EVG6200 NT附加功能：
鍵對準(zhǔn)
紅外對準(zhǔn)
納米壓印光刻（NIL）
EVG6200 NT技術(shù)數(shù)據(jù)：
曝光源
汞光源/紫外線LED光源
先進(jìn)的對準(zhǔn)功能
手動(dòng)對準(zhǔn)/原位對準(zhǔn)驗(yàn)證
自動(dòng)對準(zhǔn)
動(dòng)態(tài)對準(zhǔn)/自動(dòng)邊緣對準(zhǔn)
對準(zhǔn)偏移校正算法
EVG6200 NT產(chǎn)能：
全自動(dòng)：第/一批生產(chǎn)量：每小時(shí)180片
全自動(dòng)：吞吐量對準(zhǔn)：每小時(shí)140片晶圓
晶圓直徑（基板尺寸）：高達(dá)200毫米
對準(zhǔn)方式：
上側(cè)對準(zhǔn)：≤±0.5 μm
底側(cè)對準(zhǔn)：≤±1,0 μm
紅外校準(zhǔn)：≤±2,0 μm /具體取決于基板材料
鍵對準(zhǔn)：≤±2,0 μm
NIL對準(zhǔn)：≤±3.0 μm
曝光設(shè)定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
楔形補(bǔ)償：全自動(dòng)軟件控制
曝光選項(xiàng)：間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光
系統(tǒng)控制
操作系統(tǒng)：Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)
多語言用戶GUI和支持：CN,，DE，F(xiàn)R,，IT,，JP,，KR
實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪問,，診斷和故障排除
工業(yè)自動(dòng)化功能：盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，彎曲,，翹曲,，邊緣晶圓處理
納米壓印光刻技術(shù)：SmartNIL 除了光刻機(jī)之外，岱美還代理了EVG的鍵合機(jī)等設(shè)備,。光刻機(jī)研發(fā)生產(chǎn)
IQ Aligner®NT特征：
零輔助橋接工具-雙基板概念,，支持200
mm和300 mm的生產(chǎn)靈活性
吞吐量> 200 wph（首/次打印）
尖/端對準(zhǔn)精度：
頂側(cè)對準(zhǔn)低至250 nm
背面對準(zhǔn)低至500 nm
寬帶強(qiáng)度> 120 mW /cm2（300毫米晶圓）
完整的明場掩模移動(dòng)（FCMM）可實(shí)現(xiàn)靈活的圖案定位并兼容暗場掩模對準(zhǔn)
非接觸式原位掩膜到晶圓接近間隙驗(yàn)證
超平坦和快速響應(yīng)的溫度控制晶片卡盤,，出色的跳動(dòng)補(bǔ)償
手動(dòng)基板裝載能力
返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)
遠(yuǎn)程技術(shù)支持和GEM300兼容性
智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能[Framework Software Platform]
用于過程和機(jī)器控制的集成分析功能
設(shè)備和過程性能跟/蹤功能
并行/排隊(duì)任務(wù)處理功能
智能處理功能
發(fā)生和警報(bào)分析
智能維護(hù)管理和跟/蹤 聯(lián)電光刻機(jī)質(zhì)量怎么樣EVG的掩模對準(zhǔn)目標(biāo)是適用于高達(dá)300 mm的不同的厚度,，尺寸，形狀的晶圓和基片,。
EVG620 NT或完全容納的EVG620
NT Gen2掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)配備了集成的振動(dòng)隔離功能,，可在各種應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)出色的曝光效果，例如,，對薄而厚的光刻膠進(jìn)行曝光,，對深腔進(jìn)行構(gòu)圖并形成可比的形貌，以及對薄而易碎的材料（例如化合物半導(dǎo)體）進(jìn)行加工,。此外,，半自動(dòng)和全自動(dòng)系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。
EVG620 NT特征：
晶圓/基板尺寸從小到150 mm /
6''
系統(tǒng)設(shè)計(jì)支持光刻工藝的多功能性
易碎,，薄或翹曲的多種尺寸的晶圓處理,，更換時(shí)間短
帶有間隔墊片的自動(dòng)無接觸楔形補(bǔ)償序列
HERCULES 光刻軌道系統(tǒng)技術(shù)數(shù)據(jù)：
對準(zhǔn)方式：
上側(cè)對準(zhǔn)：≤±0.5 μm；
底側(cè)對準(zhǔn)：≤±1,0 μm,；
紅外校準(zhǔn)：≤±2,0 μm /具體取決于基材
先進(jìn)的對準(zhǔn)功能：
手動(dòng)對準(zhǔn),；
自動(dòng)對準(zhǔn)；
動(dòng)態(tài)對準(zhǔn),。
對準(zhǔn)偏移校正：
自動(dòng)交叉校正/手動(dòng)交叉校正,；
大間隙對準(zhǔn)。
工業(yè)自動(dòng)化功能：盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,，彎曲,，翹曲，邊緣晶圓處理
曝光源：汞光源/紫外線LED光源
曝光設(shè)定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
楔形補(bǔ)償：全自動(dòng)軟件控制,；非接觸式
曝光選項(xiàng)：
間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光
系統(tǒng)控制
操作系統(tǒng)：Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)
多語言用戶GUI和支持：CN,，DE，F(xiàn)R,，IT，JP,，KR
實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪問,，診斷和故障排除 EVG所有光刻設(shè)備平臺均為300mm,。
IQ Aligner®NT自動(dòng)掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)
特色：IQ Aligner®在**/高吞吐量NT經(jīng)過優(yōu)化零協(xié)助非接觸式近程處理。
技術(shù)數(shù)據(jù)：IQ Aligner NT是用于大批量應(yīng)用的生產(chǎn)力**/高,，技術(shù)**/先進(jìn)的自動(dòng)掩模對準(zhǔn)系統(tǒng),。該系統(tǒng)具有**/先進(jìn)的打印間隙控制和零輔助雙尺寸晶圓處理能力，可完全滿足大批量制造（HVM）的需求,。與EVG的上一代IQ
Aligner系統(tǒng)相比,，它的吞吐量提高了2倍，對準(zhǔn)精度提高了2倍,，是所有掩模對準(zhǔn)器中**/高的吞吐量,。IQ Aligner NT超越了對后端光刻應(yīng)用**苛刻的要求，同時(shí)與競爭性系統(tǒng)相比,，其掩模成本降低了30％,，而競爭系統(tǒng)超出了掩模對準(zhǔn)工具所支持的**/高吞吐量。 可以使用用于壓印光刻的工具,，例如紫外光納米壓印光刻,，熱壓印或微接觸印刷。中科院光刻機(jī)推薦型號
在全球范圍內(nèi),，我們?yōu)樵S多用戶提供了量產(chǎn)型的光刻機(jī)系統(tǒng),，并得到了他們的無數(shù)好評。光刻機(jī)研發(fā)生產(chǎn)
EVG120光刻膠自動(dòng)處理系統(tǒng)：
智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能（框架軟件平臺）
用于過程和機(jī)器控制的集成分析功能
并行任務(wù)/排隊(duì)任務(wù)處理功能
設(shè)備和過程性能跟/蹤功能
智能處理功能：
事/故和警報(bào)分析/智能維護(hù)管理和跟/蹤
晶圓直徑（基板尺寸）：高達(dá)200毫米
模塊數(shù)：
工藝模塊：2
烘烤/冷卻模塊：**多10個(gè)
工業(yè)自動(dòng)化功能：Ergo裝載盒式工作站/
SMIF裝載端口/ SECS / GEM / FOUP裝載端口
分配選項(xiàng)：
各種光刻膠分配泵,，可覆蓋高達(dá)52000 cP的粘度
液體底漆/預(yù)濕/洗盤
去除邊緣珠（EBR）/背面沖洗（BSR）
恒壓分配系統(tǒng)/注射器分配系統(tǒng)
電阻分配泵具有流量監(jiān)控功能
可編程分配速率/可編程體積/可編程回吸
超音波
光刻機(jī)研發(fā)生產(chǎn)
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn),，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司堅(jiān)持以客戶為中心,、磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】市場為導(dǎo)向,，重信譽(yù),，保質(zhì)量，想客戶之所想,，急用戶之所急,，全力以赴滿足客戶的一切需要。自公司成立以來,，一直秉承“以質(zhì)量求生存,，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),，為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),，從而使公司不斷發(fā)展壯大。