它為晶圓級光學(xué)元件開發(fā),、原型設(shè)計和制造提供了一種獨特的方法,，可以方便地接觸***研發(fā)技術(shù)與材料。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應(yīng)的應(yīng)用中使用小尺寸的高 分辨率光學(xué)傳感器供應(yīng)鏈合作推動晶圓級光學(xué)元件應(yīng)用要在下一代光學(xué)傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產(chǎn),，先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用,。開發(fā)先進(jìn)的光學(xué)材料，需要充分地研究化學(xué),、機(jī)械與光學(xué)特性,，以及已被證實的大規(guī)模生產(chǎn)（HVM）的可擴(kuò)展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性,，以及自動化模制和脫模的專業(yè)知識，才能在已驗證的大規(guī)模生產(chǎn)中,，以**小的形狀因子達(dá)到晶圓級光學(xué)元件的比較好性能,。材料供應(yīng)商與加工設(shè)備制造商之間的密切合作，促成了工藝流程的研發(fā)與改善,，確保晶圓級光學(xué)元件的高質(zhì)量和制造的可靠性,。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品，并增強(qiáng)雙方的專業(yè)技能,，從而適應(yīng)當(dāng)前與未來市場的要求,。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術(shù)，并將加快新產(chǎn)品設(shè)計與原型制造的速度,，為雙方的客戶保駕護(hù)航,。“NILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是：它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時間研發(fā)產(chǎn)品的需求,，同時保障比較高的保密性,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。微接觸納米壓印學(xué)校會用嗎

UV-NIL / SmartNIL 納米壓印系統(tǒng)

EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產(chǎn)品線,，包括不同的單步壓印系統(tǒng)，大面積壓印機(jī)以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL,，EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù)。高 效,，強(qiáng)大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,，高度均勻的圖案層和**少的殘留層，并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù),。

這個系列的型號包括：EVG®610,；EVG®620NT；EVG®6200NT,；EVG®720,；EVG®7200；EVG®7200LA,；HERCULES®NIL,；EVG®770；IQAligner®,。 中國澳門納米壓印免稅價格EVG的納米壓印光刻（NIL） - SmartNIL ? 是用于大批量生產(chǎn)的大面積軟UV納米壓印光刻工藝,。

為了優(yōu)化工藝鏈，HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,，這是大批量生產(chǎn)的基石,，不需要額外的壓印印章制造設(shè)備。作為一項特殊功能,，該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環(huán)境,，以確保比較低的缺 陷率和比較高質(zhì)量的原版復(fù)制。

通過為大批量生產(chǎn)提供完整的NIL解決方案,，HERCULES NIL增強(qiáng)了EVG在***積NIL設(shè)備解決方案中的領(lǐng)導(dǎo)地位,。

*根據(jù)ISO 14644

HERCULES ® NIL特征：

批量生產(chǎn)**小40 nm *或更小的結(jié)構(gòu)

聯(lián)合預(yù)處理（清潔/涂層/烘烤/寒意）和SmartNIL ®

體積驗證的壓印技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度

全自動壓印和受控的低力分離,，可很大程度地重復(fù)使用工作印章

包括工作印章制造能力

高功率光源,，固化時間**快

優(yōu)化的模塊化平臺可實現(xiàn)高吞吐量

*分辨率取決于過程和模板

    在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心，雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料,，以及適用于大眾化市場的晶圓級光學(xué)元件,。（奧地利）與WINDACH（德國），2019年11月27日――EV集團(tuán)(EVG)這一全球**的為微機(jī)電系統(tǒng),、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商,，***宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級光學(xué)元件(WLO)領(lǐng)域開展合作,。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于**地位。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料,，在工業(yè),，汽車，消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場開發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備,，例如生物特征身份認(rèn)證,，面部識別。目前雙方正在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心（位于EVG總部,，奧地利Florian）以及DELO在德國Windach的總部展開合作,。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器,，旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期,。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括**技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備，例如分步重復(fù)母版,，透鏡模制,，以及EVG的SmartNIL?技術(shù)，晶圓鍵合與必要的測量設(shè)備,。NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當(dāng)有成本效益的方法,。

    納米壓印微影技術(shù)可望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography；NIL),，現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中,。NIL為次世代圖樣形成技術(shù)。據(jù)ETNews報導(dǎo),，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,，未確認(rèn)NIL設(shè)備實際圖樣形成能力，直接參訪海外NIL設(shè)備廠,。該制程研發(fā)小組透露，若引進(jìn)相關(guān)設(shè)備,，將可提升面板性能,。并已展開具體供貨協(xié)商。NIL是以刻印圖樣的壓印機(jī),，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程,。在基板上涂布UV感光液后，再以壓印機(jī)接觸施加壓力,，印出面板圖樣,。之后再經(jīng)過蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,，不需再另外貼附偏光薄膜,。雖然在面板制程中需增加NIL,、蝕刻制程，但省落偏光膜貼附制程,，可維持同樣的生產(chǎn)成本,。偏光膜會吸收部分光線降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,，將不會發(fā)生降低亮度的情況,。通常面板分辨率越高，因配線較多,，較難確保開口率(ApertureRatio),。EVG620 NT支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式，以及背面對準(zhǔn)選項,。中國澳門納米壓印免稅價格

EVG系統(tǒng)是客戶進(jìn)行大批量晶圓級鏡頭復(fù)制（制造）的***選擇,。微接觸納米壓印學(xué)校會用嗎

EVG ® 510 HE是EVG500系列的熱壓印系統(tǒng)

EV Group的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印,。熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高

效且靈活的制造技術(shù),，對于尺寸低至50 nm的特征，其復(fù)制精度非常高,。該系統(tǒng)非常適合將復(fù)雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中,。壓模與基板對準(zhǔn)的組合可將熱壓紋與預(yù)處理的基板結(jié)構(gòu)對準(zhǔn)。這個系列包含的型號有：EVG®510HE,，EVG®520HE,。 微接觸納米壓印學(xué)校會用嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),，一切以用戶需求為中心,，深受廣大客戶的歡迎。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點競爭力,，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識,，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國市場,，依托強(qiáng)大的研發(fā)實力，融合前沿的技術(shù)理念,，飛快響應(yīng)客戶的變化需求,。