IQ Aligner工業(yè)自動化功能：盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,，彎曲，翹曲,，邊緣晶圓處理
晶圓直徑（基板尺寸）：高達200毫米
對準方式：
上側對準：≤±0.5 μm
底側對準：≤±1,0 μm
紅外校準：≤±2,0 μm /具體取決于基板材料
曝光設定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
曝光選項：間隔曝光/洪水曝光
系統(tǒng)控制
操作系統(tǒng)：Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)
多語言用戶GUI和支持：CN，DE,，F(xiàn)R,，IT，JP,，KR
實時遠程訪問,，診斷和故障排除
產能
全自動：第/一批生產量：每小時85片
全自動：吞吐量對準：每小時80片 IQ Aligner光刻機支持的晶圓尺寸高達200 mm / 300 mm。中芯國際光刻機國內代理
EV Group企業(yè)技術總監(jiān)Thomas Glinsner博士證實：“我們看到支持晶圓級光學器件的設備需求正在急劇增加,?！?“*從今年年初開始，我們就向大型WLO制造商交付了多個用于透鏡成型和堆疊以及計量的系統(tǒng),，以進行大批量生產。此類訂單進一步鞏固了EVG在該領域市場***的地位,，同時創(chuàng)造了新興應用程序中有大量新機會,?！?
業(yè)界**的設備制造商**近宣布了擴大其傳感領域業(yè)務目標的計劃，以幫助解決客戶日益激進的上市時間窗口,。根據(jù)市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的說法,，下一代智能手機中正在設計十多種傳感器。其中包括3D感測相機,，指紋傳感器,，虹膜掃描儀，激光二極管發(fā)射器,，激光測距儀和生物傳感器,。總體而言,，光纖集線器預計將從2016年的106億美元增長到2021年的180億美元,，復合年增長率超過11％*。 浙江光刻機微流控應用EVG光刻機設備,，可完全集成到HERCULES光刻軌道系統(tǒng)中,，并輔以其用于從上到下側對準驗證的計量工具。
集成化光刻系統(tǒng)
HERCULES光刻量產軌道系統(tǒng)通過完全集成的生產系統(tǒng)和結合了掩模對準和曝光以及集成的預處理和后處理功能的高度自動化,，完善了EVG光刻產品系列,。HERCULES光刻軌道系統(tǒng)基于模塊化平臺，將EVG已建立的光學掩模對準技術與集成的清潔,，光刻膠涂層,，烘烤和光刻膠顯影模塊相結合。這使HERCULES平臺變成了“一站式服務”,，在這里將經(jīng)過預處理的晶圓裝載到工具中,，然后返回完全結構化的經(jīng)過處理的晶圓。目前可以預定的型號為：HERCULES,。請訪問官網(wǎng)獲取更多的信息,。
光刻機軟件支持
基于Windows的圖形用戶界面的設計，注重用戶友好性,，并可輕松引導操作員完成每個流程步驟,。多語言支持，單個用戶帳戶設置和集成錯誤記錄/報告和恢復,，可以簡化用戶的日常操作,。所有EVG系統(tǒng)都可以遠程通信。因此,，我們的服務包括通過安全連接,，電話或電子郵件，對包括經(jīng)過現(xiàn)場驗證的,，實時遠程診斷和排除故障,。EVG經(jīng)驗豐富的工藝工程師隨時準備為您提供支持,，這得益于我們分散的全球支持機構，包括三大洲的潔凈室空間：歐洲 (HQ), 亞洲 (日本) 和
北美 (美國). EVG鍵合機掩模對準系列產品,，使用的是**/先進的工程工藝,。
EVG620 NT技術數(shù)據(jù)：
曝光源：
汞光源/紫外線LED光源
先進的對準功能：
手動對準/原位對準驗證
自動對準
動態(tài)對準/自動邊緣對準
對準偏移校正算法
EVG620 NT產量:
全自動：第/一批生產量：每小時180片
全自動：吞吐量對準：每小時140片晶圓
晶圓直徑（基板尺寸）：高達150毫米
對準方式：
上側對準：≤±0.5 μm
底側對準：≤±1,0 μm
紅外校準：≤±2,0 μm /具體取決于基材
鍵對準：≤±2,0 μm
NIL對準：≤±3.0 μm
曝光設定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式
楔形補償：全自動軟件控制
曝光選項：間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光
系統(tǒng)控制：
操作系統(tǒng)：Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)
多語言用戶GUI和支持：CN，DE,，F(xiàn)R,，IT，JP,，KR
實時遠程訪問,，診斷和故障排除
工業(yè)自動化功能：
盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，彎曲,，翹曲,，邊緣晶圓處理
納米壓印光刻技術：SmartNIL ® 只有以客戶的需求為導向，研發(fā)才具有價值,，也是我們不斷前進的動力,。山西光刻機國內用戶
EVG光刻機的掩模對準器和工藝能力經(jīng)過客戶現(xiàn)場驗證，安裝并集成在全球各地的用戶系統(tǒng)中,。中芯國際光刻機國內代理
EVG120光刻膠自動處理系統(tǒng)附加模塊選項
預對準：光學/機械
ID讀取器：條形碼,，字母數(shù)字，數(shù)據(jù)矩陣
系統(tǒng)控制：
操作系統(tǒng)：Windows
文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)/離線程序編輯器
靈活的流程定義/易于拖放的程序編程
并行處理多個作業(yè)/實時遠程訪問,，診斷和故障排除
多語言用戶GUI和支持：CN,，DE，F(xiàn)R,，IT,，JP，KR
分配選項：
各種光刻膠分配泵,，可覆蓋高達52000 cP的粘度
液體底漆/預濕/洗盤
去除邊緣珠（EBR）/背面沖洗（BSR）
恒壓分配系統(tǒng)/注射器分配系統(tǒng)
電阻分配泵具有流量監(jiān)控功能
可編程分配速率/可編程體積/可編程回吸
超音波
中芯國際光刻機國內代理
岱美儀器技術服務（上海）有限公司一直專注于磁記錄,、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】,，是一家儀器儀表的企業(yè)，擁有自己**的技術體系,。公司目前擁有專業(yè)的技術員工,，為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間，為客戶提供高質的產品服務,，深受員工與客戶好評,。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,，也是我們做人的基本準則,。公司致力于打造***的磁記錄，半導體,，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)。一直以來公司堅持以客戶為中心,、磁記錄,，半導體，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)市場為導向,，重信譽，保質量,，想客戶之所想,，急用戶之所急，全力以赴滿足客戶的一切需要,。