輪廓儀的性能

測量模式 ：

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺 ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機(jī)像素：

標(biāo)配：1280×960

視場范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)：

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).上海輪廓儀廠家

    隨著時代的發(fā)展,，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測,，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧,。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動,。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,，并分別在X和Z方向上對其進(jìn)行采樣，并將其轉(zhuǎn)換為電信號,。電信號被放大和處理,，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中。計算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,，分離表面并計算粗糙度分量,，測量結(jié)果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標(biāo),，或放大的實際輪廓曲線,。測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可以由打印機(jī)輸出,。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工,、汽車、摩托車,、精密五金,、精密工具、刀 具,、模具,、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu)、大學(xué),、計量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計量室,。在汽車，摩托車和制冷行業(yè),，它可以測量活塞,，活塞銷，齒輪的總線參數(shù)和汽車，摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞,，可以測量各種傾斜部件的參數(shù),。在軸承工業(yè)中，內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀（角度,，倒角R,，槽深，槽寬等）,；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,，角度和對數(shù)曲線；電機(jī)軸,，圓柱銷,，活塞銷，滾針軸承,，圓柱滾子軸承,。安徽輪廓儀質(zhì)保期多久擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，**提高加工效率。

三,、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。

四,、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：

  儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性，將測量誤差降低到亞納米級別,。

 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率,，滿足用戶對各項2D,，3D參數(shù)檢測需求的同時，依然能夠保持高重復(fù)性，高穩(wěn)定性的運行,，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的,。

輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度,、表面輪廓、臺階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加

工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

想要了解更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器,。 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。

表面三維輪廓儀對精密加工的作用：

一,、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二,、提高效率：

  智能化檢測，全自動測量,，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點，**提高加工效率,。

三,、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。

四,、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：

  儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性，將測量誤差降低到亞納米級別,。 NanoX-8000主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm,。實驗室輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。上海輪廓儀廠家

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中,，計算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算,，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo)，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機(jī)輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

上海輪廓儀廠家

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型的公司,。公司自成立以來,，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個細(xì)節(jié)，公司旗下磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛,。公司注重以質(zhì)量為中心,，以服務(wù)為理念，秉持誠信為本的理念,，打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先,、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念，全力打造公司的重點競爭力,。