白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像，

多層垂直掃描

比較好高度測量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點掃描合成面成像，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定,，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速,、重復性高、高 分辨率的三維測量,，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS,、半導體材料、太陽能電池,、醫(yī)療工程,、制藥、生物材料,，光學元件,、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案。（來自網(wǎng)絡） 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,。干涉儀輪廓儀競爭力怎么樣

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離、交點到交點距離,、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度,、LG凸度,、對數(shù)曲線 。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。  

重慶中芯國際輪廓儀NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。

    隨著時代的發(fā)展,，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧,。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動,。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,，并分別在X和Z方向上對其進行采樣，并將其轉(zhuǎn)換為電信號,。電信號被放大和處理,，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中,。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,，分離表面并計算粗糙度分量,，測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線,。測量結果通過顯示器輸出，也可以由打印機輸出,。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工,、汽車、摩托車,、精密五金,、精密工具、刀 具,、模具,、光學元件等行業(yè)適用于研究機構、大學,、計量機構和企業(yè)計量室,。在汽車，摩托車和制冷行業(yè),，它可以測量活塞,，活塞銷，齒輪的總線參數(shù)和汽車,，摩托車和壓縮機的閥門柱塞,，可以測量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中,，內(nèi)護套環(huán)的密封槽的形狀（角度,，倒角R，槽深,，槽寬等）,；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部，角度和對數(shù)曲線,；電機軸,，圓柱銷，活塞銷,，滾針軸承,，圓柱滾子軸承。

我們應該如何正確使用輪廓儀,？

一,、準備工作

1.測量前準備,。

2.開啟電腦、打開機器電源開關,、檢查機器啟動是否正常,。

3.擦凈工件被測表面。

二,、測量

1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設置所需的測量條件,。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結果進行分析，標出結果,，并保存,、打印。

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）,。

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***,。（來自網(wǎng)絡）

先進的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗 

所有的關鍵硬件采用美國,、德國、日本等 

PI ,，納米移動平臺及控制

Nikon,，干涉物鏡

NI，信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺

VS2012/64位,，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機

NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ,；準確度<1% ；重復性<0.1% (1σ,，10um臺階高),。材料表面輪廓儀保修期多久

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um，重復精度 1um,。干涉儀輪廓儀競爭力怎么樣

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進行長度,、高度、間距,、水平距離,、垂直距離、角度,、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高,、操作簡單,、適用于車間檢測站或計量室使用。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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