HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。

EVG的HERCULES ® NIL產(chǎn)品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統(tǒng)達200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,，具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術(shù)

HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案,，適用于比較大200 mm的晶圓，是EVG的NIL產(chǎn)品組合的***成員,。HERCULES

NIL基于模塊化平臺,，將EVG專有的SmartNIL壓印技術(shù)與清潔，抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟相結(jié)合,。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務(wù)”,，將裸露的晶圓裝載到工具中，然后將經(jīng)過完全處理的納米結(jié)構(gòu)晶圓退回,。 EVG620 NT支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,，例如真空，軟,，硬和接近曝光模式,，以及背面對準(zhǔn)選項。海南納米壓印有哪些品牌

NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當(dāng)有成本效益的方法,，因為它不受光學(xué)光刻所需的復(fù)雜光學(xué)器件的限制,，并且它可以為極小尺寸（小于100分）提供比較好圖案保真度nm）結(jié)構(gòu)。

EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),，可提供功能強大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作,。另外,，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間。

新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān),。 上海中芯國際納米壓印納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本的技術(shù),，大批量替代光刻技術(shù)。

SmartNIL是一項關(guān)鍵的啟用技術(shù),，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。例如,，SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印,，以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標(biāo)準(zhǔn)。SmartNIL還非常適合對具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進行高精度圖案化,，以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn),。此外，SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能,，**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,，這對于實現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要。

特征：

體積驗證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

專有SmartNIL ®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)

經(jīng)過生產(chǎn)驗證的分辨率低至40 nm或更小

大面積全場壓印

總擁有成本比較低

在地形上留下印記

對準(zhǔn)能力

室溫過程

開放式材料平臺

SmartNIL技術(shù)簡介

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù)，可提供功能強大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,，同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外,，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r間,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進步。

EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,，因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準(zhǔn)技術(shù),。

UV-NIL / SmartNIL 納米壓印系統(tǒng)

EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產(chǎn)品線，包括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL，EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù),。高 效,，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度，高度均勻的圖案層和**少的殘留層,，并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能,，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù),。

這個系列的型號包括：EVG®610；EVG®620NT,；EVG®6200NT,；EVG®720；EVG®7200,；EVG®7200LA,；HERCULES®NIL,；EVG®770；IQAligner®,。 EVG提供不同的***積壓印系統(tǒng),，大面積壓印機，微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。IQAligner納米壓印當(dāng)?shù)貎r格

HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,，可實現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)。海南納米壓印有哪些品牌

HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,，具有較低的力和保形壓印,，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn),，包括用于增強/虛擬現(xiàn)實（AR / VR）頭戴式耳機的光學(xué)設(shè)備,，3D傳感器，生物醫(yī)學(xué)設(shè)備,，納米光子學(xué)和等離激元學(xué),。

HERCULES ® NIL特征：

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預(yù)處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

海南納米壓印有哪些品牌

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家專業(yè)的磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】公司。在岱美儀器技術(shù)服務(wù)近多年發(fā)展歷史,，公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術(shù)服務(wù)等,。我公司擁有強大的技術(shù)實力,，多年來一直專注于磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的發(fā)展和創(chuàng)新,，打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù),。自公司成立以來，一直秉承“以質(zhì)量求生存,，以信譽求發(fā)展”的經(jīng)營理念,，始終堅持以客戶的需求和滿意為重點，為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),，從而使公司不斷發(fā)展壯大,。