UV納米壓印光刻系統(tǒng)

EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)

■高精度對準(zhǔn)臺

■自動楔形誤差補償機制

■電動和程序控制的曝光間隙

■支持***的UV-LED技術(shù)

■**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動化的全場納米壓印解決方案,，適用于第3代基材

■體積驗證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

■專有的SmartNIL®技術(shù)和多用途聚合物印章技術(shù)

■集成式壓印,，UV固化，脫模和工作印模制作

■盒帶間自動處理以及半自動研發(fā)模式

■適用于所有市售壓印材料的開放平臺

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)是基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù),。連續(xù)納米壓印出廠價

EVG ® 620 NT特征：

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形補償序列

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

EVG ® 620 NT附加功能：

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

SmartNIL

μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑（基板尺寸）

標(biāo)準(zhǔn)光刻：比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片

SmartNIL ®：在100毫米范圍

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL

®

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

對準(zhǔn)：

軟NIL：≤±0.5 μm

SmartNIL ®：≤±3微米

自動分離：柔紫外線NIL：不支持；SmartNIL

®：支持

工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部：SmartNIL ®：支持

UV納米壓印EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),，擁有多年技術(shù),，掌握了NIL，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。

EVG ® 520 HE熱壓印系統(tǒng)

特色：經(jīng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓印系統(tǒng),，可滿足比較高要求

EVG520 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑比較大為200 mm的基板,，并且與標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容,。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,，提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。

如果需要詳細(xì)的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。

客戶示范

■工藝開發(fā)

■材料測試

■與合作伙伴共同研發(fā)

■資助項目

■小批量試生產(chǎn)

■IP管理

■過程技術(shù)許可證

■流程培訓(xùn)

→世界前列的潔凈室基礎(chǔ)設(shè)施

→**的設(shè)備

→技術(shù)**

→**計量

→工藝知識

→應(yīng)用知識

→與NIL的工作印模材料和表面化學(xué)有關(guān)的化學(xué)專業(yè)知識

新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān)。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,，并在顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中實現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新。

岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進(jìn)步,。

EVG ? 770是分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng),，使用分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù)，可進(jìn)行有效的母版制作,。

EVG ® 510 HE熱壓印系統(tǒng)

應(yīng)用：高度靈活的熱壓印系統(tǒng),，用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)

EVG510 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印。該設(shè)備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能,，并管理適用于熱壓印的全部聚合物,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項，提供了許多用于高質(zhì)量納米圖案轉(zhuǎn)印的工藝,。

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準(zhǔn)工藝,，用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項

外部浮雕和冷卻站 EVG先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到**級別的所有需求，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇,。微透鏡納米壓印價格怎么樣

EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)還有：EVG?7200LA,，HERCULES?NIL,，EVG?770，IQAligner?等,。連續(xù)納米壓印出廠價

隨著儀器儀表和計算機的完美結(jié)合,，為了更好的滿足人們對精神世界的需求，體驗多維世界給人們帶來的**,，儀器儀表的虛擬化開始發(fā)展,。身臨其境接受客觀實物，給美又增添了一絲創(chuàng)意,。在計算機和互聯(lián)網(wǎng)的急速發(fā)展到整個世界的背景下,，儀器儀表也開始向網(wǎng)絡(luò)化突進(jìn)，結(jié)合新的科技設(shè)備,，通過廣域網(wǎng)和局域網(wǎng)直接操控儀器儀表,，對公司的管理，經(jīng)營一體化,，應(yīng)用模式的分析等各大方面產(chǎn)生影響,。有限責(zé)任公司企業(yè)通過網(wǎng)絡(luò)這個平臺與客戶直接的交流，突破了世界和空間的限制,，行家遠(yuǎn)程操控對儀器儀表進(jìn)行維護(hù)和分析,。高科技的產(chǎn)品也隨之而來。伴隨移動互聯(lián)網(wǎng)的爆發(fā)式增長,，如今,，它已經(jīng)漸漸取代電子商務(wù)成為了整個互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)增速**快的領(lǐng)域，而移動終端的入口也隨即成為了傳統(tǒng)行業(yè)的必爭之地,。磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)行業(yè)進(jìn)軍移動互聯(lián)網(wǎng)實現(xiàn)線上發(fā)展勢在必行,。中國其他型正面臨百年未有之大變局，行業(yè)行家認(rèn)為,，中美貿(mào)易戰(zhàn)不會有終點,，中美關(guān)系時好時壞將成為常態(tài)，儀器儀表行業(yè)無法排除大局勢的影響,，且不要把問題聚焦在關(guān)稅上,。中國經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展得益于WTO框架下的全球化分工;現(xiàn)在中國制造的競爭力在于工業(yè)門類齊全、供應(yīng)鏈完整,、供應(yīng)鏈的高度專業(yè)和細(xì)分,。連續(xù)納米壓印出廠價

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊和良好的市場口碑,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),，一切以用戶需求為中心,，深受廣大客戶的歡迎。公司從事儀器儀表多年,，有著創(chuàng)新的設(shè)計,、強大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊伍,，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念,，全力打造公司的重點競爭力,。