厚度標準：

所有 Filmetrics 厚度標準都是得到驗證可追溯的 NIST 標準,。

S-Custom-NIST：在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準,。 

TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si ：厚度標準,，外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準,，厚度大約 3100A，4" 晶圓,。

TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si ：厚度標準,，外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準，厚度大約 10000A,，4" 晶圓,。

TS-Hardcoat-4μm：丙烯酸塑料硬涂層厚度標準，厚度大約 4um,，直徑 2",。

TS-Hardcoat-Trans：背面透明的硬涂層，可用于透射測量,。

TS-Parylene-4um：丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準，厚度大約 4um ,，直徑2",。

TS-Parylene-8um：硅基上的聚對二甲苯厚度標準，厚度大約 8um,，23mm x 23mm,。

TS-SiO2-4-7200：硅基上的二氧化硅厚度標準，厚度大約 7200A,，4" 晶圓,。

TS-SiO2-4-7200-NIST：可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標準。

TS-SiO2-6-Multi：多厚度硅基上的二氧化硅標準: 125埃米,，250埃米,，500埃米，1000埃米，5000埃米,，和 10000埃米 (+/-10%誤差),，6英寸晶圓。TS-SS3-SiO2-8000：專為SS-3樣品平臺設計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為 8000A,。 F20-EXR測厚范圍：15nm - 250μm,；波長：380-1700nm。光學鍍膜膜厚儀液晶顯示行業(yè)

樣品視頻包括硬件和照相機的F20系統(tǒng)視頻,。視頻實時顯示精確測量點,。 不包括SS-3平臺。SampleCam-sXsX探頭攝像機包含改裝的sX探頭光學配件,，但不包含平臺,。StageBase-XY8-Manual-40mm8“×8” 樣品平臺，具有SS-3鏡頭與38mm的精密XY平移聚焦平臺,。能夠升級成電動測繪與自動對焦,。StageBase-XY10-Auto-100mm10“×10” 全電動樣品平臺?？梢赃M行100mm高精度XY平移,，包括自動焦距調(diào)節(jié)。SS-Microscope- UVX-1顯微鏡（15倍反射式物鏡）及X-Y平臺,。 包含UV光源與照明光纖,。SS-Microscope- EXR-1顯微鏡包含X- Y平臺及照明光纖. 需另選購物鏡. 通常使用顯微鏡內(nèi)建照明。SS-Trans-Curved用于平坦或彎曲表面的透射平臺,，包括光纖,，和 F10-AR 一起使用。 波長范圍 250nm -2500nm,。T-1SS-3 平臺的透射測量可選件,。包括光纖、平臺轉接器和平臺支架,。 用于平坦的樣品,。WS-300用于小于 300mm 樣品的平移旋轉平臺。Filmetrics F40膜厚儀可以試用嗎只需按下一個按鈕,，您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率,。

FSM膜厚儀簡單介紹：

FSM 128 厚度以及TSV和翹曲變形測試設備:

美國Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，總部位于圣何塞,，多年來為半導體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設備,，客戶遍布全世界, 主要產(chǎn)品包括:光學測量設備: 三維輪廓儀、拉曼光譜,、

薄膜應力測量設備,、 紅外干涉厚度測量設備,、電學測量設備:高溫四探針測量設備、非接觸式片電阻及 漏電流測量設備,、金屬污染分析,、等效氧化層厚度分析 (EOT)。

請訪問我們的中文官網(wǎng)了解更多的信息,。

F40 系列

包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠程數(shù)據(jù)分析)MA-Cmount 安裝轉接器 顯微鏡轉接器光纖連接線BK7 參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度標準 聚焦/厚度標準BG-Microscope (作為背景基準)

額外的好處：每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數(shù)百種應用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃

如果需要了解更多的信息,，請訪問我們官網(wǎng)或者聯(lián)系我們。 系統(tǒng)測試應力的精度小于15mpa (0.03cm-1) ,，全自動的200mm和300mm硅片檢查,，自動檢驗和聚焦的能力。

    光纖紫外線,、可見光譜和近紅外備用光纖,。接觸探頭是相當堅固的，但是光纖不能經(jīng)常被抽屜碰撞或者被椅子壓過,。該套件包括指令,，以及簡單的維修工具，新的和舊風格的探頭,。FO-PAT-SMA-SMA-200-22米長,，直徑200um的光纖，兩端配備SMA接頭,。米長,，分叉反射探頭。

通用附件攜帶箱等,。手提電腦手提電腦預裝FILMeasure軟件,、XP和Microsoft辦公軟件。

電腦提箱用于攜帶F10,、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱。ConflatFeedthrough真空穿通,，"conflat,、雙出入孔SMA，并通過泄漏測試,。LensPaper-CenterHole**開孔鏡頭紙，用于保護面朝下的樣品,，5本各100張,。 F20-XT膜厚范圍：0.2μm - 450μm；波長：1440-1690nm,。導電氧化物膜厚儀應用

監(jiān)測控制生產(chǎn)過程中移動薄膜厚度,。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到,。光學鍍膜膜厚儀液晶顯示行業(yè)

FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng)

FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號360

FSM拉曼的應用

l  局部應力；

l  局部化學成分

l  局部損傷

紫外光可測試的深度

***的薄膜（SOI 或 Si-SiGe）或者厚樣的近表面局部應力

可見光可測試的深度

良好的厚樣以及多層樣品的局部應力

系統(tǒng)測試應力的精度小于15mpa (0.03cm-1)

全自動的200mm和300mm硅片檢查

自動檢驗和聚焦的能力,。

以上的信息比較有限,，如果您有更加詳細的技術問題，請聯(lián)系我們的技術人員為您解答,?；蛘咴L問我們的官網(wǎng)了解更多信息。 光學鍍膜膜厚儀液晶顯示行業(yè)

岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型公司,。公司業(yè)務涵蓋磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等，價格合理,，品質(zhì)有保證,。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計,、強大的技術,，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務,。在社會各界的鼎力支持下,，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造***服務體驗,，為客戶成功提供堅實有力的支持,。