我們可以根據(jù)您的需求提供進(jìn)行優(yōu)化的多用途系統(tǒng)。

我們的掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)計用于從掩模對準(zhǔn)到鍵合對準(zhǔn)的快速簡便轉(zhuǎn)換,。此外,，可以使用用于壓印光刻的可選工具集，例如UV-納米壓印光刻,，熱壓印或微接觸印刷,。所有系統(tǒng)均支持原位對準(zhǔn)驗(yàn)證軟件，以提高手動操作系統(tǒng)的對準(zhǔn)精度和可重復(fù)性,。EVG620 NT / EVG6200 NT可從手動到自動基片處理,，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場升級。此外,，所有掩模對準(zhǔn)器都支持EVG專有的NIL技術(shù),。如果您需要納米壓印設(shè)備，請訪問我們的官網(wǎng),，或者直接聯(lián)系我們,。 除了光刻機(jī)之外，岱美還代理了EVG的鍵合機(jī)等設(shè)備,。安徽光刻機(jī)技術(shù)服務(wù)

曝光光學(xué)：提供不同配置的曝光光學(xué)系統(tǒng),，旨在實(shí)現(xiàn)任何應(yīng)用的**/大靈活性,。汞燈曝光光學(xué)系統(tǒng)針對150，200和300 mm基片進(jìn)行了優(yōu)化,，可與各種濾光片一起用于窄帶曝光要求,，例如i-,，g-和h-線濾光片,，甚至還有深紫外線。 安徽光刻機(jī)技術(shù)服務(wù)EVG光刻機(jī)關(guān)注未來市場趨勢 - 例如光子學(xué) ,、光學(xué)3D傳感- 并為這些應(yīng)用開發(fā)新的方案和調(diào)整現(xiàn)有的解決方案,。

IQ Aligner特征：

晶圓/基板尺寸從小到200 mm /

8''

由于外部晶圓楔形測量，實(shí)現(xiàn)了非接觸式接近模式

增強(qiáng)的振動隔離,，有效減少誤差

各種對準(zhǔn)功能提高了過程靈活性

跳動控制對準(zhǔn)功能,，提高了效率

多種晶圓尺寸的易碎，薄或翹曲的晶圓處理

高地表形貌晶圓加工經(jīng)驗(yàn)

手動基板裝載能力

遠(yuǎn)程技術(shù)支持和SECS / GEM兼容性

IQ Aligner附加功能：

紅外對準(zhǔn)–透射和/或反射

IQ Aligner技術(shù)數(shù)據(jù)：

楔形補(bǔ)償：全自動軟件控制

非接觸式

先進(jìn)的對準(zhǔn)功能：自動對準(zhǔn),；大間隙對準(zhǔn),；跳動控制對準(zhǔn)；動態(tài)對準(zhǔn)

IQ Aligner®NT自動掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)

特色：IQ Aligner®在**/高吞吐量NT經(jīng)過優(yōu)化零協(xié)助非接觸式近程處理,。

技術(shù)數(shù)據(jù)：IQ Aligner NT是用于大批量應(yīng)用的生產(chǎn)力**/高,，技術(shù)**/先進(jìn)的自動掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)。該系統(tǒng)具有**/先進(jìn)的打印間隙控制和零輔助雙尺寸晶圓處理能力,，可完全滿足大批量制造（HVM）的需求,。與EVG的上一代IQ

Aligner系統(tǒng)相比，它的吞吐量提高了2倍,，對準(zhǔn)精度提高了2倍,，是所有掩模對準(zhǔn)器中**/高的吞吐量。IQ Aligner NT超越了對后端光刻應(yīng)用**苛刻的要求,，同時與競爭性系統(tǒng)相比,，其掩模成本降低了30％，而競爭系統(tǒng)超出了掩模對準(zhǔn)工具所支持的**/高吞吐量,。 HERCULES平臺是“一站式服務(wù)”平臺,。

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂層模塊-旋轉(zhuǎn)器參數(shù)

轉(zhuǎn)速：**/高10 k rpm

加速速度：**/高10 k rpm

噴涂模塊-噴涂產(chǎn)生

超聲波霧化噴嘴/高粘度噴嘴

開發(fā)模塊-分配選項

水坑顯影/噴霧顯影

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)附加模塊選項：

預(yù)對準(zhǔn)：機(jī)械

系統(tǒng)控制參數(shù)：

操作系統(tǒng)：Windows

文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數(shù)/離線程序編輯器

靈活的流程定義/易于拖放的程序編程

并行處理多個作業(yè)/實(shí)時遠(yuǎn)程訪問,，診斷和故障排除

多語言用戶GUI和支持：CN，DE,，F(xiàn)R,，IT，JP,，KR

EVG?620 NT / EVG?6200 NT 掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)（自動化和半自動化）支持的晶圓尺寸 ：150 mm / 200 mm,。安徽光刻機(jī)技術(shù)服務(wù)

HERCULES的橋接工具系統(tǒng)可對多種尺寸的晶圓進(jìn)行易碎，薄或翹曲的晶圓處理,。安徽光刻機(jī)技術(shù)服務(wù)

隨著儀器儀表和計算機(jī)的完美結(jié)合,，為了更好的滿足人們對精神世界的需求，體驗(yàn)多維世界給人們帶來的**,，儀器儀表的虛擬化開始發(fā)展,。身臨其境接受客觀實(shí)物，給美又增添了一絲創(chuàng)意,。隨著網(wǎng)絡(luò)消費(fèi)的不斷遞增,，而互聯(lián)網(wǎng)的的商業(yè)價值不斷被挖掘出來，呈爆發(fā)式增長,，傳統(tǒng)的營銷模式將逐步被取代,。有限責(zé)任公司企業(yè)要抓住機(jī)遇，融入到互聯(lián)網(wǎng)發(fā)展的行業(yè)中,，為行業(yè)的發(fā)展提高競爭力,。隨著手機(jī)移動網(wǎng)絡(luò)的消費(fèi)潛力不斷隱現(xiàn)，消費(fèi)者利用手機(jī)消費(fèi)的頻率和份額逐年遞增,。移動互聯(lián)網(wǎng)所隱藏的商業(yè)價值被更多地挖掘出來之后,，各種傳統(tǒng)行業(yè)（包括磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)行業(yè)）的移動網(wǎng)上平臺相繼誕生。中國其他型正面臨百年未有之大變局,，行業(yè)行家認(rèn)為,，中美貿(mào)易戰(zhàn)不會有終點(diǎn)，中美關(guān)系時好時壞將成為常態(tài),，儀器儀表行業(yè)無法排除大局勢的影響,，且不要把問題聚焦在關(guān)稅上。中國經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展得益于WTO框架下的全球化分工;現(xiàn)在中國制造的競爭力在于工業(yè)門類齊全,、供應(yīng)鏈完整,、供應(yīng)鏈的高度專業(yè)和細(xì)分。安徽光刻機(jī)技術(shù)服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營品牌有岱美儀器技術(shù)服務(wù)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊不斷壯大,，該公司其他型的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)是一家有限責(zé)任公司企業(yè)，一直“以人為本,，服務(wù)于社會”的經(jīng)營理念;“誠守信譽(yù),，持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊,，具有磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等多項業(yè)務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)自成立以來，一直堅持走正規(guī)化,、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會各界的普遍認(rèn)可與大力支持。