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白光干涉膜厚儀

來源: 發(fā)布時間:2019-12-09

參考材料

備用 BK7 和二氧化硅參考材料。

BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內(nèi)取背景反射的小型抗反光鏡

BG-F10-RT平臺系統(tǒng)內(nèi)獲取背景反射的抗反光鏡

REF-Al-1mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準

REF-Al-3mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準

REF-BK71?" x 1?" BK7 反射基準,。

REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經(jīng)處理的石英,,用于雙界面基準。

REF-Si-22" 單晶硅晶圓

REF-Si-44" 單晶硅晶圓

REF-Si-66" 單晶硅晶圓

REF-Si-88" 單晶硅晶圓

REF-SS3-Al專為SS-3樣品平臺設(shè)計之鋁反射率基準片

REF-SS3-BK7專為SS-3樣品平臺設(shè)計之BK7玻璃反射率基準片

REF-SS3-Si專為SS-3樣品平臺設(shè)計之硅反射率基準片 F3-s980 是波長為980奈米的版本,,是為了針對成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計,。白光干涉膜厚儀

F10-AR易于使用而且經(jīng)濟有效地分析減反涂層和鏡頭上的硬涂層F10-AR 是測試眼科減反涂層設(shè)計的儀器。 雖然價格**低于當今絕大多數(shù)同類儀器,,應(yīng)用幾項技術(shù),, F10-AR 使線上操作人員經(jīng)過幾分鐘的培訓,就可以進行厚度測量,。

在用戶定義的任何波長范圍內(nèi)都能進行比較低,、比較高和平均反射測試。

我們有專門的算法對硬涂層的局部反射失真進行校正,。 我們獨有的 AutoBaseline 能極大地增加基線間隔,,提供比其它光纖探頭反射儀高出五倍的精確度。

利用可選的 UPG-F10-AR-HC 軟件升級能測量 0.25-15um 的硬涂層厚度,。 在減反層存在的情況下也能對硬涂層厚度進行測量,。 透射率膜厚儀可以試用嗎不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的,。

電介質(zhì)成千上萬的電解質(zhì)薄膜被用于光學,,半導體,以及其它數(shù)十個行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜,。 

測量范例氮化硅薄膜作為電介質(zhì),,鈍化層,或掩膜材料被廣泛應(yīng)用于半導體產(chǎn)業(yè),。這個案例中,,我們用F20-UVX成功地測量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,折射率,,和消光系數(shù),。有趣的事,氮化硅薄膜的光學性質(zhì)與薄膜的分子當量緊密相關(guān),。使用Filmetrics專有的氮化硅擴散模型,,F(xiàn)20-UVX可以很容易地測量氮化硅薄膜的厚度和光學性質(zhì),不管他們是富硅,貧硅,,還是分子當量,。

F60 系列

包含的內(nèi)容:集成平臺/光譜儀/光源裝置(不含平臺)4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標準真空泵備用燈

型號厚度范圍*波長范圍

F60-t:20nm-70μm 380-1050nm

F60-t-UV:5nm-40μm 190-1100nm

F60-t-NIR:100nm-250μm 950-1700nm

F60-t-EXR:20nm-250μm 380-1700nm

F60-t-UVX:5nm-250μm 190-1700nm

F60-t-XT0:2μm-450μm 1440-1690nm

F60-t-s980:4μm-1mm 960-1000nm

F60-t-s1310:7μm-2mm 1280-1340nm

F60-t-s1550:10μm-3mm 1520-1580nm

額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 F50-XT測厚范圍:0.2μm-450μm;波長:1440-1690nm,。

測量復雜的有機材料典型的有機發(fā)光顯示膜包括幾層: 空穴注入層,,空穴傳輸層,以及重組/發(fā)光層,。所有這些層都有不尋常有機分子(小分子和/或聚合物),。雖然有機分子高度反常色散,測量這些物質(zhì)的光譜反射充滿挑戰(zhàn),,但對Filmetrics卻不盡然,。我們的材料數(shù)據(jù)庫覆蓋整個OLED的開發(fā)歷史,能夠處理隨著有機分子而來的高折射散射和多種紫外光譜特征,。軟基底上的薄膜有機發(fā)光顯示器具有真正柔性顯示的潛力,,要求測量像PET(聚乙烯)塑料這樣有高雙折射的基準,這對托偏儀測量是個嚴重的挑戰(zhàn): 或者模擬額外的復雜光學,,或者打磨PET背面,。 而這些對我們非偏振反射光譜來說都不需要,極大地節(jié)約了人員培訓和測量時間,。操作箱中測量有機發(fā)光顯示器材料對水和氧極度敏感,。 很多科研小組都要求在控制的干燥氮氣操作箱中測量。 而我們體積小,,模塊化,,光纖設(shè)計的儀器提供非密封、實時“操作箱”測量,。利用可選的 UPG-F10-AR-HC 軟件升級能測量 0.25-15um 的硬涂層厚度,。反射率膜厚儀服務(wù)為先

可見光可測試的深度,良好的厚樣以及多層樣品的局部應(yīng)力,。白光干涉膜厚儀

經(jīng)過幾十年的發(fā)展,,我國已經(jīng)成為世界上第二大儀器儀表制造國,儀器儀表產(chǎn)業(yè)形成了一定的規(guī)模,,儀器儀表產(chǎn)品也比較豐富,。中國的新型工業(yè)化進程,信息化和工業(yè)化融合的進一步加深,,帶動各個工業(yè)領(lǐng)域?qū)τ诖庞涗?,半導體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的需求,。在國民經(jīng)濟運行中,,磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等設(shè)備是提高勞動生產(chǎn)率的倍增器,對國民經(jīng)濟有著巨大的作用和影響力,。美國商業(yè)部地區(qū)技術(shù)和標準研究院(NIST)提出的報告稱:美國90年代儀器儀表工業(yè)產(chǎn)值只占工業(yè)總產(chǎn)值的4%,,但它對國民經(jīng)濟(GNP)的影響面卻達到66%。盡管在我國相關(guān)政策的引導和支持下,,我國儀器儀表行業(yè)得到了飛速發(fā)展,。但是從銷售整體上看,我國的儀器儀表行業(yè)還是落后于國際水平的,。重點技術(shù)缺乏,、高精尖產(chǎn)品嚴重依賴進口、儀器儀表產(chǎn)品同質(zhì)化嚴重,、生產(chǎn)工藝落后,、研發(fā)能力弱,、精度不高等問題的凸顯,,為儀器儀表行業(yè)的發(fā)展帶來了嚴峻的挑戰(zhàn)。白光干涉膜厚儀

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實,、誠實可信的企業(yè),。公司自創(chuàng)立以來,投身于磁記錄,,半導體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),,是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開拓創(chuàng)新,追求出色,,以技術(shù)為先導,,以產(chǎn)品為平臺,以應(yīng)用為重點,,以服務(wù)為保證,,不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,提供更優(yōu)服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,,竭誠為客戶提供良好的服務(wù),。