比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質(zhì),，半導體,，和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光,。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術在成本,，復雜度,，和測量能力上的不同。由于橢偏儀的光從一個角度入射,，所以一定要分析反射光的偏振和強度,，使得橢偏儀對超薄和復雜的薄膜堆有較強的測量能力。然而,，偏振分析意味著需要昂貴的精密移動光學儀器,。光譜反射儀測量的是垂直光，它忽略偏振效應（絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對稱）,。因為不涉及任何移動設備,，光譜反射儀成為簡單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強大透光率分析,。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的優(yōu)先,，而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間,，兩種技術都可用,。而且具有快速,，簡便，成本低特點的光譜反射儀通常是更好的選擇,。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>,。輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。**輪廓儀技術原理

輪廓儀的培訓

一,、 培訓承諾

    系統(tǒng)建成后,，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓和技術資詢；培訓地點可以在我公司,，亦或在工程現(xiàn)場,；

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人，由業(yè)主指定,，我公司將確保相關人員正確使用該系統(tǒng),；

1.1. 培訓對象

    系統(tǒng)操作及管理人員（培訓對象須具有專業(yè)技術的技術人員或?qū)嶋H值班操作人員）；

    其他業(yè)主指定的相關人員,。

1.2. 培訓內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說明書,。

    培訓課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關參數(shù)設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,，具體內(nèi)容如下：

    * 系統(tǒng)文檔解讀,；

    * 系統(tǒng)的技術特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式,；

    * 系統(tǒng)一般故障排除,。

臺積電輪廓儀特點NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。

表面三維微觀形貌測量的意義

 在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有**直接的影響,，而且表面三維評定參數(shù)由于能更***，更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實現(xiàn),。

 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主,。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）

幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡，例如標配的10×,， 還有2.5×,，5×，20×,，50×,，100×，可選,。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。 NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s ,。

表面三維輪廓儀對精密加工的作用：

一,、從根源保障物件成品的準確性：

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，**終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二、提高效率：

  智能化檢測,，全自動測量,，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關參數(shù),，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，**提高加工效率,。

三,、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供***的檢測結果作為評定依據(jù),，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度、輪廓度等參數(shù),。

四,、穩(wěn)定性強，高重復性：

  儀器運用高性能內(nèi)部抗震設計,，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合，保證高重復性,，將測量誤差降低到亞納米級別,。 由于光罩中電路結構尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,。光刻機輪廓儀可以免稅嗎

包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度、面粗糙度等二維,、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標準。**輪廓儀技術原理

輪廓儀的性能

測量模式 ：

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺 ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素：

標配：1280×960

視場范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)：

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD **輪廓儀技術原理

岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,，是一家集研發(fā),、設計、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司,。岱美儀器技術服務擁有一支經(jīng)驗豐富,、技術創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,，半導體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念，影響并帶動團隊取得成功,。岱美儀器技術服務始終關注儀器儀表行業(yè),。滿足市場需求，提高產(chǎn)品價值,，是我們前行的力量,。