FSM 8018 VITE測試系列設(shè)備

VITE技術(shù)介紹：

VITE是傅里葉頻域技術(shù)，利用近紅外光源的相位剪切技術(shù)（Phase shear technology）

設(shè)備介紹

適用于所有可讓近紅外線通過的材料：硅,、藍(lán)寶石,、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅,、玻璃,、石  英、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

基板材料: 如果薄膜位于粗糙基板 (大多數(shù)金屬) 上的話，一般不能測量薄膜的折射率,。上海膜厚儀有哪些應(yīng)用

銦錫氧化物與透明導(dǎo)電氧化物液晶顯示器,，有機(jī)發(fā)光二極管變異體，以及絕大多數(shù)平面顯示器技術(shù)都依靠透明導(dǎo)電氧化物 (TCO) 來傳輸電流,，并作每個發(fā)光元素的陽極,。 和任何薄膜工藝一樣，了解組成顯示器各層物質(zhì)的厚度至關(guān)重要,。 對于液晶顯示器而言,，就需要有測量聚酰亞胺和液晶層厚度的方法，對有機(jī)發(fā)光二極管而言，則需要測量發(fā)光,、電注入和封裝層的厚度,。

在測量任何多個層次的時候，諸如光譜反射率和橢偏儀之類的光學(xué)技術(shù)需要測量或建模估算每一個層次的厚度和光學(xué)常數(shù) (反射率和 k 值),。

不幸的是,，使得氧化銦錫和其他透明導(dǎo)電氧化物在顯示器有用的特性，同樣使這些薄膜層難以測量和建模,，從而使測量在它們之上的任何物質(zhì)變得困難。Filmetrics 的氧化銦錫解決方案Filmetrics 已經(jīng)開發(fā)出簡便易行而經(jīng)濟(jì)有效的方法,，利用光譜反射率精確測量氧化銦錫,。 將新型的氧化銦錫模式和 F20-EXR, 很寬的 400-1700nm 波長相結(jié)合,，從而實(shí)現(xiàn)氧化銦錫可靠的“一鍵”分析,。 氧化銦錫層的特性一旦得到確定,，剩余顯示層分析的關(guān)鍵就解決了,。

F50 和 F60 的晶圓平臺提供不同尺寸晶圓平臺,。

F50晶圓平臺- 100mm用于 2",、3" 和 4" 晶圓的 F50 平臺組件,。

F50晶圓平臺- 200mm用于 4"、5",、 6" 和 200mm 晶圓的 F50 平臺組件。

F50晶圓平臺- 300mm用于 4",、5",、6",、200mm 和 300mm 晶圓的 F50 平臺組件。

F50晶圓平臺- 450mmF50 夾盤組件實(shí)用于 4", 5", 6", 200mm, 300mm, 以及450mm毫米晶片,。

F50晶圓平臺- 訂制預(yù)訂 F50 的晶圓平臺,，通常在四星期內(nèi)交貨,。

F60晶圓平臺- 200mm用于 4",、5",、6" 和 200mm 晶圓的 F60 平臺組件,。

F60晶圓平臺- 300mm用于 4"、5",、6"、200mm 和 300mm 晶圓的 F60 平臺組件,。

    軟件升級提供專門用途的軟件。UPG-RT-to-Thickness升級的厚度求解軟件,，需要UPG-Spec-to-RT,。UPG-Thickness-to-n&k升級的折射率求解軟件，需要UPG-RT-to-Thickness,。UPG-F10-AR-HC為F10-AR升級的FFT硬涂層厚度測量軟件,。包括TS-Hardcoat-4um厚度標(biāo)準(zhǔn),。厚度測量范圍,。UPG-RT-to-Color&Regions升級的色彩與光譜區(qū)域分析軟件，需要UPG-Spec-to-RT,。

其他：手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件,、XP和Microsoft辦公軟件。電腦提箱用于攜帶F10,、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱。ConflatFeedthrough真空穿通,，"conflat,、雙出入孔SMA，并通過泄漏測試,。LensPaper-CenterHole**開孔鏡頭紙，用于保護(hù)面朝下的樣品,，5本各100張,。 利用可選的 UPG-F10-AR-HC 軟件升級能測量 0.25-15um 的硬涂層厚度,。

備用光源：

LAMP-TH1-5PAK：F10、F20,、F30,、F40,、F50、和 F60 系統(tǒng)的非紫外光源,。 5個/盒,。1200 小時平均無故障。

LAMP-TH：F42F42 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時平均無故障,。

LAMP-THF60：F60 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時平均無故障,。

LAMP-THF80：F80 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時平均無故障,。

LAMP-D2-L10290：L10290 氘光源。 2007年到2014年F20-UV的使用者,。

LAMP-TH-L10290：L10290 鎢鹵素光源。 2007年到2014年F20-UV的使用者,。

LAMP-D2-***T2：***T2光源需更換氘燈, 而鹵素?zé)艄庠葱韪鼡Q使用LAMP-TH1-5PAK. F20-XT膜厚范圍：0.2μm - 450μm；波長：1440-1690nm,。廣西膜厚儀

F30測厚范圍：15nm-70μm,；波長：380-1050nm。上海膜厚儀有哪些應(yīng)用

厚度測量產(chǎn)品：我們的膜厚測量產(chǎn)品可適用于各種應(yīng)用,。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨,。請瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師針對您的厚度測量需求提供立即協(xié)助。

單點(diǎn)厚度測量：

一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺式測量系統(tǒng),。 測量 1nm 到 13mm 的單層薄膜或多層薄膜堆,。

大多數(shù)產(chǎn)品都有庫存而且可立即出貨。

微米(顯微)級別光斑尺寸厚度測量當(dāng)測量斑點(diǎn)只有1微米（μm）時，需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng),。 上海膜厚儀有哪些應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司一直專注于磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】,，是一家儀器儀表的企業(yè),，擁有自己**的技術(shù)體系。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,，為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,，為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù)，深受員工與客戶好評,。誠實(shí),、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求，也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。公司憑著雄厚的技術(shù)力量,、飽滿的工作態(tài)度,、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德,，樹立了良好的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)形象,，贏得了社會各界的信任和認(rèn)可。