輪廓儀的性能 

測(cè)量模式

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺(tái)

150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)

CCD 相機(jī)像素

標(biāo)配：1280×960

視場(chǎng)范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm，1σ

臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀售后服務(wù)

    超納輪廓儀的主設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介:

中組部第十一批“****”****,，美國(guó)KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān),，干涉測(cè)量技術(shù)**美國(guó)上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測(cè)量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,，在光測(cè)領(lǐng)域發(fā)表23個(gè)美國(guó)專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個(gè)研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎(jiǎng),，國(guó)家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國(guó)。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體,、微機(jī)電,、納米材料、生物醫(yī)療,、精密涂層,、科研院所、航空航天等領(lǐng)域,?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量,，除了三維光學(xué)輪廓儀,，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。（網(wǎng)絡(luò)）,。 霍梅爾輪廓儀國(guó)內(nèi)用戶輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）,。

輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求？

答：輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm,，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí)，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量,，檢測(cè)效率會(huì)比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè)，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù),；

4.測(cè)量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,，或者能夠測(cè)到更小的尺寸？

如果需要了解更多,，請(qǐng)?jiān)L問官網(wǎng),。

輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測(cè)

集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化

MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

新型顯示技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化

超高精密表面工程技術(shù)

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實(shí)際輪廓曲線,，測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機(jī)輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)） 配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息。

三,、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù)，可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。

四,、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性，將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別,。

 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備,，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,，又提高了成品的出產(chǎn)效率,，滿足用戶對(duì)各項(xiàng)2D，3D參數(shù)檢測(cè)需求的同時(shí),，依然能夠保持高重復(fù)性,，高穩(wěn)定性的運(yùn)行，其對(duì)精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的,。 NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um。自動(dòng)測(cè)量輪廓儀免稅價(jià)格

隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀售后服務(wù)

表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用：

一,、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè)，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二、提高效率：

  智能化檢測(cè),，全自動(dòng)測(cè)量,，檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái)，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),，即可一鍵分析批量測(cè)量,。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力，精確度低的缺點(diǎn),，**提高加工效率,。

三、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D,、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù),，可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù),。

四、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性,，將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。 高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀售后服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司，是一家集研發(fā),、設(shè)計(jì),、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司。公司自創(chuàng)立以來,，投身于磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā),，是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對(duì)用戶產(chǎn)品上的貼心,，為用戶帶來良好體驗(yàn),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲，始終關(guān)注客戶,，創(chuàng)新科技,，竭誠(chéng)為客戶提供良好的服務(wù)。