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氮化鎵納米壓印可以試用嗎

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-06-11

    NIL系統(tǒng)肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)負(fù)責(zé)人RuedigerSprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴(kuò)展到300-mm,對(duì)于實(shí)現(xiàn)我們客戶滿足當(dāng)今和未來**AR/MR設(shè)備不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求所需的規(guī)模經(jīng)濟(jì)產(chǎn)量來說至關(guān)重要,。通過攜手合作,,EVG和肖特彰顯了當(dāng)今300-mm高折射率玻璃制造的設(shè)備和供應(yīng)鏈的就緒性?!痹诖酥埃褂霉饪?納米壓印技術(shù)對(duì)具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進(jìn)行圖案成形***于200-mm基板。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設(shè)備推向大眾消費(fèi)和工業(yè)市場(chǎng)邁出的重要一步,。不過,在這些較大的基板上保持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的,,需要先進(jìn)的自動(dòng)化和工藝控制能力,。EVG的SmartNIL技術(shù)得益于多年的研究、開發(fā)和實(shí)驗(yàn),,旨在滿足納米圖案成形的需求,,經(jīng)過了現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證,能夠輕松從晶圓級(jí)樣品尺寸擴(kuò)展到大面積基板,。去年六月,,EVG推出了HERCULES?NIL300mm,將SmartNIL引入300-mm制造,,滿足各種設(shè)備和應(yīng)用的生產(chǎn)需求,,其中包括AR、MR和虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)頭戴顯示設(shè)備的光學(xué)器件以及3D傳感器,、生物醫(yī)療設(shè)備,、納米光子學(xué)和等離子電子學(xué)。集成到SmartNIL?UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG?HERCULES?,。EVG的納米壓印設(shè)備括不同的單步壓印系統(tǒng),,大面積壓印機(jī)以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。氮化鎵納米壓印可以試用嗎

    在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心,,雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料,,以及適用于大眾化市場(chǎng)的晶圓級(jí)光學(xué)元件,。(奧地利)與WINDACH(德國(guó)),2019年11月27日――EV集團(tuán)(EVG)這一全球**的為微機(jī)電系統(tǒng),、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場(chǎng)提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商,,***宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級(jí)光學(xué)元件(WLO)領(lǐng)域開展合作。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于**地位,。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料,,在工業(yè),汽車,,消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場(chǎng)開發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備,,例如生物特征身份認(rèn)證,面部識(shí)別,。目前雙方正在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心(位于EVG總部,,奧地利Florian)以及DELO在德國(guó)Windach的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期,。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器,,旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括**技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備,,例如分步重復(fù)母版,,透鏡模制,以及EVG的SmartNIL?技術(shù),,晶圓鍵合與必要的測(cè)量設(shè)備,。氮化鎵納米壓印可以試用嗎SmartNIL技術(shù)可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。

納米壓印設(shè)備哪個(gè)好,?預(yù)墨印章用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。該技術(shù)用于表面化學(xué)的局部修飾或捕獲分子在生物傳感器制造中的精確放置,。

納米壓印設(shè)備可以進(jìn)行熱壓花,、加壓加熱、印章,、聚合物,、基板、附加沖壓成型脫模,。


將聚合物片或旋涂聚合物加熱到其玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上,,從而將材料轉(zhuǎn)變?yōu)檎承誀顟B(tài)。然后以足夠的力將壓模壓入聚合物中,。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商,,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí),。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步,。


EVG ® 7200 LA特征:

專有SmartNIL ®技術(shù),,提供了****的印跡形大面積

經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度和均勻性

多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長(zhǎng)母版使用壽命并節(jié)省大量成本

強(qiáng)大且精確可控的處理

與所有市售的壓印材料兼容


EVG ® 7200 LA技術(shù)數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)

解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL ®

曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)

對(duì)準(zhǔn):可選的光學(xué)對(duì)準(zhǔn):≤±15 μm

自動(dòng)分離:支持的

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的


工作印章制作:支持的


納米壓印設(shè)備可用來進(jìn)行熱壓花,、加壓加熱,、印章、聚合物,、基板,、附加沖壓成型脫模。

    NIL300mmEV集團(tuán)企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,,為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個(gè)合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個(gè)開放式的創(chuàng)新孵化器,,從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時(shí)間。我們很高興與肖特公司合作,,證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價(jià)值,,不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場(chǎng)中的采用,。我們正在攜手肖特開展的工作,,彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ),。”SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是**AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,,已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn),。產(chǎn)品組合提供了高達(dá),支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,,視野更廣,,高達(dá)65度。在與增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)硬件制造商進(jìn)行多年研發(fā)之后,,肖特在2018年推出了***代SCHOTTRealView?,。這款**產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽(yù)的2019年SID顯示行業(yè)獎(jiǎng)(SIDDisplayIndustryAward2019)。關(guān)于肖特肖特是特種玻璃,、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的**國(guó)際技術(shù)集團(tuán),。公司積累了超過130年的經(jīng)驗(yàn),是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,。EVG的SmartNIL技術(shù)是基于紫外線曝光的全場(chǎng)壓印技術(shù),,可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù)。高精密儀器納米壓印用途是什么

EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。氮化鎵納米壓印可以試用嗎

      **的衍射波導(dǎo)設(shè)計(jì)商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group(EVG)進(jìn)行合作,,EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設(shè)備的**供應(yīng)商,以帶來高性能增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)( AR)波導(dǎo)以當(dāng)今業(yè)界*低的成本進(jìn)入大眾市場(chǎng),。波導(dǎo)是可穿戴AR的關(guān)鍵光學(xué)組件,。

      WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評(píng)論:“這一合作伙伴關(guān)系標(biāo)志著增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)行業(yè)的轉(zhuǎn)折點(diǎn),,是大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)解決方案的關(guān)鍵步驟,這是迄今為止尚無法實(shí)現(xiàn)的能力,?!?EVG的專業(yè)知識(shí)與我們可擴(kuò)展的通用技術(shù)的結(jié)合將使到明年年底,AR終端用戶產(chǎn)品的市場(chǎng)價(jià)格將低于600美元,?!斑@項(xiàng)合作是釋放AR可穿戴設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵;我們共同處于有利位置,,可以在AR中引入大眾市場(chǎng)創(chuàng)新,,以比以往更低的成本開辟了可擴(kuò)展性的新途徑?!?氮化鎵納米壓印可以試用嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,,是一家專業(yè)的磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】公司。在岱美儀器技術(shù)服務(wù)近多年發(fā)展歷史,,公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術(shù)服務(wù)等,。公司以用心服務(wù)為重點(diǎn)價(jià)值,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,,將磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底,。誠實(shí),、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求,也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測(cè)試儀器的批發(fā),。