強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發(fā),、中英文自由切換

光機(jī)電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速,，結(jié)果實(shí)時(shí)更新

縮放、定位,、平移,、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理

自主設(shè)定測(cè)量閾值,，三維處理自動(dòng)標(biāo)注

測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設(shè)置，一鍵式操作,，人機(jī)界面?zhèn)€性直觀

個(gè)性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測(cè)量,、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺(tái)階高度，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×，100×,，可選,。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。 福建聯(lián)電輪廓儀配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息,。

輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求？

答：輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm,，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí)，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量,，檢測(cè)效率會(huì)比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè)，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù),；

4.測(cè)量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,，或者能夠測(cè)到更小的尺寸？

如果需要了解更多,，請(qǐng)?jiān)L問官網(wǎng),。

輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標(biāo)叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。

關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度

  三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,，至于測(cè)量零件的表面輪廓 ,，要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高,，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標(biāo)來代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓，因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),，而輪廓儀主要是用來測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的,，加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,。

輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測(cè)

集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化

MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

新型顯示技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化

超高精密表面工程技術(shù)

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實(shí)際輪廓曲線，測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機(jī)輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)） NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀一級(jí)代理

輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,，表面粗糙度,，外延片表面缺 陷檢測(cè)，硅片外延表面缺 陷檢測(cè),。日本輪廓儀實(shí)際價(jià)格

如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。

2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān),、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。

3.擦凈工件被測(cè)表面。

測(cè)量

1.將測(cè)針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。

2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件,。

4.開始測(cè)量,。測(cè)量過程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。

5.測(cè)量完畢,，根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,，標(biāo)出結(jié)果，并保存,、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn),、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離,、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離,、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理：直線度、凸度,、LG凸度,、對(duì)數(shù)曲線

日本輪廓儀實(shí)際價(jià)格

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大，現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),，各種專業(yè)設(shè)備齊全,。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn)，熟悉行業(yè)專業(yè)知識(shí)技能,，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌,。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力，多年來一直專注于磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】的發(fā)展和創(chuàng)新，打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù),。自公司成立以來,，一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念,，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),，為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā),，從而使公司不斷發(fā)展壯大,。