EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準工藝,，用于光學對準的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應選項

外部浮雕和冷卻站

EVG ® 510 HE技術數(shù)據：

加熱器尺寸：150毫米 ，200毫米

比較大基板尺寸：150毫米,，200毫米

**小基板尺寸：單芯片,，100毫米

比較大接觸力：10、20,、60 kN

比較高溫度：標準：350°C,；可選：550°C

夾盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)

150毫米加熱器：EVG ® 610,，EVG ® 620，EVG ® 6200

200毫米加熱器：EVG ® 6200,，MBA300,，的Smart View ® NT

真空：

標準：0.1毫巴

可選：0.00001 mbar

EVG是納米壓印光刻（NIL）的市場**設備供應商。半導體設備納米壓印推薦產品

UV納米壓印光刻系統(tǒng)

EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)

■高精度對準臺

■自動楔形誤差補償機制

■電動和程序控制的曝光間隙

■支持***的UV-LED技術

■**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動化的全場納米壓印解決方案,，適用于第3代基材

■體積驗證的壓印技術,，具有出色的復制保真度

■專有的SmartNIL®技術和多用途聚合物印章技術

■集成式壓印,，UV固化,，脫模和工作印模制作

■盒帶間自動處理以及半自動研發(fā)模式

■適用于所有市售壓印材料的開放平臺

中芯國際納米壓印免稅價格IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)。

       EVG公司技術開發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補充說：“我們開發(fā)新技術和工藝以應對*復雜的挑戰(zhàn),，幫助我們的客戶成功地將其新產品創(chuàng)意商業(yè)化,。技術，我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心,?！霸诰哂斜Ｗo客戶IP的強大政策的框架內，我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a階段的產品開發(fā)和商業(yè)化支持,。這正是我們***與AR領域的**者WaveOptics合作所要做的,，以為*終客戶提供真正可擴展的解決方案?！?

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架內的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾,，即在工業(yè)，企業(yè)和消費者等所有主要市場領域釋放AR在大眾市場的應用,，并遵循公司模塊計劃的推出,。

       通過中心提供的試驗生產線基礎設施，WaveOptics將超越其客戶對下個季度的預期需求,，并有一條可靠的途徑將大批量生產工藝和設備轉移至能夠大規(guī)模生產波導的指定設施適用于全球前列OEM品牌,。

      WaveOptics與EVG的合作突顯了其致力于以可實現(xiàn)的價格提供高性能，商用波導來幫助客戶將AR顯示器推向市場的承諾,。利用EVG在批量生產設備和工藝技術方面的專業(yè)知識,，到2019年，AR終端用戶產品將以不到600美元的價格進入市場,，這是當今行業(yè)中的*低價位,。 **小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結構提供了更多的自由度，這對于實現(xiàn)衍射光學元件（DOE）至關重要,。

EVGROUP®|產品/納米壓印光刻解決方案

納米壓印光刻的介紹：

EV Group是納米壓印光刻（NIL）的市場**設備供應商,。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,，開發(fā)和現(xiàn)場經驗進行了優(yōu)化,，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結果,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關知識,。我們愿意與您共同進步。

納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本的技術,，大批量替代光刻技術,。江蘇納米壓印免稅價格

岱美儀器代理的SmartNIL是一項關鍵的啟用技術，可用于顯示器,，生物技術和光子應用中的許多新創(chuàng)新,。半導體設備納米壓印推薦產品

    其中包括家用電器、醫(yī)藥,、電子,、光學、生命科學,、汽車和航空業(yè),。肖特在全球34個國家和地區(qū)設有生產基地和銷售辦事處。公司目前擁有員工超過15500名,，2017/2018財年的銷售額為,。總部位于德國美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會（CarlZeissFoundation）全資擁有,?？柌趟净饡堑聡鴼v史**悠久的私立基金會之一，同時也是德國規(guī)模比較大的科學促進基金會之一,。作為一家基金公司,，肖特對其員工，社會和環(huán)境負有特殊責任,。關于EV集團（EVG）EV集團（EVG）是為半導體,、微機電系統(tǒng)（MEMS）、化合物半導體,、功率器件和納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的**供應商,。其主要產品包括：晶圓鍵合、薄晶圓處理,、光刻/納米壓?。∟IL）與計量設備，以及涂膠機,、清洗機和檢測系統(tǒng),。EV集團成立于1980年,，可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網絡提供各類服務與支持。SmartNIL,，NILPhotonics及EVGroup標識是EVGroup的注冊商標,SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊商標,。（來自網絡。半導體設備納米壓印推薦產品

岱美儀器技術服務（上海）有限公司主要經營范圍是儀器儀表,，擁有一支專業(yè)技術團隊和良好的市場口碑,。公司業(yè)務分為磁記錄，半導體,，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進行創(chuàng)新和服務改進,，為客戶提供良好的產品和服務,。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計,、強大的技術,，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產品及服務,。在社會各界的鼎力支持下,，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造***服務體驗,，為客戶成功提供堅實有力的支持,。