輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：

邁爾爾遜

1852-1931

美國物理學家

曾從事光速的精密測量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。

1881年,，他發(fā)明了一種用以測量微小長度,，折射率和光波波長的干涉儀，邁克爾遜干涉儀,。

他和美國物理學家莫雷合作,，進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗，否定了以太de 存在,，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ),。

由于創(chuàng)制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎,。 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）,。Nano X-3000輪廓儀可以免稅嗎

關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度

  三坐標測量機是不能測量粗糙度的,，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標測量機精度比較高,，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的,。一般三坐標精度都在2-3um左右,，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標和關(guān)節(jié)臂三坐標,，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。 PSI輪廓儀值得買通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。

    filmOnline查film3D圖像並與其互動.請參考我們新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔***,，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今比較高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術(shù)包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI),。索取技術(shù)資料索取報價這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度,，形狀和臺階高度的測量。在數(shù)秒內(nèi),，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù),。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。***!**的網(wǎng)路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲,、共享,、查看與分析來自您的光學輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺式電腦,，平板電腦或智能手機上都能查看和操作,。享受***的圖像分析功能，包括表面輪廓（粗糙度）和階高 分析,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標準配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,？每film3D都已標配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標準片建立標準每film3D配備了一個10微米階高標準片,，可達％準確度。另我們還提供具有100nm,，2微米以及4微米等多階高標準片,。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測，檢測相應的輪廓尺寸,。 NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。

1.3. 培訓計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能,、特點,、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識,。

    在整個系統(tǒng)驗收前后,，安排有關(guān)人員在進行培訓。

1.4. 培訓形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理,、功能,、操作及維修保養(yǎng)要點；

    向受訓學員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握,；

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導,，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng)；

    對學員提出的問題進行詳細解答,；

輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展）,，Z向測量范圍比較大可達10mm。Nano X輪廓儀應用

支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導入SPC,。Nano X-3000輪廓儀可以免稅嗎

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)

3D測量主要技術(shù)指標（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）

3D測量主要技術(shù)指標（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準確度 < 1nm

RMS重復性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準確度<1%

重復性<0.1% (1σ,，10um臺階高) Nano X-3000輪廓儀可以免稅嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊,，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)繼續(xù)堅定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,，既要實現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長,，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域，實現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表行業(yè),。滿足市場需求，提高產(chǎn)品價值,，是我們前行的力量,。