F3-CS:
Filmetrics的F3-CS 專門為了微小視野及微小樣品測量設計, 任何人從**操作到研&發(fā)人員都可以此簡易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內測量如聚對二甲苯和真空鍍膜層厚度.
我們具專利的自動校正功能大幅縮短測量設置並可自動調節(jié)儀器的靈敏度, 使用免手持測量模式時, 只需簡單地將樣品面朝下放置在平臺上測量樣品 , 此時該系統(tǒng)已具備可測量數(shù)百種膜層所必要的一切設置不管膜層是否在透明或不透明基底上.
快速厚度測量可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺上放置你的樣品一樣容易, 軟件內建所有常見的電介質和半導體層(包括C,,N和HT型聚對二甲苯)的光學常數(shù)(n和k),厚度結果會及時的以直覺的測量結果顯示對于進階使用者,,可以進一步以F3-CS測量折射率, F3-CS可在任何運行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計算機上運行, USB電纜則提供電源和通信功能. F50-UV測厚范圍:5nm-40μm;波長:190-1100nm,。江蘇研究所膜厚儀
F50 系列自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度,。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,樣品直徑可達450毫米,。(耐用的平臺在我們的量產系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)
測繪圖案可以是極座標,、矩形或線性的,您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法,,并且不受測量點數(shù)量的限制,。內建數(shù)十種預定義的測繪圖案。
不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的,。 標準的 F50是很受歡迎的產品,。 一般較短的波長 (例如, F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,,而較長的波長則可以用來測量更厚,、更不平整以及更不透明的薄膜。 晶圓片膜厚儀特點基板材料: 如果薄膜位于粗糙基板 (大多數(shù)金屬) 上的話,,一般不能測量薄膜的折射率,。
備用光源:
LAMP-TH1-5PAK:F10、F20,、F30,、F40、F50,、和 F60 系統(tǒng)的非紫外光源,。 5個/盒。1200 小時平均無故障,。
LAMP-TH:F42F42 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時平均無故障。
LAMP-THF60:F60 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時平均無故障,。
LAMP-THF80:F80 系統(tǒng)的光源。 1000 小時平均無故障,。
LAMP-D2-L10290:L10290 氘光源,。 2007年到2014年F20-UV的使用者。
LAMP-TH-L10290:L10290 鎢鹵素光源,。 2007年到2014年F20-UV的使用者,。
LAMP-D2-***T2:***T2光源需更換氘燈, 而鹵素燈光源需更換使用LAMP-TH1-5PAK.
FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng)
FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號360
FSM拉曼的應用
l 局部應力;
l 局部化學成分
l 局部損傷
紫外光可測試的深度
***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應力
可見光可測試的深度
良好的厚樣以及多層樣品的局部應力
系統(tǒng)測試應力的精度小于15mpa (0.03cm-1)
全自動的200mm和300mm硅片檢查
自動檢驗和聚焦的能力,。
以上的信息比較有限,,如果您有更加詳細的技術問題,請聯(lián)系我們的技術人員為您解答,?;蛘咴L問我們的官網(wǎng)了解更多信息。 可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS),。
參考材料
備用 BK7 和二氧化硅參考材料,。
BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內取背景反射的小型抗反光鏡
BG-F10-RT平臺系統(tǒng)內獲取背景反射的抗反光鏡
REF-Al-1mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準
REF-Al-3mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準
REF-BK71?" x 1?" BK7 反射基準。
REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經(jīng)處理的石英,,用于雙界面基準,。
REF-Si-22" 單晶硅晶圓
REF-Si-44" 單晶硅晶圓
REF-Si-66" 單晶硅晶圓
REF-Si-88" 單晶硅晶圓
REF-SS3-Al專為SS-3樣品平臺設計之鋁反射率基準片
REF-SS3-BK7專為SS-3樣品平臺設計之BK7玻璃反射率基準片
REF-SS3-Si專為SS-3樣品平臺設計之硅反射率基準片 F20-UV測厚范圍:1nm - 40μm;波長:190-1100nm,。研究所膜厚儀有哪些應用
紫外光可測試的深度:***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應力,。江蘇研究所膜厚儀
Filmetrics 的技術Filmetrics 提供了范圍***的測量生物醫(yī)療涂層的方案:支架: 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器。 我們的 F40 在幾十個實驗室內得到使用,,測量鈍化和/或藥 物輸送涂層,。我們有獨特的測量系統(tǒng)對整個支架表面的自動厚度測繪,只需在測量時旋轉支架,。植入件: 在測量植入器件的涂層時,,不規(guī)則的表面形狀通常是***挑戰(zhàn)。 Filmetrics 提供這一用途的全系列探頭,。導絲和導引針: 和支架一樣,,這些器械常常可以用象 F40 這樣的顯微鏡儀器,。導液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可見光譜不透明性決定了 F20-NIR 是這一用途方面全世界眾多實驗室內很受歡迎的儀器,。江蘇研究所膜厚儀
岱美儀器技術服務(上海)有限公司辦公設施齊全,辦公環(huán)境優(yōu)越,,為員工打造良好的辦公環(huán)境,。在岱美儀器技術服務近多年發(fā)展歷史,公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術服務等,。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄,、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易,、轉口貿易,,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,,國際貿易、轉口貿易,,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】,,同時還建立了完善的售后服務體系,,為客戶提供良好的產品和服務。自公司成立以來,,一直秉承“以質量求生存,,以信譽求發(fā)展”的經(jīng)營理念,始終堅持以客戶的需求和滿意為重點,,為客戶提供良好的磁記錄,,半導體,光通訊生產,,測試儀器的批發(fā),,從而使公司不斷發(fā)展壯大。