根據型號和加熱器尺寸,，EVG500系列鍵合機可以用于碎片和50mm至300mm的晶圓。這些工具的靈活性非常適合中等批量生產、研發(fā),，并且可以通過簡單的方法進行大批量生產,，因為鍵合程序可以轉移到EVGGEMINI大批量生產系統(tǒng)中,。

鍵合室配有通用鍵合蓋,，可快速排空，快速加熱和冷卻,。通過控制溫度,，壓力，時間和氣體,，允許進行大多數鍵合過程,。也可以通過添加電源來執(zhí)行陽極鍵合。對于UV固化黏合劑,，可選的鍵合室蓋具有UV源,。鍵合可在真空或受控氣體條件下進行。頂部和底部晶片的**溫度控制補償了不同的熱膨脹系數,，從而實現(xiàn)無應力黏合和出色的溫度均勻性,。在不需要重新配置硬件的情況下，可以在真空下執(zhí)行SOI/SDB（硅的直接鍵合）預鍵合,。 EVG鍵合機使用直接（實時）或間接對準方法,，能夠支持大量不同的對準技術。SUSS鍵合機有哪些應用

在鍵合過程中,，將兩個組件的表面弄平并徹底清潔以確保它們之間的緊密接觸,。然后它們被夾在兩個電極之間，加熱至752-932℃（華氏400-500攝氏度）,，和幾百到千伏的電勢被施加,，使得負電極,，這就是所謂的陰極，是在接觸在玻璃中,，正極（陽極）與硅接觸,。玻璃中帶正電的鈉離子變得可移動并向陰極移動，在與硅片的邊界附近留下少量的正電荷,，然后通過靜電吸引將其保持在適當的位置,。帶負電的氧氣來自玻璃的離子向陽極遷移，并在到達邊界時與硅反應,，形成二氧化硅（SiO 2）,。產生的化學鍵將兩個組件密封在一起。甘肅ComBond鍵合機EVG鍵合機的特征有：壓力高達100 kN,、基底高達200mm,、溫度高達550°C、真空氣壓低至1·10-6 mbar,。

EVG®520IS晶圓鍵合系統(tǒng)■擁有EVG®501和EVG®510鍵合機的所有功能■200mm的單個或者雙腔自動化系統(tǒng)■自動晶圓鍵合流程和晶圓替代轉移■集成冷卻站,，實現(xiàn)高產量EVG®540自動鍵合系統(tǒng)■300mm單腔鍵合室■自動處理多達4個鍵合卡盤■模塊化鍵合室■自動底側冷卻EVG®560自動晶圓鍵合系統(tǒng)■多達4個鍵合室，滿足各種鍵合操作■自動裝卸鍵合室和冷卻站■遠程在線診斷■自動化機器人處理系統(tǒng),，用于機械對準的自動盒式磁帶晶圓鍵合■工作站式布局,，適用于所有鍵合工藝的設備配置EVG®GEMINI®自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng)在蕞小的占地面積上,，同時利用比較/高精度的EVGSmaiewNT技術,，前/列的GEMINI大批量生產系統(tǒng)，并結合了自動光學對準和鍵合操作,。有關更多詳/細信息,，請參/閱我們的GEMINI手冊。

Abouie M 等人［4］針對金—硅共晶鍵合過程中凹坑對鍵合質量的影響展開研究,，提出一種以非晶硅為基材的金—硅共晶鍵合工藝以減少凹坑的形成,，但非晶硅的實際應用限制較大?？蹬d華等人［5］加工了簡單的多層硅—硅結構,，但不涉及對準問題，實際應用的價值較小,。陳穎慧等人［6］以金— 硅共晶鍵合技術對 MEMS 器件進行了圓片級封裝［6］,，其鍵合強度可以達到 36 MPa，但鍵合面積以及鍵合密封性不太理想,，不適用一些敏感器件的封裝處理,。袁星等人［7]對帶有微結構的硅—硅直接鍵合進行了研究，但其硅片不涉及光刻,、深刻蝕,、清洗等對硅片表面質量影響較大的工藝，故其鍵合工藝限制較大。同時,，EVG研發(fā)生產的的GEMINI系統(tǒng)是使用晶圓鍵合的量產應用的行業(yè)標準,。

EVG501晶圓鍵合機，先進封裝,，TSV,，微流控加工?；竟δ埽河糜趯W術和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng),。適用于：微流體芯片，半導體器件處理,，MEMS制造,，TSV制作，晶圓先進封裝等,。

一,、簡介：

EVG501是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可處理從單芯片到150mm(200mm鍵合室的情況下為200mm)的基片,。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,，如陽極，玻璃料,，焊料,，共晶，瞬態(tài)液相和直接鍵合,。易于操作的鍵合室和工具設計,，讓用戶能快速，輕松地重新裝配不同的晶圓尺寸和工藝,，轉換時間小于5分鐘,。這種多功能性非常適合大學，研發(fā)機構或小批量生產,。鍵合室的基本設計在EVG的HVM(量產)工具上是相同的,，例如GEMINI，鍵合程序很容易轉移,，這樣可以輕松擴大生產量,。

二、特征：

帶有150mm或200mm加熱器的鍵合室獨特的壓力和溫度均勻性與EVG的機械和光學對準器兼容靈活的設計和研究配置從單芯片到晶圓各種工藝(共晶,，焊料,，TLP，直接鍵合)可選渦輪泵(<1E-5mbar)可升級陽極鍵合開放式腔室設計,，便于轉換和維護試生產需求：同類產品中比較低擁有成本開放式腔室設計,，便于轉換和維護蕞小占地面積的200mm鍵合系統(tǒng)程序與EVGHVM鍵合系統(tǒng)完全兼容,。

三、參數：蕞大鍵合力：20kN,，加熱器尺寸：150mm,。 EVG的各種鍵合對準（對位）系統(tǒng)配置為各種MEMS和IC研發(fā)生產應用提供了多種優(yōu)勢。甘肅價格怎么樣鍵合機

EVG鍵合機頂部和底部晶片的**溫度控制補償了不同的熱膨脹系數,，實現(xiàn)無應力鍵合和出色的溫度均勻性,。SUSS鍵合機有哪些應用

GEMINI ? FB自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng) 集成平臺可實現(xiàn)高精度對準和熔融 特色 技術數據 半導體器件的垂直堆疊已經成為使器件密度和性能不斷提高的日益可行的方法。晶圓間鍵合是實現(xiàn)3D堆疊設備的重要工藝步驟,。EVG的GEMINI FB XT集成熔融系統(tǒng)擴展了當前標準,，并結合了更高的生產率，更高的對準度和覆蓋精度,，適用于諸如存儲器堆疊,，3D片上系統(tǒng)（SoC），背面照明CMOS圖像傳感器堆疊和芯片分割等應用,。該系統(tǒng)具有新的Smart View NT3鍵合對準器,，該鍵合對準器是專門為<50 nm的熔融和混合晶片鍵合對準要求而開發(fā)的。SUSS鍵合機有哪些應用

岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿易、轉口貿易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,，經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司,，是一家集研發(fā)、設計,、生產和銷售為一體的專業(yè)化公司,。岱美儀器技術服務擁有一支經驗豐富,、技術創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,，半導體,，光通訊生產，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務致力于把技術上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產品上的貼心,，為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術服務始終關注儀器儀表市場,，以敏銳的市場洞察力,，實現(xiàn)與客戶的成長共贏。