F60 系列生產(chǎn)環(huán)境的自動測繪Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能,。 這些功能包括凹槽自動檢測,、自動基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺,、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長范圍加以區(qū)分,。 較短的波長 (例如， F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜,，而較長的波長則可以用來測量更厚,、更不平整以及更不透明的薄膜。 

包含的內(nèi)容：集成平臺/光譜儀/光源裝置（不含平臺）4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)真空泵備用燈 監(jiān)測控制生產(chǎn)過程中移動薄膜厚度,。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到,。安徽晶片膜厚儀

測量眼科設(shè)備涂層厚度光譜反射率可用于測量眼鏡片減反射 (AR) 光譜和殘余顏色，以及硬涂層和疏水層的厚度,。

測量范例：

F10-AR系統(tǒng)配備HC升級選擇通過反射率信息進行硬涂層厚度測量,。這款儀器儀器采用接觸探頭，從而降低背面反射影響,，并可測凹凸表面,。接觸探頭安置在鏡頭表面。FILMeasure軟件自動分析采集的光譜信息以確定鏡頭是否滿足指定的反射規(guī)格,?？蓽y平均反射率,，指定點**小比較大反射率，以抵消硬涂層的存在,。如果這個鏡頭符合要求,，系統(tǒng)操作人員將得到清晰的“很好”指示。 薄膜測厚儀膜厚儀液晶顯示行業(yè)可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS),。

Filmetrics 的技術(shù)Filmetrics 提供了范圍***的測量生物醫(yī)療涂層的方案：支架： 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器,。 我們的 F40 在幾十個實驗室內(nèi)得到使用，測量鈍化和/或藥 物輸送涂層,。我們有獨特的測量系統(tǒng)對整個支架表面的自動厚度測繪,，只需在測量時旋轉(zhuǎn)支架。植入件： 在測量植入器件的涂層時,，不規(guī)則的表面形狀通常是***挑戰(zhàn),。 Filmetrics 提供這一用途的全系列探頭。導(dǎo)絲和導(dǎo)引針： 和支架一樣,，這些器械常?？梢杂孟?F40 這樣的顯微鏡儀器。導(dǎo)液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可見光譜不透明性決定了 F20-NIR 是這一用途方面全世界眾多實驗室內(nèi)很受歡迎的儀器,。

FSM 413MOT 紅外干涉測量設(shè)備：

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍寶石、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

如果您想了解更多關(guān)于FSM膜厚儀的技術(shù)問題,，請聯(lián)系我們岱美儀器。 Filmetrics 提供一系列的和測繪系統(tǒng)來測量 3nm 到 1mm 的單層,、 多層,、 以及單獨的光刻膠薄膜。

F10-HC輕而易舉而且經(jīng)濟有效地分析單層和多層硬涂層F10-HC 以 Filmetrics F20 平臺為基礎(chǔ),，根據(jù)光譜反射數(shù)據(jù)分析快速提供薄膜測量結(jié)果,。 F10-HC 先進的模擬算法是為測量聚碳酸酯和其它單層和多層硬涂層(例如，底涂/硬涂層)專門設(shè)計的,。

全世界共有數(shù)百臺 F10-HC 儀器在工作,，幾乎所有主要汽車硬涂層公司都在使用它們,。

像我們所有的臺式儀器一樣，F(xiàn)10-HC 可以連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)定,。

包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠程數(shù)據(jù)分析)CP-1-1.3 探頭BK7 參考材料TS-Hardcoat-4um 厚度標(biāo)準(zhǔn)備用燈

額外的好處：應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 F30測厚范圍：15nm-70μm,；波長：380-1050nm,。測膜儀膜厚儀服務(wù)為先

一般較短波長 (例如,， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長波長可以測量更厚,、更不平整和更不透明的薄膜,。安徽晶片膜厚儀

接觸探頭測量彎曲和難測的表面

CP-1-1.3測量平面或球形樣品，結(jié)實耐用的不銹鋼單線圈,。

CP-1-AR-1.3可以抑 制背面反射,，對 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%。 鋼制單線圈外加PVC涂層,，比較大可測厚度 15um,。

CP-2-1.3用于探入更小的凹表面，直徑 17.5mm,。

CP-C6-1.3探測直徑小至 6mm 的圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-C12-1.3用于直徑小至 12mm 圓柱形和球形樣品外側(cè)。

CP-C26-1.3用于直徑小至 26mm 圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-BendingRod-L350-2彎曲長度 300mm,，總長度 350mm 的接觸探頭。 用于難以到達的區(qū)域,，但不會自動對準(zhǔn)表面,。

CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭。

CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑**小的接觸探頭,，配備微型直角反射鏡,，用來測量小至直徑 3mm 管子的內(nèi)壁，不能自動對準(zhǔn)表面,。

CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,，可以在相隔 10mm 的兩個平坦表面之間進行測量。 安徽晶片膜厚儀

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等,，目前不斷進行創(chuàng)新和服務(wù)改進，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,，在儀器儀表深耕多年,，以技術(shù)為先導(dǎo)，以自主產(chǎn)品為重點,，發(fā)揮人才優(yōu)勢,，打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念,，全力打造公司的重點競爭力,。