滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強,， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單,，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗： 迅捷的售后服務,，個性化應用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準，具有穩(wěn)定性好,、承載大,、**磨損等優(yōu)點，達到國內同類產品較高精度,。  2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,，準確度高，穩(wěn)定性好,。（網絡） NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s ,。臺積電輪廓儀報價

輪廓儀產品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上,，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度,、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加

工,、表面工程技術、材料,、太陽能電池技術等領域,。

想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器,。 太陽能電池輪廓儀值得買輪廓儀可用于：微結構均勻性 缺 陷,，表面粗糙度。

輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配：1280×960

視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離,、交點到交點距離、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對數(shù)曲線 ,。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,。

輪廓儀對精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領域同樣如此,，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”,，但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃,、集成電路,、汽車零部件、機器人**器件,、航空航天材料,、****設備等領域，都需要對加工的成品進行檢測,，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度,、面粗糙度等二維,、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標準,。因此光學輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦,，0.1um移動步進,。基恩士輪廓儀測樣

LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光,。臺積電輪廓儀報價

輪廓儀的技術原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術：快速靈活、超納米精度,、測量精度不受物鏡倍率影響

以下來自網絡：

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導軌為直線基準,。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸,、二維位移進行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***,。

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