其中包括家用電器,、醫(yī)藥、電子,、光學(xué),、生命科學(xué),、汽車和航空業(yè)。肖特在全球34個國家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處,。公司目前擁有員工超過15500名,，2017/2018財年的銷售額為,。總部位于德國美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會（CarlZeissFoundation）全資擁有,?？柌趟净饡堑聡鴼v史**悠久的私立基金會之一，同時也是德國規(guī)模比較大的科學(xué)促進基金會之一,。作為一家基金公司,，肖特對其員工，社會和環(huán)境負有特殊責(zé)任,。關(guān)于EV集團（EVG）EV集團（EVG）是為半導(dǎo)體,、微機電系統(tǒng)（MEMS）、化合物半導(dǎo)體,、功率器件和納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商,。其主要產(chǎn)品包括：晶圓鍵合、薄晶圓處理,、光刻/納米壓?。∟IL）與計量設(shè)備，以及涂膠機,、清洗機和檢測系統(tǒng),。EV集團成立于1980年，可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供各類服務(wù)與支持,。SmartNIL,，NILPhotonics及EVGroup標識是EVGroup的注冊商標,SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊商標。（來自網(wǎng)絡(luò),。步進重復(fù)納米壓印光刻可以從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。UV納米壓印國內(nèi)用戶

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。

EVG的HERCULES ® NIL產(chǎn)品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統(tǒng)達200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,，具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術(shù)

HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案,，適用于比較大200 mm的晶圓，是EVG的NIL產(chǎn)品組合的***成員,。HERCULES

NIL基于模塊化平臺,，將EVG專有的SmartNIL壓印技術(shù)與清潔，抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟相結(jié)合,。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務(wù)”,，將裸露的晶圓裝載到工具中，然后將經(jīng)過完全處理的納米結(jié)構(gòu)晶圓退回,。 大面積納米壓印出廠價EVG620 NT支持多種標準光刻工藝,，例如真空，軟，硬和接近曝光模式,，以及背面對準選項,。

SmartNIL技術(shù)簡介

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù)，可提供功能強大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,，同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外,，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當?shù)臅r間,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進步,。

EVG ® 7200 LA大面積SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

用于大面積****的共形納米壓印光刻,。

EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專有且經(jīng)過量證明的SmartNIL技術(shù)，將納米壓印光刻（NIL）縮放為第三代（550 mm x 650 mm）面板尺寸的基板,。對于不能減小尺寸的顯示器,，線柵偏振器，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,，至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率,。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟有效的方法，因為它不受光學(xué)系統(tǒng)的限制,，并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度,。

SmartNIL利用非常強大且可控的加工工藝，提供了低至40 nm *的出色保形壓印結(jié)果,。憑借獨特且經(jīng)過驗證的設(shè)備功能（包括****的易用性）以及高水平的工藝專業(yè)知識,，EVG通過將納米壓印提升到一個新的水平來滿足行業(yè)需求。

*分辨率取決于過程和模板 IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。

    具體說來就是,，MOSFET能夠有效地產(chǎn)生電流流動，因為標準的半導(dǎo)體制造技術(shù)旺旺不能精確控制住摻雜的水平（硅中摻雜以帶來或正或負的電荷）,，以確?？绺鹘M件的通道性能的一致性。通常MOSFET是在一層二氧化硅（SiO2）襯底上,，然后沉積一層金屬或多晶硅制成的,。然而這種方法可以不精確且難以完全掌控，摻雜有時會泄到別的不需要的地方，那樣就創(chuàng)造出了所謂的“短溝道效應(yīng)”區(qū)域,，并導(dǎo)致性能下降,。一個典型MOSFET不同層級的剖面圖。不過威斯康星大學(xué)麥迪遜分校已經(jīng)同全美多個合作伙伴攜手（包括密歇根大學(xué),、德克薩斯大學(xué),、以及加州大學(xué)伯克利分校等），開發(fā)出了能夠降低摻雜劑泄露以提升半導(dǎo)體品質(zhì)的新技術(shù),。研究人員通過電子束光刻工藝在表面上形成定制形狀和塑形,，從而帶來更加“物理可控”的生產(chǎn)過程。（來自網(wǎng)絡(luò),。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),，擁有多年技術(shù)，掌握了NIL,，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。大面積納米壓印出廠價

HERCULES NIL 300 mm提供市場上**納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印,，快速高功率曝光和平滑壓模分離,。UV納米壓印國內(nèi)用戶

IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

應(yīng)用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

IQ Aligner UV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡,。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復(fù)制的軟性圖章開始,，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應(yīng),。此外,，EV Group提供合格的微透鏡成型工藝，包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識,。EV Group專有的卡盤設(shè)計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力,。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制。

UV納米壓印國內(nèi)用戶

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司辦公設(shè)施齊全,，辦公環(huán)境優(yōu)越,，為員工打造良好的辦公環(huán)境。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù),，以誠信,、敬業(yè)、進取為宗旨,，以建岱美儀器技術(shù)服務(wù)產(chǎn)品為目標,，努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè)。公司以用心服務(wù)為重點價值,，希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,，將磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務(wù)進行到底,。自公司成立以來，一直秉承“以質(zhì)量求生存,，以信譽求發(fā)展”的經(jīng)營理念,，始終堅持以客戶的需求和滿意為重點,，為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),，從而使公司不斷發(fā)展壯大。