)為頻率,,縱坐標(biāo)為加速度)
加上AVI產(chǎn)品開啟隔振功能后,加速度的數(shù)據(jù),。(圖中橫坐標(biāo)為頻率,,縱坐標(biāo)為加速度)
Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應(yīng)器
LFS-3性能LFS-3感應(yīng)器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品,。
如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器,。謝謝! 光刻機隔振臺質(zhì)保期多久AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究,、應(yīng)用研究,、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。技術(shù)指標(biāo):頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔離:動態(tài)(超過1kHz)
透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)
矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N
靜態(tài)合規(guī)性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N
比較大負(fù)載:140公斤尺寸:500x600x84毫米
重量:28.5kg
電的安全等級:1個能量消耗:比較大10W負(fù)載調(diào)整時20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz
超載:顯示屏指示負(fù)載過重或嚴(yán)重失衡
監(jiān)控信號:示波器上顯示的多路復(fù)用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的
前面板顯示菜單:顯示儀器狀態(tài),,包括:-高度調(diào)節(jié)-隔離開/關(guān)-過載-運輸鎖定-技術(shù)熱線
桌上尺寸:500x600毫米,。
***使用AVI系統(tǒng)時,將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為關(guān)閉(黑色旋鈕熄滅),。打開電源,。電源指示燈現(xiàn)在將點亮,16個顯示LED將短暫閃爍,。黃色啟用LED將在約2Hz時閃爍,。如果出現(xiàn)劇烈振動或把手放在桌面上,部分或全部LED將閃爍,。打開電源約30秒后,,您可以將隔離開關(guān)推到打開位置(黑色旋鈕進入)。黃色LED現(xiàn)在將一直亮起,,表示系統(tǒng)正在隔離,。
把手輕輕地放在桌面上??赡軙幸粋€或多個LED亮起,,表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力,。 隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果,。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。
TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)特點和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計
TS-300的隔離始于0.7 Hz,,超過10Hz時迅速增加至40dB
缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多
TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式
精確的自動高度調(diào)節(jié)機制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平
遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”
如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器,。 LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。HERZAN隔振臺電子太平防震臺應(yīng)用
勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器,。掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺服務(wù)為先
5,、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,,使模塊從一側(cè)到另一側(cè)(而不是從前到后)橫跨立柱底面,。將它們盡量放在外側(cè),不要碰到腿的側(cè)壁,。如果您安裝的是EVO,、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,,則每個隔離模塊的寬度為7.5英寸,。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi),,相互朝向,。如果您安裝的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS,、Neon 60或NVision 40,,則每個隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下,,每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝外,,彼此遠(yuǎn)離。
6,、再次在AVI模塊頂部滑動第二個安裝板,,前后各27.5英寸,兩側(cè)各27英寸,,在掃描電鏡腳輪板下方居中,。重新連接時,確保AVI模塊和安裝板都不會與掃描電鏡側(cè)板接觸,。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸,。
7、系統(tǒng)就位后,,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,,直到其落在安裝板上。抬起水平尺,,直到它們向上并離開,。 掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺服務(wù)為先
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。公司自創(chuàng)立以來,,投身于磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實的精神和必勝的信念,,影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,,始終關(guān)注客戶,,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務(wù),。