關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度
三坐標(biāo)測量機(jī)是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標(biāo)測量機(jī)精度比較高，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標(biāo)來代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。 輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。廣東輪廓儀價格怎么樣
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度
**快
如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。
我們主要經(jīng)營鍵合機(jī),、光刻機(jī)、輪廓儀,，隔振臺等設(shè)備,。 高精密儀器輪廓儀原理由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,。
輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用
藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）
高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測
Oled 特征結(jié)構(gòu)測量，表面粗糙度
外延片表面缺 陷檢測
硅片外延表面缺 陷檢測
散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）
生物,、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件
微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷，表面粗糙度
移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法,，保證了亞納米量級的測量精度,；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng)，使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi),，同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便,。
輪廓儀的性能
測量模式 ：
移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺 ：
150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機(jī)像素：
標(biāo)配：1280×960
視場范圍：
560×750um（10×物鏡）
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)
光學(xué)系統(tǒng)：
同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)
光 源：
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ
臺階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度,、面粗糙度等二維、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機(jī)像素
標(biāo)配：1280×960
視場范圍
560×750um（10×物鏡）
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)
光學(xué)系統(tǒng)
同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ
臺階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。高精密儀器輪廓儀原理
傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).廣東輪廓儀價格怎么樣
三,、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：
表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。
四,、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：
儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性，將測量誤差降低到亞納米級別,。
三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率,，滿足用戶對各項2D,，3D參數(shù)檢測需求的同時，依然能夠保持高重復(fù)性,，高穩(wěn)定性的運行,，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 廣東輪廓儀價格怎么樣
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊,。在岱美儀器技術(shù)服務(wù)近多年發(fā)展歷史，公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術(shù)服務(wù)等,。公司以用心服務(wù)為重點價值,，希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力，將磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底,。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求，也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),。