EVG ® 150--光刻膠自動(dòng)處理系統(tǒng)

EVG ® 150是全自動(dòng)化光刻膠處理系統(tǒng)中提供高吞吐量的性能與在直徑承晶片高達(dá)300毫米。

EVG150設(shè)計(jì)為完全模塊化的平臺(tái),，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)噴涂/旋轉(zhuǎn)/顯影過程和高通量性能,。EVG150可確保涂層高度均勻并提高重復(fù)性。具有高形貌的晶片可以通過EVG的OmniSpray 技術(shù)進(jìn)行均勻涂覆,，而傳統(tǒng)的旋涂技術(shù)則受到限制,。

EVG ® 150特征：

晶圓尺寸可達(dá)300毫米

多達(dá)六個(gè)過程模塊

可自定義的數(shù)量-多達(dá)二十個(gè)烘烤/冷卻/汽化堆

多達(dá)四個(gè)FOUP裝載端口或盒式磁帶裝載

EVG在1985年發(fā)明了世界上第/一個(gè)底部對準(zhǔn)系統(tǒng)，對準(zhǔn)晶圓鍵合和納米壓印光刻技術(shù)方面開創(chuàng)并建立了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。芯片光刻機(jī)自動(dòng)化測量

EVG ® 6200 NT掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)（半自動(dòng)/自動(dòng)）

特色：EVG ® 6200 NT掩模對準(zhǔn)器為光學(xué)雙面光刻的多功能工具和晶片尺寸高達(dá)200毫米,。

技術(shù)數(shù)據(jù)：EVG6200 NT以其自動(dòng)化靈活性和可靠性而著稱,，可在**小的占位面積上提供**/先進(jìn)的掩模對準(zhǔn)技術(shù)，并具有**/高的產(chǎn)能,，先進(jìn)的對準(zhǔn)功能和優(yōu)化的總擁有成本,。操作員友好型軟件，**短的掩模和工具更換時(shí)間以及高/效的全球服務(wù)和支持使它成為任何制造環(huán)境的理想解決方案,。EVG6200 NT或完全安裝的EVG6200 NT Gen2掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)有半自動(dòng)或自動(dòng)配置,，并配有集成的振動(dòng)隔離功能，可在廣/泛的應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)出色的曝光效果,，例如薄和厚光刻膠的曝光,，深腔和類似地形的圖案，以及薄而易碎的材料（例如化合物半導(dǎo)體）的加工,。此外,，半自動(dòng)和全自動(dòng)系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。 貴州光刻機(jī)原理了解客戶需求和有效的全球支持,，這是我們提供優(yōu)先解決方案的重要基礎(chǔ),。

EVG的掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)含有：EVG610；EVG620 NT半自動(dòng)/全自動(dòng)掩模對準(zhǔn)系統(tǒng),；EVG6200 NT半自動(dòng)/全自動(dòng)掩模對準(zhǔn)系統(tǒng),；IQ Aligner 自動(dòng)掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)；IQ Aligner NT自動(dòng)掩模對準(zhǔn)系統(tǒng),；

【EVG ® 610掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)】EVG

® 610是一個(gè)緊湊的和多用途R＆d系統(tǒng),，可以處理小基板片和高達(dá)200毫米的晶片。

EVG ® 610技術(shù)數(shù)據(jù)：EVG610支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,，例如真空,，硬，軟和接近曝光模式,，并可選擇背面對準(zhǔn)功能,。此外，該系統(tǒng)還提供其他功能,，包括鍵合對準(zhǔn)和納米壓印光刻（NIL）,。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，可滿足用戶需求的變化,，轉(zhuǎn)換時(shí)間不到幾分鐘,。其先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到**級別的所有需求，因此使其非常適合大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用,。

IQ Aligner®NT曝光設(shè)定：硬接觸/軟接觸/接近模式/柔性模式

楔形補(bǔ)償：全自動(dòng)軟件控制,；非接觸式

IQ Aligner®NT曝光選項(xiàng)：間隔曝光/洪水曝光

先進(jìn)的對準(zhǔn)功能：自動(dòng)對準(zhǔn)

暗場對準(zhǔn)功能/完整的明場掩模移動(dòng)（FCMM）

大間隙對準(zhǔn)

跳動(dòng)控制對準(zhǔn)

IQ Aligner®NT系統(tǒng)控制：

操作系統(tǒng)：Windows

文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)

多語言用戶GUI和支持：CN，DE,，F(xiàn)R,，IT,，JP，KR

實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪問,，診斷和故障排除

如果您需要確認(rèn)準(zhǔn)確的產(chǎn)品的信息,，請聯(lián)系我們。如果需要鍵合機(jī),，請看官網(wǎng)信息,。 除了光刻機(jī)之外，岱美還代理了EVG的鍵合機(jī)等設(shè)備,。

EVG620 NT或完全容納的EVG620

NT Gen2掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)配備了集成的振動(dòng)隔離功能,，可在各種應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)出色的曝光效果，例如,，對薄而厚的光刻膠進(jìn)行曝光,，對深腔進(jìn)行構(gòu)圖并形成可比的形貌,，以及對薄而易碎的材料（例如化合物半導(dǎo)體）進(jìn)行加工,。此外，半自動(dòng)和全自動(dòng)系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù),。

EVG620 NT特征：

晶圓/基板尺寸從小到150 mm /

6''

系統(tǒng)設(shè)計(jì)支持光刻工藝的多功能性

易碎,，薄或翹曲的多種尺寸的晶圓處理，更換時(shí)間短

帶有間隔墊片的自動(dòng)無接觸楔形補(bǔ)償序列 HERCULES以**小的占地面積結(jié)合了EVG精密對準(zhǔn)和光刻膠處理系統(tǒng)的所有優(yōu)勢,。氮化鎵光刻機(jī)國內(nèi)用戶

只有以客戶的需求為導(dǎo)向,，研發(fā)才具有價(jià)值，也是我們不斷前進(jìn)的動(dòng)力,。芯片光刻機(jī)自動(dòng)化測量

國統(tǒng)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示,，2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個(gè)，營收規(guī)模4002億元,，營收同比增長7.57%,；收入總額為361億元，同比增長2.87%,，比主營收入低4.70個(gè)百分點(diǎn),；目前，磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列,，實(shí)驗(yàn)分析儀器等中產(chǎn)品的市場占比不斷上升,，行業(yè)技術(shù)上總體已達(dá)到的中等國際水平，少數(shù)產(chǎn)品接近或達(dá)到當(dāng)前較高國際水平,。目前我國磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】產(chǎn)品,，主要集中在中低檔市場,，而市場則主要被國外品牌所占據(jù)。在某些領(lǐng)域,，國產(chǎn)產(chǎn)品甚至是空白,，這就需要未來我國儀器儀表向市場進(jìn)軍，擴(kuò)大產(chǎn)品占比,。儀器儀表在工業(yè)發(fā)展中具有重要作用,，這也使得儀器儀表得到快讀發(fā)展。各行各業(yè)對儀器儀表的市場需求也在不斷提升,，銷售企業(yè)正在發(fā)展中尋求技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量提升,。儀器儀表的質(zhì)量、性能關(guān)系到工業(yè)安全,，必須重視,。芯片光刻機(jī)自動(dòng)化測量

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè)，技術(shù)力量雄厚,。公司致力于為客戶提供安全,、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù)，是一家有限責(zé)任公司企業(yè),。以滿足顧客要求為己任,；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn)；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠的服務(wù),、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,，為彼此贏得全新的未來,！