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吉林納米壓印有誰在用

來源: 發(fā)布時間:2020-07-10

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化,。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現(xiàn)****的吞吐量,,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,,即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術,。

*分辨率取決于過程和模板


如果需要詳細的信息,,請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)是基于該公司市場**的晶圓鍵合技術,。吉林納米壓印有誰在用

HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離,。該系統(tǒng)支持各種設備和應用程序的生產(chǎn),,包括用于增強/虛擬現(xiàn)實(AR / VR)頭戴式耳機的光學設備,3D傳感器,,生物醫(yī)學設備,,納米光子學和等離激元學。


HERCULES ® NIL特征:

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結構

支持各種結構尺寸和形狀,,包括3D

適用于高地形(粗糙)表面

*分辨率取決于過程和模板


福建納米壓印售后服務EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線。

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術,,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,,可實現(xiàn)****的吞吐量,,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,,即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術,。

注:*分辨率取決于過程和模板


如果需要詳細的信息,,請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。

HERCULES ® NIL特征:

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結構

支持各種結構尺寸和形狀,,包括3D

適用于高地形(粗糙)表面

*分辨率取決于過程和模板


HERCULES ® NIL技術數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):100至200毫米/ 200和300毫米

解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL ®

曝光源:大功率LED(i線)> 400 mW /cm2

對準:≤±3微米

自動分離:支持的

前處理:提供所有預處理模塊

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的

工作印章制作:支持的


高 效,強大的SmartNIL工藝提供高圖案保真度,,擁有高度均勻圖案層和**少殘留層,,易于擴展的晶圓尺寸和產(chǎn)量。

IQ Aligner UV-NIL特征:

用于光學元件的微成型應用

用于全場納米壓印應用

三個**控制的Z軸,,可在印模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償

三個**控制的Z軸,,用于壓印抗蝕劑的總厚度變化(TTV)控制

利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝

EVG專有的全自動浮雕功能

抵抗分配站集成

粘合對準和紫外線粘合功能


IQ Aligner UV-NIL技術數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):150至300毫米

解析度:≤50 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:柔軟的UV-NIL,鏡片成型


曝光源:汞光源

對準:≤±0.5微米

自動分離:支持的

前處理:涂層:水坑點膠(可選)

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的


工作印章制作:支持的


EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統(tǒng),,使用分步重復納米壓印光刻技術,,可進行有效的母版制作,。重慶納米壓印值得買

EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,能夠輕松地適應各種材料組合,,以用于工作印模和微透鏡材料,。吉林納米壓印有誰在用

    面板廠為補償較低的開口率,多運用在背光模塊搭載較多LED的技術,,但此作法的缺點是用電量較高,。若運用NIL制程,可確保適當?shù)拈_口率,,降低用電量,。利用一般曝光設備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設備一次可形成的圖樣面積較小,。若要制造55吋面板,,需要經(jīng)過數(shù)十次的曝光制程。不僅制程時間長,,經(jīng)過多次曝光后,,在圖樣間會形成細微的縫隙,無法完整顯示影像,。若將NIL技術應用在5代設備,,可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜圖樣,。在8代基板可制造6片55吋面板,,6次的壓印接觸可處理完1片8代基板。南韓業(yè)者表示,,在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程,,是LCD領域中***一個創(chuàng)新任務。若加速NIL制程導入LCD生產(chǎn)的時程,,偏光膜企業(yè)的營收可能減少,。(來自網(wǎng)絡。吉林納米壓印有誰在用

岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,,是一家磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易,,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,,國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術服務作為磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,,國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,,國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一,為客戶提供良好的磁記錄,,半導體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務致力于把技術上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,,為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術服務創(chuàng)始人陳玲玲,,始終關注客戶,,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務,。