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晶圓片輪廓儀推薦型號(hào)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2020-06-03

    filmOnline查film3D圖像並與其互動(dòng).請(qǐng)參考我們新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)***,,表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今比較高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI),。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度,,形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量。在數(shù)秒內(nèi),,您可以獲得平面和曲面表面上測(cè)量所有常見(jiàn)的粗糙度參數(shù),。也可以選擇拼接功能軟件升級(jí)來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積測(cè)量。***!**的網(wǎng)路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲(chǔ),、共享,、查看與分析來(lái)自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺(tái)式電腦,,平板電腦或智能手機(jī)上都能查看和操作,。享受***的圖像分析功能,包括表面輪廓(粗糙度)和階高 分析,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,?每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,,可達(dá)%準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm,,2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石,。晶圓片輪廓儀推薦型號(hào)

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢(shì)呢

世界先進(jìn)水平的產(chǎn)品技術(shù)

合理的產(chǎn)品價(jià)格

24小時(shí)到現(xiàn)場(chǎng)的本地化售后服務(wù)

無(wú)償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持

個(gè)性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持

合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)

更佳的產(chǎn)品性價(jià)比和更優(yōu)解決方案


非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測(cè)量?jī)x器,,可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。(本段來(lái)自網(wǎng)絡(luò)) 襯底輪廓儀試用NanoX-8000 的XY 平臺(tái)比較大移動(dòng)速度:200mm/s 。

如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。

2.開(kāi)啟電腦,、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。

3.擦凈工件被測(cè)表面,。

測(cè)量

1.將測(cè)針正確、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上,。

2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件。

4.開(kāi)始測(cè)量,。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測(cè)量完畢,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,,標(biāo)出結(jié)果,,并保存、打印,。


輪廓的角度處理:  

角度處理:兩直線夾角,、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn),、交點(diǎn)到直線距離,、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離,、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度,、凸度、LG凸度、對(duì)數(shù)曲線


輪廓儀,,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,,作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。(來(lái)自網(wǎng)絡(luò))



先進(jìn)的輪廓儀集成模塊


60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn) 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國(guó),、德國(guó),、日本等 

PI ,納米移動(dòng)平臺(tái)及控制

Nikon,,干涉物鏡

NI,,信號(hào)控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺(tái)

世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)


VS2012/64位,.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計(jì)算機(jī)


物鏡是輪廓儀****的部件,, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,。

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警,急停等功能,,報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量)(掃描范圍 50um)

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快



表面三維微觀形貌測(cè)量的意義

在生產(chǎn)中,,表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有**直接的影響,而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***,,更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視,,因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要。通過(guò)兌三維形貌的測(cè)量可以比較***的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,,進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,,這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,,確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn),。

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種,,其中以非接觸式測(cè)量方法為主。



擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,,精確度低的缺點(diǎn),,**提高加工效率。氮化鎵輪廓儀供應(yīng)商家

NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準(zhǔn)確度<1% ,;重復(fù)性<0.1% (1σ,,10um臺(tái)階高)。晶圓片輪廓儀推薦型號(hào)

    比較大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,,更進(jìn)一步減少總體成本。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用,。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺(tái)類型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺(tái)范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統(tǒng)尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購(gòu)配件:urionNano30主動(dòng)式防震臺(tái)4微米,,2微米,,和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)。晶圓片輪廓儀推薦型號(hào)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,,是一家專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】公司,。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn),熟悉行業(yè)專業(yè)知識(shí)技能,,致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌,。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力,多年來(lái)一直專注于磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的發(fā)展和創(chuàng)新,,打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù),。誠(chéng)實(shí)、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求,,也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造高品質(zhì)的磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測(cè)試儀器的批發(fā)。