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不管您參與對顯示器的基礎(chǔ)研究還是制造,F(xiàn)ilmetrics 都能夠提供您所需要的...測量液晶層- 聚酰亞胺,、硬涂層、液晶、間隙測量有機發(fā)光二極管層- 發(fā)光,、電注入、緩沖墊,、封裝對于空白樣品,,我們建議使用 F20 系列儀器。 對于圖案片,,F(xiàn)ilmetrics的F40用于測量薄膜厚度已經(jīng)找到了顯示器應(yīng)用***使用,。
測量范例此案例中,我們成功地測量了藍寶石和硼硅玻璃基底上銦錫氧化物薄膜厚度,。與Filmetrics專有的ITO擴散模型結(jié)合的F10-RTA-EXR儀器,,可以很容易地在380納米到1700納米內(nèi)同時測量透射率和反射率以確定厚度,折射率,消光系數(shù),。由于ITO薄膜在各種基底上不同尋常的的擴散,,這個擴展的波長范圍是必要的。 幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪,。人工加載或機器人加載均可,。反射率膜厚儀現(xiàn)場服務(wù)
F60 系列
包含的內(nèi)容:集成平臺/光譜儀/光源裝置(不含平臺)4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標準真空泵備用燈
型號厚度范圍*波長范圍
F60-t:20nm-70μm 380-1050nm
F60-t-UV:5nm-40μm 190-1100nm
F60-t-NIR:100nm-250μm 950-1700nm
F60-t-EXR:20nm-250μm 380-1700nm
F60-t-UVX:5nm-250μm 190-1700nm
F60-t-XT0:2μm-450μm 1440-1690nm
F60-t-s980:4μm-1mm 960-1000nm
F60-t-s1310:7μm-2mm 1280-1340nm
F60-t-s1550:10μm-3mm 1520-1580nm
額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 Filmetrics F30膜厚儀國內(nèi)代理可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)。
光纖紫外線,、可見光譜和近紅外備用光纖,。接觸探頭是相當堅固的,但是光纖不能經(jīng)常被抽屜碰撞或者被椅子壓過,。該套件包括指令,,以及簡單的維修工具,新的和舊風(fēng)格的探頭,。FO-PAT-SMA-SMA-200-22米長,,直徑200um的光纖,兩端配備SMA接頭,。米長,,分叉反射探頭。
通用附件攜帶箱等,。手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件,、XP和Microsoft辦公軟件。
電腦提箱用于攜帶F10,、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱。ConflatFeedthrough真空穿通,,"conflat,、雙出入孔SMA,并通過泄漏測試,。LensPaper-CenterHole**開孔鏡頭紙,,用于保護面朝下的樣品,5本各100張,。
F40 系列
包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠程數(shù)據(jù)分析)MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器 顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7 參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度標準 聚焦/厚度標準BG-Microscope (作為背景基準)
額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃
如果需要了解更多的信息,,請訪問我們官網(wǎng)或者聯(lián)系我們。 可見光可測試的深度,,良好的厚樣以及多層樣品的局部應(yīng)力,。
自動厚度測量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪。人工加載或機器人加載均可,。
在線厚度測量系統(tǒng)監(jiān)測控制生產(chǎn)過程中移動薄膜厚度,。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到。
附件Filmetrics 提供各種附件以滿足您的應(yīng)用需要。
F20 系列世界上****的臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)只需按下一個按鈕,,您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率,。設(shè)置同樣簡單, 只需插上設(shè)備到您運行Windows?系統(tǒng)計算機的USB端口, 并連接樣品平臺 , F20已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實上,我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.
選擇您的F20主要取決於您需要測量的薄膜的厚度(確定所需的波長范圍)
基板材料: 如果薄膜位于粗糙基板 (大多數(shù)金屬) 上的話,,一般不能測量薄膜的折射率,。Filmetrics F30膜厚儀國內(nèi)代理所有的 Filmetrics 型號都能通過精確的光譜反射建模來測量厚度 (和折射率)。反射率膜厚儀現(xiàn)場服務(wù)
其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間,,測量精度高達1埃,,測量穩(wěn)定性高達,測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機型可選,??蓱?yīng)用領(lǐng)域包括:生物醫(yī)學(xué)(Biomedical),液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼鏡涂層(Ophthalmic),聚對二甲笨(Parylene),電路板(PCBs&PWBs),多孔硅(PorousSilicon),光阻材料(ThickResist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors),太陽光伏(Solarphotovoltaics),真空鍍層(VacuumCoatings),圈筒檢查(Webinspectionapplications)等,。通過Filmetrics膜厚測量儀*新反射式光譜測量技術(shù),*多4層透明薄膜厚度,、n、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得,。其應(yīng)用***,,例如:半導(dǎo)體工業(yè):光阻、氧化物,、氮化物,。LCD工業(yè):間距(cellgaps),ito電極,、polyimide保護膜,。光電鍍膜應(yīng)用:硬化鍍膜、抗反射鍍膜,、過濾片,。極易操作、快速,、準確,、機身輕巧及價格便宜為其主要優(yōu)點,F(xiàn)ilmetrics提供以下型號以供選擇:F20:這簡單入門型號有三種不同波長選擇(由220nm紫外線區(qū)至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型,,可以實現(xiàn)反射,、膜厚、n,、k值測量,。F30:這型號可安裝在任何真空鍍膜機腔體外的窗口??蓪崟r監(jiān)控長晶速度,、實時提供膜厚、n、k值,。并可切定某一波長或固定測量時間間距,。反射率膜厚儀現(xiàn)場服務(wù)
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),,一切以用戶需求為中心,,深受廣大客戶的歡迎。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識,,遵守行業(yè)規(guī)范,植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國市場,,依托強大的研發(fā)實力,融合前沿的技術(shù)理念,,飛快響應(yīng)客戶的變化需求,。