SmartNIL技術(shù)簡介

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),，可提供功能強大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,，同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作功能,。另外，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進(jìn)步,。

步進(jìn)重復(fù)納米壓印光刻可以從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。江西納米壓印試用

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù),，可對小于40 nm *的極小特征進(jìn)行圖案化，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化,。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,，可實現(xiàn)****的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,，同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本,，大批量替代光刻技術(shù),。

注：*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細(xì)的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 微接觸納米壓印用途是什么EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有： EVG?610,，EVG?620NT,，EVG?6200NT，EVG?720,，EVG?7200等,。

    NIL300mmEV集團(tuán)企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,，從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時間,。我們很高興與肖特公司合作，證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價值,，不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),，還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,，彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,，為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ)?！盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是**AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,，已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達(dá),，支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,，視野更廣，高達(dá)65度,。在與增強現(xiàn)實硬件制造商進(jìn)行多年研發(fā)之后,，肖特在2018年推出了***代SCHOTTRealView?。這款**產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業(yè)獎（SIDDisplayIndustryAward2019）,。關(guān)于肖特肖特是特種玻璃,、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的**國際技術(shù)集團(tuán)。公司積累了超過130年的經(jīng)驗,，是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,。

EVG ® 6200 NT是SmartNIL

UV納米壓印光刻系統(tǒng)。

用UV納米壓印能力設(shè)有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)®技術(shù)范圍達(dá)150m,。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,，以**小的占地面積提供了**

新的掩模對準(zhǔn)技術(shù)。操作員友好型軟件,，**短的掩模和工具更換時間以及高 效的全球服務(wù)和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案,。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準(zhǔn)。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻。此外,，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù),。

納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本的技術(shù)，大批量替代光刻技術(shù),。

對于壓印工藝,，EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外,，還可以包括用于印章的釋放機構(gòu),。EV Group專有的卡盤設(shè)計可提供均勻的接觸力，以實現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,，該卡盤支持軟性和硬性印模,。

EVG610特征：

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形誤差補償機制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

附加功能：

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

納米壓印光刻 

μ接觸印刷

SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量。EVG770納米壓印出廠價

EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,，能夠輕松地適應(yīng)各種材料組合,，以用于工作印模和微透鏡材料。江西納米壓印試用

    納米壓印微影技術(shù)可望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography,；NIL),，現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術(shù),。據(jù)ETNews報導(dǎo),，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組，未確認(rèn)NIL設(shè)備實際圖樣形成能力,，直接參訪海外NIL設(shè)備廠,。該制程研發(fā)小組透露，若引進(jìn)相關(guān)設(shè)備,，將可提升面板性能,。并已展開具體供貨協(xié)商,。NIL是以刻印圖樣的壓印機,，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程。在基板上涂布UV感光液后,，再以壓印機接觸施加壓力,，印出面板圖樣。之后再經(jīng)過蝕刻制程形成圖樣,。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,，不需再另外貼附偏光薄膜,。雖然在面板制程中需增加NIL、蝕刻制程,，但省落偏光膜貼附制程,，可維持同樣的生產(chǎn)成本。偏光膜會吸收部分光線降低亮度,。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,，將不會發(fā)生降低亮度的情況。通常面板分辨率越高,，因配線較多,，較難確保開口率(ApertureRatio)。江西納米壓印試用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】公司,。在岱美儀器技術(shù)服務(wù)近多年發(fā)展歷史，公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術(shù)服務(wù)等,。公司以用心服務(wù)為重點價值,，希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力，將磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,，也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。